這項國際標準，由嘉定科研團隊制定

近日，國際電工委員會納米電工產品與系統技術委員會（iec/tc 113）發布《石墨烯薄膜的載流子遷移率和方塊電阻測量：霍爾棒法》國際標準，首次在國際上建立石墨烯薄膜標準化測量流程，實現石墨烯材料從實驗室到產業化應用的關鍵一步。該標準由位于嘉定區菊園新區的中國科學院上海微系統與信息技術研究所王浩敏研究團隊牽頭提案并組織編制，來自德國、韓國、加拿大等多國的專家參與制定工作。

石墨烯被譽為“材料之王”，是未來高端制造和前沿科技的關鍵材料之一，霍爾棒是精確測量石墨烯性能的標準化器件。長期以來，載流子遷移率和方塊電阻作為石墨烯薄膜兩大關鍵性能參數，測量方法不統一、結果難以比對，阻礙了石墨烯從“實驗室”到“貨架”的進程。王浩敏研究團隊敏銳捕捉到了這一點，率先向國際標準化組織進行提案，歷時5年，完成該項國際標準的制定。

在多元化的國際技術體系中達成共識，并非易事。“各國在石墨烯研究領域的發展路線不同，對關鍵參數的定義和性能測量存在顯著分歧，這對我們提出的統一測量體系構成了巨大阻力。”為了克服這一難題，王浩敏研究團隊采取了技術引領與包容并重的策略。一方面，依靠團隊在石墨烯領域長期積累的領先優勢，堅持核心技術指標不妥協；另一方面，在非原則性問題上展現包容性，采納合理建議。“每一個數據的確認、每一個術語的定義，往往都需要經過數輪的激烈辯論與反復驗證。”王浩敏表示，經過多次國際會議，處理了來自20多個成員國的多條技術意見，最終獲得投票成員國的一致認可。

《霍爾棒法》詳細規定了石墨烯霍爾器件工藝步驟，明確了測量配置，并規范了結果報告格式，為石墨烯薄膜在透明導電膜、柔性電極等應用提供了科學可靠的測量依據。值得一提的是，該標準避免使用光刻工藝，不僅顯著降低了設備門檻，還保證了測量的精準性。

據介紹，傳統光刻工藝需要涂抹光刻膠，即使嚴格清洗，石墨烯表面仍會殘留，在制造電子器件時，光刻膠殘留物會產生巨大的接觸電阻，導致測量值與實際值之間的嚴重偏差。“我們團隊創新采用硬掩模工藝，在不觸碰、不污染石墨烯表面的前提下，測出石墨烯最真實、最純凈的電學指標，更具準確性和科學權威性。”王浩敏說。

王浩敏研究團隊長期致力于石墨烯薄膜制備和石墨烯器件的研制，成果多次在《自然-材料》（nature materials）、《自然-通訊》（nature communications）等頂級刊物發表。“在國際標準制定中，只有掌握了最核心技術的團隊，才能擁有定義‘什么是好標準’的底氣。”王浩敏說，“我們牽頭編制這項標準，絕非偶然，這既是對我們團隊科研實力的認可，也是中國在先進碳基材料領域掌握國際話語權的重要體現。”

通訊員：王榮會

編輯：袁悅

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上觀號作者：上海嘉定