中國(guó)造不出光刻機(jī)？中科大副院長(zhǎng)：美國(guó)造不出，中國(guó)永遠(yuǎn)都不可能

2024年9月2日，一份裝備推廣目錄悄然發(fā)布，193納米波長(zhǎng)，65納米分辨率，套刻精度不超過(guò)8納米——這是一臺(tái)光刻機(jī)的參數(shù)。

十幾天后，一段舊訪談刷屏網(wǎng)絡(luò)，中科大前副院長(zhǎng)在視頻里直言，光刻機(jī)這東西，美國(guó)造不出，中國(guó)永遠(yuǎn)不可能。

目錄與言論，為何在此時(shí)碰撞？這場(chǎng)爭(zhēng)論背后，真正的棋局是什么？

十多萬(wàn)個(gè)零件，五千家供應(yīng)商，鎖死一臺(tái)機(jī)器。這臺(tái)機(jī)器，就是荷蘭阿斯麥公司賣給全世界的極紫外光刻機(jī)，一臺(tái)機(jī)器售價(jià)超過(guò)一億歐元。它像一個(gè)用全球最頂尖技術(shù)零件組裝起來(lái)的精密怪物：德國(guó)蔡司公司給它做鏡頭，美國(guó)賽默公司提供光源，日本的材料，瑞士的精密機(jī)械，缺一不可。阿斯麥?zhǔn)遣蛷d老板，但他自己的廚房里，空空蕩蕩。

2024年9月，一段三年前的訪談視頻，突然被重新翻出來(lái)，刷屏網(wǎng)絡(luò)。說(shuō)話的人是朱士堯，中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)前副院長(zhǎng)，物理學(xué)教授，他的身份讓這句話格外有分量。他說(shuō)，全世界沒(méi)有一個(gè)國(guó)家能單獨(dú)造出這種機(jī)器，美國(guó)不行，中國(guó)更不可能，永遠(yuǎn)不可能。這話是他在2021年2月接受采訪時(shí)說(shuō)的，卻在三年后被翻出來(lái)，炸了鍋。

這組數(shù)字意味著，它能夠支持28納米芯片的規(guī)模化生產(chǎn)。28納米工藝的芯片，覆蓋了汽車、家電、工業(yè)控制等七成以上的全球芯片市場(chǎng)需求。簡(jiǎn)單說(shuō)，掌握28納米，大多數(shù)工業(yè)生產(chǎn)就能不被人卡脖子。朱士堯的“永遠(yuǎn)不可能”斷言，和工信部目錄上這行參數(shù)，發(fā)生在同一個(gè)九月。這個(gè)時(shí)間點(diǎn)，不是巧合。

那時(shí)，美國(guó)從2022年開(kāi)始收緊的出口管制，已經(jīng)層層加碼。2023年9月，荷蘭政府跟進(jìn)，阿斯麥的幾款關(guān)鍵深紫外光刻機(jī)，被禁止向中國(guó)企業(yè)出售。那些重達(dá)180噸的機(jī)器，在荷蘭的倉(cāng)庫(kù)里堆成山，裝不進(jìn)發(fā)往中國(guó)的集裝箱。阿斯麥一邊安撫客戶，一邊眼看著市場(chǎng)份額可能出現(xiàn)波動(dòng)。

朱士堯的論斷，并非沒(méi)有道理。他的悲觀，建立在一個(gè)堅(jiān)硬到幾乎無(wú)懈可擊的現(xiàn)實(shí)之上。這套邏輯就像合伙開(kāi)一家頂級(jí)餐廳：阿斯麥?zhǔn)谴髲N和老板，但他不生產(chǎn)任何原材料，后廚的核心爐灶得靠德國(guó)通快公司獨(dú)家供貨，一臺(tái)高能激光器價(jià)值數(shù)千萬(wàn)歐元；炒菜的鍋和鏟子是德國(guó)蔡司打磨的鏡片，誤差要小于0.1納米，一根頭發(fā)絲的萬(wàn)分之一；連鍋里的油和調(diào)味料，也依賴日本企業(yè)的光刻膠和特種氣體。阿斯麥用25億美元收購(gòu)美國(guó)賽默，用10億歐元入股蔡司，就是在拼命綁緊這些合伙人。這套全球協(xié)作的體系太精密了，任何一個(gè)環(huán)節(jié)松掉，整道菜就做不出來(lái)。

