日本落井下石，國產光刻膠，到底與日本還有多大差距？

導讀：日本落井下石，國產光刻膠，到底與日本還有多大差距？

光刻膠作為光刻環節的關鍵耗材，與光刻機、光掩膜并稱為“光刻三劍客”。光刻膠在顯影液中的動態表現，直接影響著電路繪制的精準度與質量。需知，光刻膠哪怕僅有1%的良率波動，都可能導致數千萬美元的損失。

長期以來，全球光刻膠產業一直處于日本企業的壟斷之下。像日本的東京應化工業（TOK）、合成橡膠（JSR）、信越化學、富士膠片等企業，它們合計占據了全球75%以上的市場份額，在高端極紫外（EUV）光刻膠領域的占比更是高達96.7%。

不過，隨著中國光刻膠技術的不斷發展，日本企業的壟斷地位正面臨著嚴峻挑戰。《日本經濟新聞網》曾報道稱：“我們的市場份額正在被中國企業逐步蠶食。”那么國產光刻膠，到底與日本還有多大差距？

其實，中國半導體產業正在學習日本的發展模式。

當初，日本索尼從美國西方電氣公司購買了晶體管的專利授權，開發出的索尼TR-55型號的微型收音機在日本國內外引起搶購，拉開了日本半導體產業的序幕。

日立、三菱、富士通、東芝、NEC五大公司聯合日本科學家攻克電子束裝置和微縮曝光裝置、可變尺寸電子束裝置、掃描裝置和復印裝置、基礎材料等技術，在日本建立了半導體全產業鏈。后期日本兩度受到美方壓制，依然靠著供應鏈優勢繼續在芯片產業上擴張。

當下，中國半導體產業在借鑒日本發展經驗的基礎上，憑借官方資源與基金的支持，著力推動從上游原材料供應至后端制造的全產業鏈發展，并重點扶持了中芯國際、長江存儲、中微半導體等行業領軍企業。

相關產業統計數據表明，2023年中國光刻膠市場規模約達109.2億元，至2024年已突破114億元。在股票市場中，A股相關企業股價屢創新高，中芯國際股票迎來漲停潮，寒武紀股價在三個月內實現翻倍增長。這一發展態勢，似是印證了“師夷長技以制夷”的理念。

除光刻膠等產品領域外，中國大硅片產業亦逐步打破了日本企業的市場壟斷局面。當前，市場上95%的多晶硅以及96%的光伏硅片產能，均由中國企業供應。

今年，在美方對我國科技領域進行多方圍追堵截之時，日方做出“落井下石”之舉，突然宣布對我國實施極紫外（EUV）光刻膠出口管制。實事求是而言，我國目前在光刻膠領域的優勢主要集中在中端市場，高端EUV光刻膠對于我國來說，仍是頗具挑戰的難關。

面對日方這種不友好的舉動，我方充分發揮智慧，選擇“換道突圍”的策略。武漢太紫微的T150A光刻膠，憑借自創的“分子烘焙法”巧妙繞開了日本專利。該光刻膠在中芯國際28納米產線上表現卓越，芯片良率從89%一路提升至93.7%，以實實在在的數據證明了技術上的突破。

學界也傳來令人欣喜的消息：北京大學彭海琳教授團隊運用冷凍電鏡技術，成功減少了光刻缺陷，為光刻膠材料研發開辟了新的途徑。清華大學團隊的“量子點光刻膠”已申請國際專利。這表明我們不再僅僅是追趕者，也在積極開創屬于自己的技術路線。

歷史早已證明，技術封鎖或許能夠在一定程度上延緩我國技術發展的進程，但無法磨滅中國突破重重桎梏的堅定決心。正如華為任總所言：“我們走在無人區，前面沒有燈塔，但我們可以成為自己的燈塔。”