800臺(tái)光刻機(jī)受到影響！ASML做出決定讓國(guó)產(chǎn)芯片企業(yè)措手不及

ASML

在很長(zhǎng)一段時(shí)間，國(guó)內(nèi)的芯片企業(yè)似乎對(duì)ASML有一種盲目崇拜。每次購(gòu)買ASML都必須進(jìn)行一次大規(guī)模的宣傳，仿佛擁有了ASML光刻機(jī)就能解決所有芯片上的難關(guān)。ASML身上的這種“魔力”來自于其在光刻機(jī)領(lǐng)域的絕對(duì)統(tǒng)治地位，占據(jù)了EUV光刻機(jī)100%銷量的同時(shí)，在DUV光刻機(jī)市場(chǎng)份額也超過90%，剩余兩大對(duì)手尼康和佳能市場(chǎng)份額相加不足10%。

國(guó)產(chǎn)芯片企業(yè)慶祝ASML光刻機(jī)搬入

國(guó)產(chǎn)芯片廠商大肆宣傳ASML光刻機(jī)進(jìn)廠背后，實(shí)際是希望借助ASML在技術(shù)上的強(qiáng)大實(shí)力來為自己的芯片產(chǎn)品“背書”，從而試圖提高自己的科技形象。而ASML也樂于看到國(guó)內(nèi)芯片廠商這種“主動(dòng)”宣傳的行為，因?yàn)檫@實(shí)際上也等于間接為ASML做出宣傳。

根據(jù)ASML財(cái)報(bào)顯示，自2014年起已經(jīng)累計(jì)向中國(guó)銷售了超過80億歐元的半導(dǎo)體設(shè)備。按照一臺(tái)DUV光刻機(jī)1000萬美元的造價(jià)計(jì)算，ASML至少出售了超過800臺(tái)光刻機(jī)。不可否認(rèn)這些ASML光刻機(jī)所帶來的正面效應(yīng)——國(guó)產(chǎn)芯片數(shù)量得到了突飛猛進(jìn)的發(fā)展，從0成長(zhǎng)為2022年的3241.9億片,已經(jīng)成長(zhǎng)為全球最為重要的芯片產(chǎn)地之一。

ASML光刻機(jī)

但是過于依賴ASML所生產(chǎn)的光刻機(jī)也帶來了巨大的安全隱患——一旦無法從ASML處購(gòu)得光刻機(jī)，那么國(guó)產(chǎn)芯片的發(fā)展必將遭遇到重創(chuàng)。同時(shí)這種缺乏自給的狀態(tài)，也嚴(yán)重制約了國(guó)產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展。

芯片三方協(xié)議宣布加強(qiáng)出口管制

特別是在美日荷三方芯片協(xié)議之后，作為荷蘭企業(yè)的ASML自然也不得不遵守這個(gè)協(xié)議。而在最新公布的協(xié)議內(nèi)容中，DUV光刻機(jī)也將進(jìn)入出口管制名單之列（The Dutch government has said it will impose export restrictions on the “most advanced” semiconductor technology）。這也就意味著當(dāng)前中國(guó)芯片企業(yè)可以隨意從ASML處購(gòu)買DUV光刻機(jī)成為了歷史，缺乏光刻機(jī)供給也將極大地制約國(guó)內(nèi)芯片企業(yè)的發(fā)展。同時(shí)由于上海微電子的28nm光刻機(jī)遲遲無法完成量產(chǎn)，這也將使得國(guó)內(nèi)芯片企業(yè)在很長(zhǎng)一段時(shí)間之內(nèi)都無法獲得充足的光刻機(jī)供應(yīng)。

同時(shí)隱藏在芯片協(xié)議之下的陷阱恐怕更加嚴(yán)重。眾所周知光刻機(jī)是一種高科技設(shè)備，ASML為了防止逆向工程所以在每臺(tái)光刻機(jī)設(shè)備中都加入了監(jiān)測(cè)模塊，用以監(jiān)控光刻機(jī)的使用狀態(tài)。如今隨著芯片協(xié)議的推進(jìn)，這800臺(tái)已經(jīng)購(gòu)買的光刻機(jī)也成為了一個(gè)巨大的隱患。一旦ASML無法或者拒絕為這些光刻機(jī)提供維修和維護(hù)服務(wù)，那么對(duì)于很多高度依賴ASML設(shè)備的國(guó)產(chǎn)芯片企業(yè)來說也就相當(dāng)于“滅頂之災(zāi)”。

