據集微網消息,綜合外媒報道,當地時間7月14日晚9點30分左右,光刻膠供應商陶氏化學(Dows Chemical)位于美國路易斯安那州的普拉克明(Plaquemine)工廠發生爆炸。
據當地媒體報道,Plaquemine工廠當時被測到共發生六起爆炸,居住在附近的目擊者拍到了巨大火焰的影片,并表示幾英里外都可以感受到爆炸沖擊波。事發后,該工廠方圓0.5英里(約合805米)范圍內的居民被要求居家避難。直到當地時間7月15日凌晨5點,“就地避難”命令被解除。
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針對此次事件,陶氏化學公司發表聲明稱:該工廠7月14日發生火災,正在與當地和州機構密切合作以應對該事件。已查明所有人員均安全,空氣監測未檢測到空氣中的有害物質。至于事故原因,目前還在調查當中。
根據公開資料顯示,陶氏化學成立于1897年,總部位于美國密歇根州米特蘭,是全球最大的化工企業之一,主要研制及生產系列化工產品、塑料及農化產品,業務涵蓋農業、建筑、電子、能源等多個領域。
陶氏化學也是全球半導體關鍵化學材料的重要供應商,不僅擁有高純度化學品產品線,還提供了一系列的光刻材料,包括光刻膠、光刻膠溶劑、光刻膠輔助劑等。同時,陶氏化學還是全球重要的CMP(化學機械拋光技術)材料供應商,包括拋光墊、拋光液等。
光刻膠為半導體核心材料,2020 年全球ArF 光刻膠市場前四大廠商(TOK、信越化學、JSR、住友化學)均來自日本,CR4 近 80%;KrF日美四大廠商 TOK、信越化學、陶氏化學、JSR ,CR4近 85%。CMP 拋光墊和拋光液是化學機械拋光環節的核心耗材。CMP 拋光墊全球市場集中度高,主要被陶氏化學占據,占全球 79%的市場份額。
因此,陶氏化學工廠爆炸引發了不少半導體業界人士的關注。
資料顯示,陶氏在路易斯安那州擁有四個工廠,分別為:普拉克明(Plaquemine)、大海灣(Grand Bayou)、哈恩維爾(Hahnville)和格林斯堡(Greensburg),這四家工廠生產了100多種基本和特種化學品,銷往全球。
其中,此次爆炸涉及的普拉克明(Plaquemine)工廠隸屬于陶氏路易斯安那運營部,占地1500英畝,擁有23個生產單位(有報道稱是12個生產單位),生產50多種不同的中間和特種化學產品,如氯和聚乙烯,用于生產化妝品、洗滌劑、溶劑、藥品、粘合劑、各種包裝用塑料、汽車零部件、電子元件等。
據芯智訊報道,此次爆炸事件主要發生在陶氏普拉克明廠區的Gylcol 2(乙二醇 2)部門,該部門主要生產強力易燃和高度致癌化學物質環氧乙烷。
資料顯示,大部分的環氧乙烷被用于制造其它各類化學品,主要是乙二醇。乙二醇主要的最終用途是生產聚酯聚合物,也被用作汽車冷卻劑及防凍劑。其次用于生產乙氧基化合物、乙醇胺、乙二醇醚、亞乙基胺、二甘醇、三甘醇、多甘醇、羥乙基纖維素、氯化膽堿、乙二醛、乙烯碳酸酯等下游產品。
其中,電子級和半導體級乙二醇醚可應用于LCD清潔劑和稀釋劑, 半導體清潔劑和稀釋劑,光刻膠配方等領域。
據芯智訊認為,目前尚不清楚,此次陶氏化學普拉克明工廠爆炸事件是否會對陶氏杜邦占據優勢地位的CMP拋光液、光刻膠等供應產生影響,不過預估影響可能很小,具體仍有待后續觀察。
值得注意的是,在去年4月,同樣在陶氏在路易斯安那州普拉克明工廠內,也曾發生過火災事件,并且發生了氯氣泄漏事件。據悉,發生事故的公司是Olin公司,該公司是陶氏化學在普拉克明地區的第三方租戶。
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