美國(guó)在上世紀(jì)90年代不信邪，試過(guò)自己牽頭搞國(guó)家光刻機(jī)項(xiàng)目，結(jié)果耗費(fèi)巨資，最后因?yàn)槌杀靖咂蠛蛥f(xié)調(diào)失敗，不了了之。這就是朱士堯所講的“美國(guó)也造不出”的底層邏輯。他要表達(dá)的是，這不是中國(guó)一家的問(wèn)題，而是全球化頂級(jí)制造范式的本質(zhì)。

真正的難點(diǎn)，在于物理極限：極紫外光刻的光源，需要用激光去轟擊直徑只有30微米的錫滴，每秒要轟擊五萬(wàn)次，產(chǎn)生波長(zhǎng)13.5納米的極紫外光。整個(gè)過(guò)程，精度要求比用狙擊槍命中一公里外的一枚硬幣還要高。任何一個(gè)參數(shù)的輕微抖動(dòng)，整個(gè)曝光過(guò)程就全廢了。這套系統(tǒng)的集成和調(diào)試，是幾代工程師用幾十年時(shí)間磨出來(lái)的經(jīng)驗(yàn)，不是圖紙和數(shù)據(jù)就能復(fù)制。

全球激光晶體市場(chǎng)60%的份額，在中國(guó)企業(yè)福晶科技手里。它已經(jīng)是阿斯麥的供應(yīng)商。但邏輯成立，現(xiàn)實(shí)卻走了另一條路。荷蘭禁令發(fā)布后，中國(guó)的倉(cāng)庫(kù)里在加緊安裝最后一批到貨的機(jī)器，同時(shí)，哈爾濱工業(yè)大學(xué)的實(shí)驗(yàn)室里，激光等離子體光源的原型機(jī)正在輸出功率。

德國(guó)的壟斷企業(yè)通快公司依然風(fēng)光，但全球60%的激光晶體市場(chǎng)份額，握在中國(guó)福建的一家企業(yè)——福晶科技手里，它早已是阿斯麥的供應(yīng)商。封鎖的鎖鏈看似密不透風(fēng)，但有些環(huán)節(jié)，在不知不覺(jué)中已經(jīng)換了位置。

就在2025年，上海微電子的工程師們，在交付首臺(tái)28納米光刻機(jī)后，拿到了來(lái)自重點(diǎn)單位的1.1億元訂單。朱士堯斷言“永遠(yuǎn)不可能”的時(shí)候，上海張江的潔凈室里，工程師們已經(jīng)泡了大半年，他們?cè)谡{(diào)試的，是上海微電子裝備有限公司生產(chǎn)的600系列光刻機(jī)，套刻精度8納米。

就在2025年，這家公司的工程師們交付了首臺(tái)可用于28納米芯片生產(chǎn)的浸沒(méi)式深紫外光刻機(jī)，客戶是中芯國(guó)際。這臺(tái)機(jī)器的套刻精度達(dá)到了1.9納米，量產(chǎn)后的良率穩(wěn)定在90%。更重要的是，它拿下了一個(gè)來(lái)自重點(diǎn)單位的訂單，價(jià)值1.1億元人民幣。這不是實(shí)驗(yàn)室里的樣品，而是真金白銀的商業(yè)合同。

阿斯麥的財(cái)報(bào)里，2025年中國(guó)市場(chǎng)的銷售額占比是33%，但阿斯麥自己預(yù)計(jì)，到2026年這個(gè)數(shù)字會(huì)降到20%。他們給出的理由是出口管制。一個(gè)更現(xiàn)實(shí)的原因或許是，有些需求，不需要再找他們了。從90納米到65納米，再到28納米，上海微電子走了二十年。

這條路不是直道超車，而是從山腳最崎嶇的地方，自己踩出一條路。北京的國(guó)望光學(xué)在磨鏡片，華卓精科在做精密工件臺(tái)，一條圍繞中低端光刻需求的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈，在封鎖的壓力下，反而加速成型。

這個(gè)過(guò)程，中國(guó)人并不陌生。十幾年前，修建隧道和地鐵所需的盾構(gòu)機(jī)，被德國(guó)和日本企業(yè)壟斷，一臺(tái)要價(jià)數(shù)億元，專家們同樣搖頭，說(shuō)這東西零部件兩萬(wàn)多個(gè)，控制系統(tǒng)極其復(fù)雜，中國(guó)造不了。幾年后，中國(guó)制造的盾構(gòu)機(jī)占據(jù)了全球70%的市場(chǎng)。從高鐵到液晶面板，從超算到空間站，類似的劇本一次次上演。

