你敢信嗎,一臺機器賣近28億人民幣,全球就一家能造,連最大的客戶都嫌貴買不起單。這玩意兒就是ASML的最新型High-NA EUV光刻機,前不久剛在央視上第一次跟國內觀眾見面。本來大家伙都在這臺機器有多夸張?重量150噸,相當于兩架空客A320,大小跟雙層巴士差不多,運的時候要裝250個貨箱,250個工程師花半年才能裝好。它有十萬多個零件,能做2納米甚至更小的芯片,單臺賣快4億美元,比上一代貴了整整一倍。
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圍觀全球最牛的精密制造到底長啥樣,沒成想轉頭就出了個大反轉,這事還跟咱們中國芯片產業的現狀綁得死死的。臺積電是ASML最大的客戶,人家直接放話了,2029年之前都不打算用這臺機器造芯片。理由特別直白,就是太貴,而且沒必要啊。現在的舊設備還能接著用,做2納米成本也不會漲太多,犯不著花這冤枉錢。
西方對咱們的芯片封鎖,現在比之前狠多了。之前只是不讓賣EUV光刻機給咱們,咱們本來也沒拿到過。這次不一樣,美國直接出了新法案,連DUV浸沒式光刻設備都不準賣,還逼著荷蘭日本跟他們中芯國際華為這些咱們的核心半導體企業,都被列進了管制名單。ASML今年一季度來自中國的銷售占比,直接從去年全年的33%掉到了19%,降速快得驚人。不少人都慌了,覺得這一下要遭重對不對?其實咱們早有準備,前幾年就已經囤了不少貨,現在進口降了一部分也是在消化庫存,不全是被動卡脖子。
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對齊,連之前賣出去的機器都不讓人來修那咱們國產光刻機現在到底走到哪一步了?今年年初上海微電子就在正式行業峰會上說了,28納米浸沒式DUV光刻機今年就要全面量產。人家計劃去年年底建好5條量產線,一年能出50臺,今年目標市占率做到25%,這可不是自媒體瞎吹的,是官方自己公開說的。
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很多人覺得28納米太落后,那真的是誤解了。現在全球七成以上的芯片需求都是成熟制程,汽車家電工業控制用的芯片,根本用不著2納米,28納米完全夠用。把成熟制程穩穩握在自己手里,咱們整個電子工業的基本盤就穩住了。
當然差距咱們也得認,不能閉著眼睛瞎吹。跟ASML比,不管是套刻精度還是產能,差距都不小,技術差大概十年以上,效率差更是明顯,短期內確實追不上。但高端領域咱們也沒停下腳步,好多突破都值得說一說。
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哈工大已經研發出了13.5納米的極紫外光技術,走的路線跟ASML不一樣,造價低體積小,就是現在功率還不夠,跟ASML商用的600瓦比還有不小差距。中科院上海光機所的團隊更厲害,沒用ASML用了二十年的舊路線,換了固態激光器方案,轉換效率比西方頂尖機構還高。帶頭的專家之前還是ASML的光源技術負責人,早就回國扎根搞研發了。
現在上海微電子的EUV光刻機已經進到試產階段,提交了不少關鍵技術專利,計劃今年就能實現小批量交付。不過大家也得拎清楚,從實驗室出成果到能穩定商用造芯片,中間還有無數工藝驗證和產線磨合的坎要過,得一步步磨。ASML前CEO說咱們差十到十五年,這話不好聽,但確實是實話,光刻機十萬個零件,每個環節都得過關,急不來。
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現在整個國產半導體供應鏈已經慢慢成型了,國產設備的市占率已經爬到32%了。國內只有北京國望光學能實現28納米物鏡國產化,科益虹源能量產193納米準分子激光器,華卓精科更是全球第二個掌握雙工件臺技術的公司。從清華攻關工件臺、浙大研發浸液系統到各個研究所突破核心技術,大家湊在一起協同攻關,一條完整的國產供應鏈已經搭起來了。
其實ASML現在日子也沒那么差,AI芯片需求太火,臺積電三星都在擴產,訂單多到接不完,一季度業績還超了市場預期。就算少了中國一部分市場,別的地方的增長也能補上來,封鎖對兩邊都有損失,哪有什么只有贏家的游戲。
前陣子國內半導體圈好多企業大佬和學界專家集體發文呼吁,說半導體設備全自主可控是必然趨勢,光刻機是攻關的重中之重。這種公開表態放在幾年前真不多見,說明大家都看清楚了,依賴外部供應的窗口正在關,只能自己干,這個方向已經變不回去了。
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說回那臺近28億的天價光刻機,它確實是現在人類精密制造的天花板,可連最大的潛在客戶都覺得不劃算,暫時不打算用。技術競爭從來不是比誰的東西更貴更先進,是比誰能用合適的成本造出能用的芯片,賣得出去。
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咱們現在的路子走得特別穩,先把28納米做深做透,把成熟制程的糧倉裝滿,同時在EUV核心技術上多線推進,不追求一步登天,每一步都踩實了就行。
參考資料:央視新聞 央視首次曝光全球最強光刻機相關報道
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