深圳再添一家上市公司，恒運昌（688785）在上交所科創板掛牌上市

深圳市康創股權投資基金管理有限1月28日消息，一家來自廣東深圳的科技公司成功在科創板上市，為廣東再添一家上市公司。該公司名為深圳市恒運昌真空技術股份有限公司（下文簡稱：恒運昌），成立于2013年3月，這是一家國內領先的半導體設備核心零部件供應商。

恒運昌能夠成功上市，跟它的創始人樂衛平關系密切。

樂衛平出生于1973年，湖南常德人。1995年，樂衛平成功進入湖南省桃源縣郵電局電信設備廠擔任技術員，這份工作在當時肯定是讓人羨慕的。不過那畢竟是在縣城，天花板相對來說較低。好在這份工作鍛煉了樂衛平對于電子技術和設備維護的基礎。

2003年，樂衛平像很多湖南人一樣到了廣東打工，進入到了知名外企AE公司擔任測試技術員。樂衛平憑借著自己的技術做到了工程師的位置。2006年，樂衛平被公司調任上海公司，一步步做到了銷售高級經理的位置。

樂衛平在這家外企一做就是11年，這段時間讓他積累了豐富的研發、應用和銷售經驗，也深知國內半導體客戶的痛點所在。當時國內的晶圓廠射頻電源主要從AE、MKS巨頭手中購買，不僅交付周期長，而且價格貴，售后服務差。

2013年，樂衛平在此契機之下創立恒運昌。公司成立前三年一直處于研發階段，沒有任何自家產品的收入，也遇到過工資發不出來的尷尬情況。為了活下去，公司也嘗試代理國外品牌銷售，用來度過危機。好在公司在2015年推出了CSL系列基礎款射頻電源，公司慢慢有了自營產品收入。

2018年是公司的轉折點，國內半導體廠商想要可以國產替代的零部件產品，公司團隊成功攻克了大功率實時等離子體阻抗測量、快速匹配、多通道同步控制等技術，成功進入主流廠商的供應鏈，公司開始快速發展。最終有了今天的恒運昌。

資料顯示，深圳市恒運昌真空技術股份有限公司位于廣東省深圳市寶安區西鄉街道鐵崗社區桃花源智創小鎮功能配套區B棟101,201,301，成立日期2013年3月19日，上市日期2026年1月28日，公司主營業務涉及主要從事等離子體射頻電源系統、等離子體激發裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發、生產、銷售及技術服務,并引進真空獲得和流體控制等相關的核心零部件,圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。主營業務收入構成為：自研產品84.81%，引進產品14.66%，技術服務0.53%。

截至1月28日，恒運昌股東戶數1.64萬，較上期增加71291.30%；人均流通股775股，較上期增加0.00%。2025年1月-9月，恒運昌實現營業收入4.01億元，同比減少5.79%；歸母凈利潤9157.67萬元，同比減少23.73%。

發行人股權結構

截至本招股說明書簽署日，公司股權結構圖如下：

主營業務概況

公司是國內領先的半導體設備核心零部件供應商，主要從事等離子體射頻電源系統、等離子體激發裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發、生產、銷售及技術服務，并引進真空獲得和流體控制等相關的核心零部件，圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。

如果我們把芯片制造比喻成版畫藝術品的高科技復刻，那么產生及控制等離子體的等離子體射頻電源系統就是這場高科技復刻的“指揮家”。等離子體射頻電源系統通過精確控制電流頻率和功率，指揮著半導體制造過程中的等離子體變化，確保在晶圓表面精確、均勻地沉積出薄膜層、精細地刻蝕出復雜圖形和去除光刻膠等。等離子體由于具有獨特的光、熱、電物理特性以及高活性、高能量的特點，為半導體精密制造提供了不可替代的工藝基礎。如今等離子體工藝廣泛應用于薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠、鍵合等芯片制造的重要環節，并隨著先進封裝技術的發展應用于更多工藝環節中。隨著芯片結構的不斷復雜化、半導體工藝制程的持續演進，等離子體工藝的關鍵作用將愈發凸顯。

等離子體射頻電源系統是半導體設備零部件國產化最難關卡之一，技術壁壘高、研發投入大、研發周期長、生產的“精確復制”要求極高，因而國產化率極低。根據弗若斯特沙利文統計，2024 年中國大陸半導體領域等離子體射頻電源

系統的國產化率不足 12%，屬于被“卡脖子”最嚴重的環節之一。公司聚焦于等離子體射頻電源系統的技術攻關，歷經十年，先后推出 CSL、Bestda、Aspen 三代產品系列，成功打破了美系兩大巨頭 MKS 和 AE 長達數十年在國內的壟斷格

局。公司自主研發的第二代產品 Bestda 系列可支撐 28 納米制程，第三代產品Aspen 系列可支撐 7-14 納米先進制程，達到國際先進水平，填補國內空白。與此同時，國內主要晶圓廠被美國商務部列入實體清單后，無法向原海外設備供應

商采購備件或申請維修服務，公司為此承接了進口等離子體射頻電源系統的原位替換及維修的業務。

財務會計報表（合并資產負債表）

恒運昌公司的營業收入主要來自于自研產品、引進產品及技術服務的銷售。2022 年度、2023 年度、2024 年度和 2025 年 1-6 月，恒運昌公司的營業收入分別為人民幣 158,158,046.51 元、人民幣 325,268,486.91 元、人民幣 540,790,338.75元和人民幣 304,056,343.03 元。由于營業收入是恒運昌公司關鍵業績指標之一，可能存在恒運昌公司管理層（以下簡稱管理層）通過不恰當的收入確認以達到特定目標或預期的固有風險，且收入確認涉及重大管理層判斷，因此，天健會計師將收入確認確定為關鍵審計事項。

本次募集資金投資項目運用概況

根據 2024 年第二次臨時股東大會授權，并經 2025 年第一屆董事會第十次會議審議通過調整方案，本次發行募集資金扣除發行費用后，凈額擬全部用于以下與公司主營業務相關的項目：

上述項目投資總額為 151,816.13 萬元，擬使用募集資金投入金額為146,900.00 萬元。若本次發行上市募集資金到位時間與項目進度要求不一致，公司將根據項目實際進度自籌資金先期投入，募集資金到位后置換已預先投入的自籌資金。募集資金到位后，若本次發行上市實際募集資金凈額低于擬投入募集資金金額，公司將根據實際募集資金凈額，按照項目的輕重緩急等情況，調整并最終決定募集資金的具體投資項目、優先順序及各項目的具體投資額，募集資金不

足部分由公司以自有資金或通過銀行貸款等融資方式解決。若募集資金超過預計資金使用需求的，公司將根據證監會及上交所的有關規定對募集資金進行使用。

（二）募集資金重點投向科技創新領域的具體安排

公司是國內半導體領域首家出貨過億元和首家實現等離子體射頻電源系統（支持半導體先進制程）量產的國產廠商，并獲得國內頭部晶圓廠的認證。公司致力于為國產半導體設備提供核心零部件產品。隨著半導體先進制程的尺寸進一步縮小、芯片結構復雜性進一步提升，下游設備商以及終端晶圓廠都對公司的產品性能提出了更高的要求。本次募集資金投資項目圍繞公司主營業務進行，按照公司業務發展規劃對現有產品提升和拓展，新建全新智能產線及購置新設備，擴大公司產能；通過研發中心項目建設進一步提高產品科技含量，提升公司核心競爭力；建設營銷及技術支持中心項目，提升公司客戶服務響應速度，加強技術服務能力，提升公司在半導體設備核心零部件等國家科技創新領域的綜合能力。