開(kāi)場(chǎng)總是“造不出”的斷言，中段是封鎖與制裁，結(jié)局往往是自主供應(yīng)鏈的誕生。光刻機(jī)的路，更長(zhǎng)，更陡。但邏輯已經(jīng)清晰：不是要在別人的餐廳里當(dāng)大廚，而是要在一片新空地上，建起自己的廚房。哪怕一開(kāi)始只能做家常菜，但食材和鍋灶，都攥在自己手里。這條路，走得通嗎？

2002年，上海微電子成立。那時(shí)的實(shí)驗(yàn)室條件簡(jiǎn)陋，目標(biāo)是造出中國(guó)人自己的光刻機(jī)。二十三年后，它的28納米光刻機(jī)開(kāi)始進(jìn)入產(chǎn)線驗(yàn)證。時(shí)間快進(jìn)到今天，預(yù)言與現(xiàn)實(shí)之間的那道裂痕，已經(jīng)清晰可見(jiàn)。朱士堯的論斷，站在全球分工的理想圖景里完全正確，但他或許低估了一種力量：當(dāng)退路被徹底斬?cái)啵笊ぐl(fā)出的創(chuàng)造力。

這場(chǎng)博弈的終點(diǎn)，從來(lái)都不是在荷蘭的庭院里復(fù)制一個(gè)一模一樣的阿斯麥，那沒(méi)有意義。真正的終點(diǎn)，是在一個(gè)被人為割裂的全球市場(chǎng)中，建立起一套自主可控的、能滿足絕大多數(shù)工業(yè)化需求的芯片制造能力。28納米，就是這道生存線的基準(zhǔn)。

掌握了它，汽車能跑，空調(diào)能轉(zhuǎn)，高鐵能飛馳，大多數(shù)工業(yè)機(jī)器就能正常運(yùn)轉(zhuǎn)。這是市場(chǎng)的基本盤。至于手機(jī)里那個(gè)最頂尖的5納米、3納米芯片，那是另一個(gè)維度的戰(zhàn)爭(zhēng)。而那場(chǎng)戰(zhàn)爭(zhēng)的打法，可能不再是攀登別人定義的技術(shù)高峰。

路透社在2025年初報(bào)道，中國(guó)工程師已經(jīng)造出了極紫外光刻機(jī)的原型，它龐大、笨重，鏡片質(zhì)量還不穩(wěn)定，安靜地躺在廠房里。幾乎在同一時(shí)間，浙江大學(xué)發(fā)布了“羲之”電子束光刻機(jī)，精度0.6納米，專攻量子芯片。它不走傳統(tǒng)光刻的路，而是換了一條賽道。阿斯麥所主導(dǎo)的全球化精密協(xié)作范式，依然是山頂?shù)拿髦椋谏窖蜕侥_下，新的路徑正在被開(kāi)辟。

這場(chǎng)漫長(zhǎng)的博弈，最終會(huì)重塑全球光刻產(chǎn)業(yè)的格局。一邊，是阿斯麥和它的盟友，繼續(xù)向著2納米、1納米的物理極限沖鋒；另一邊，是一個(gè)龐大而完整的工業(yè)體系，用28納米以上的成熟工藝，構(gòu)筑起自己堅(jiān)實(shí)的產(chǎn)業(yè)地基。兩者可能長(zhǎng)期并行，滿足不同層次的需求。

朱士堯的論斷沒(méi)有錯(cuò)，它指出了巔峰攀登的絕對(duì)難度。但中國(guó)的選擇，從來(lái)不是登上那個(gè)由他人定義的頂峰。

未來(lái)兩年，國(guó)產(chǎn)28納米光刻機(jī)的裝機(jī)量，以及其在汽車、工業(yè)芯片領(lǐng)域的實(shí)際良率穩(wěn)定性，將是檢驗(yàn)這條自主路徑的關(guān)鍵標(biāo)尺。

回頭看，從盾構(gòu)機(jī)到顯示面板，每一次“造不出”的預(yù)言失靈，都伴隨著同樣的劇本：封鎖、投入、突破、替代。