德國(guó)媒體：美國(guó)能否通過(guò)對(duì)蔡司進(jìn)行制裁，封鎖蔡司的鏡頭出口，以此來(lái)徹底堵死中國(guó)光刻機(jī)的發(fā)展？

散英魂寄千萬(wàn)雄鷹翱翔神州，

盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。

01

前沿導(dǎo)讀

據(jù)德國(guó)媒體《德國(guó)之聲》發(fā)布的新聞報(bào)告指出：

想要制造先進(jìn)芯片，離不開(kāi)ASML的光刻機(jī)，而后者的核心元器件則是由德國(guó)蔡司制造的高精度鏡組。這對(duì)于千方百計(jì)想要遏制中國(guó)芯片發(fā)展的美國(guó)來(lái)說(shuō)，能否通過(guò)對(duì)德國(guó)蔡司進(jìn)行施壓，切斷其給中國(guó)企業(yè)提供鏡頭的機(jī)會(huì)，以此來(lái)達(dá)到制裁中國(guó)的目的？

02

供應(yīng)鏈體系

據(jù)德國(guó)蔡司半導(dǎo)體部門(mén)發(fā)布的官方新聞表示：

ASML首發(fā)了搭載蔡司光學(xué)器件的浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)，憑借著該技術(shù)，ASML與蔡司打敗了日本的尼康和佳能，成為了光刻機(jī)領(lǐng)域的老大，延續(xù)了摩爾定律。

現(xiàn)階段的芯片產(chǎn)品，不管是汽車(chē)、手機(jī)、家電、工業(yè)設(shè)備，均需要相應(yīng)的芯片作為驅(qū)動(dòng)基礎(chǔ)。芯片制造需要用到ASML的DUV光刻機(jī)，先進(jìn)芯片的制造需要EUV光刻機(jī)。不管是哪一種設(shè)備，其光刻機(jī)的鏡頭組件均由德國(guó)蔡司半導(dǎo)體部門(mén)獨(dú)家供應(yīng)。

蔡司的首席技術(shù)官托馬斯·斯塔姆勒曾公開(kāi)表示：

全球大約80%的芯片是使用了蔡司光學(xué)器件制造出來(lái)的產(chǎn)品，蔡司鏡頭已經(jīng)成為了芯片制造業(yè)不可分割的一環(huán)。

如果將蔡司制造的光刻機(jī)鏡組等比例放大到德國(guó)國(guó)土面積那么大的尺寸，那么其平整度可以保持在0.1毫米之內(nèi)。蔡司與ASML一起開(kāi)發(fā)出了人類(lèi)迄今為止最精密的設(shè)備，這是其他企業(yè)無(wú)法完成的項(xiàng)目。

EUV光刻機(jī)是目前最先進(jìn)的設(shè)備，也是大量制造先進(jìn)芯片的核心設(shè)備。EUV光刻技術(shù)從研發(fā)開(kāi)始算起，距今已經(jīng)有超過(guò)20年的時(shí)間。

據(jù)蔡司半導(dǎo)體制造光學(xué)副總裁Frank Rohmund透露，蔡司已經(jīng)拿下了超過(guò)1500項(xiàng)跟EUV有關(guān)的技術(shù)專(zhuān)利，其他企業(yè)想要繞過(guò)蔡司的專(zhuān)利去制造EUV光刻機(jī)的鏡組，目前來(lái)看希望渺茫。

就算僥幸在某些技術(shù)環(huán)節(jié)繞過(guò)了蔡司的專(zhuān)利，也無(wú)法達(dá)到蔡司產(chǎn)品的技術(shù)水平，更不要說(shuō)制造芯片了。

除反射鏡組之外，還需要照明系統(tǒng)與投影光學(xué)器件進(jìn)行搭配，整個(gè)一套設(shè)備的連鎖反應(yīng)需要在無(wú)塵室內(nèi)進(jìn)行應(yīng)用，蔡司為其單獨(dú)制造了一個(gè)高潔凈的工廠。

在普通室內(nèi)的空氣中，每立方米大約有1億個(gè)常見(jiàn)的灰塵顆粒，而蔡司的工廠則是將這個(gè)灰塵數(shù)量大幅度減少到3500個(gè)左右，并且生產(chǎn)工廠內(nèi)部還配備空氣過(guò)濾裝置和抽氣裝置，每隔一段時(shí)間對(duì)室內(nèi)進(jìn)行凈化。