GK-3光刻機(jī)

此時(shí)不得不感慨“造不如買”思想的危害。其實(shí)在歷史上國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)也曾經(jīng)有過輝煌的階段。1965年中國(guó)科學(xué)院研制出65型接觸式光刻機(jī)；1977年上海光學(xué)機(jī)械廠研制出半自動(dòng)接觸式光刻機(jī)JKG-3；1985年機(jī)電部第45所研制出中國(guó)第一臺(tái)分步投影式光刻機(jī)BG-101。這一階段國(guó)內(nèi)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)和當(dāng)時(shí)全球最先進(jìn)的技術(shù)相比僅僅落后四年左右的時(shí)間。

但是隨著國(guó)際形勢(shì)的變化，特別是中美關(guān)系的緩和，光刻機(jī)等產(chǎn)品的購(gòu)買也不再被設(shè)限，這也使得國(guó)內(nèi)芯片企業(yè)紛紛選擇購(gòu)買外國(guó)生產(chǎn)的光刻機(jī)設(shè)備，“造不如買”的思想開始盛行。同時(shí)為了搶占國(guó)內(nèi)光刻機(jī)設(shè)備市場(chǎng)，國(guó)際廠商也開始使用各種手段來爭(zhēng)奪份額，包括“買光刻機(jī)，送出國(guó)游”等等。由于當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)收入較低，因此國(guó)際巨頭的這些手段也收到了良好的效果，大量中國(guó)的廠長(zhǎng)、經(jīng)理們接受了國(guó)際廠商的邀約，在海外考察游玩的同時(shí)也發(fā)現(xiàn)尼康、佳能、ASML等廠商的光刻機(jī)也的確優(yōu)秀，所以國(guó)內(nèi)廠商最終也開始紛紛采購(gòu)國(guó)外光刻機(jī)。

ASML光刻機(jī)

技術(shù)上的落后再加上缺乏市場(chǎng)支持，在光刻機(jī)等領(lǐng)域的研發(fā)投入開始大幅減少，所帶來的負(fù)面效果則是和全球技術(shù)水平的差距越拉越大。如今國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)和ASML之間的差距已經(jīng)在10年之上，ASML高管更是曾經(jīng)口吐狂言“就算給中國(guó)圖紙他們也造不出EUV光刻機(jī)”。

“沒有永遠(yuǎn)的朋友，只有永遠(yuǎn)的利益”，這句話可以說是亙古不變的真理，隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)高速發(fā)展并以18萬億美元的GDP成為全球第二大經(jīng)濟(jì)體，僅次于美國(guó)的25.44萬億美元后，兩者的關(guān)系也發(fā)生了微妙的變化。為了遏制中國(guó)的崛起，美國(guó)開始用出包括斷供芯片、EDA軟件、光刻機(jī)在內(nèi)的眾多手段。“造不如買”的思想也開始了反噬，如今ASML選擇接受美日荷芯片三方協(xié)議并參與斷供，也讓國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)落后的現(xiàn)實(shí)暴露在大眾面前。

上海微電子光刻機(jī)

但幸好在光刻機(jī)領(lǐng)域雖然落后并缺乏市場(chǎng)支持，但是始終沒有放棄自研的腳步。在2002年由上海市和科技部牽頭成立的上海微電子就一直默默在相關(guān)領(lǐng)域進(jìn)行鉆研和攻關(guān)。2007年上海微電子宣布研制出90nm工藝的分布式投影光刻機(jī)；2008年國(guó)家成立“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)”（02專項(xiàng)），開始大規(guī)模向光刻機(jī)及相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)行投資和突破。

在此期間光刻機(jī)的設(shè)備也取得了顯著的突破——華卓精科與清華大學(xué)完成了雙工作臺(tái)系統(tǒng)的研發(fā)、中科院微電子所與科益虹源完成了光源系統(tǒng)的研發(fā)、浙江大學(xué)與啟爾機(jī)電成功研制出浸沒系統(tǒng)……

終于在2016年成功完成90nm純國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)量產(chǎn)之后，也終于在全球封鎖的鐵幕中撕開了一道縫隙。雖然在技術(shù)上依然處于落后的位置，但是看到了曙光也就意味著已經(jīng)有路可以走，雖然坎坷但也為科技的發(fā)展指明了道路。