03

產(chǎn)業(yè)合作

在蔡司半導(dǎo)體部門(mén)，有7500名以上的員工，這些員工當(dāng)中有大約1500人被分配到了最新的High NA-EUV光刻機(jī)的研發(fā)，剩下的員工負(fù)責(zé)DUV光刻機(jī)和第一代EUV的制造。

蔡司和ASML的背后是美國(guó)資本、德國(guó)政府、歐盟等多個(gè)勢(shì)力的資助，其供應(yīng)鏈涵蓋了超過(guò)1200家來(lái)自于全球的各地的供應(yīng)商，全球化體系是光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)和芯片產(chǎn)業(yè)的核心發(fā)展模式。

據(jù)蔡司半導(dǎo)體部門(mén)前CEO Andreas Dorsel表示：

蔡司聘請(qǐng)了大量開(kāi)發(fā)人員和研究人員，包括精密儀器的配鏡師、機(jī)械工程師、機(jī)電一體化工程師等各類(lèi)頂級(jí)的人員。

這些人員來(lái)自于全球各地，與蔡司深度綁定，許多人甚至一開(kāi)始就在蔡司工作，從來(lái)沒(méi)有跳槽。蔡司既可以帶給他們創(chuàng)造研發(fā)頂級(jí)設(shè)備的機(jī)會(huì)，讓他們?yōu)槿祟?lèi)發(fā)展實(shí)現(xiàn)價(jià)值，又可以帶給他們豐厚的待遇，這是蔡司的文化體系，其他企業(yè)學(xué)不來(lái)。

將核心內(nèi)容總結(jié)起來(lái)，反射鏡組和配套的技術(shù)系統(tǒng)相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)的整個(gè)曝光流程。光刻機(jī)的鏡頭由德國(guó)蔡司獨(dú)家供應(yīng)，并且蔡司已經(jīng)申請(qǐng)了大量EUV設(shè)備的技術(shù)專(zhuān)利，在知識(shí)產(chǎn)權(quán)方面獲得了先發(fā)優(yōu)勢(shì)。而且光刻機(jī)是全球化的產(chǎn)物，是建立在獲得國(guó)際范圍內(nèi)頂級(jí)資源的前提下。

美國(guó)對(duì)中國(guó)企業(yè)的制裁，讓中國(guó)企業(yè)被迫與全球化模式分割，走上獨(dú)立自主的國(guó)產(chǎn)化模式，精密元器件的制造，是我們必須要面對(duì)的問(wèn)題。

根據(jù)國(guó)家發(fā)改委主管的《中國(guó)戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)》雜志表示：

中國(guó)的光學(xué)器件早在20世紀(jì)50年代就已經(jīng)有了初步的情況，天津照相機(jī)廠在這個(gè)時(shí)期制造了第一臺(tái)國(guó)產(chǎn)的照相機(jī)，但是該產(chǎn)品是以徠卡IIIc型為藍(lán)本，仿制了部分零件制造出來(lái)的模仿物。雖然是模仿，但也讓中國(guó)的鏡頭產(chǎn)業(yè)有了初步的經(jīng)驗(yàn)。

20世紀(jì)90年代，我國(guó)中科院長(zhǎng)春光機(jī)所就開(kāi)始研發(fā)EUV成像技術(shù)。2002年，長(zhǎng)春光機(jī)所研制了第一臺(tái)EUV的原理裝置，將EUV技術(shù)的整體理論融會(huì)貫通。

歐菲光、舜宇光學(xué)等國(guó)產(chǎn)光學(xué)鏡頭廠商，也對(duì)精密鏡頭產(chǎn)品開(kāi)始了猛攻。歐菲光已經(jīng)憑借著手機(jī)鏡頭開(kāi)始大規(guī)模應(yīng)用，而舜宇光學(xué)已經(jīng)在手機(jī)鏡頭、顯微鏡技術(shù)、醫(yī)療設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域推出了自主制造的鏡頭產(chǎn)品，這與蔡司當(dāng)年的發(fā)展路線(xiàn)如出一轍。

參考資料： 從仿制到自研：百年鏡片鉆研史|界面新聞 · JMedia https://www.jiemian.com/article/4899702.html

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