光刻機(jī)巨頭開(kāi)始慌了，中國(guó)造不成光刻機(jī)，但是要造一個(gè)光刻工廠！

光刻機(jī)是半導(dǎo)體行業(yè)的核心，沒(méi)它芯片就沒(méi)法精細(xì)刻畫。全球市場(chǎng)基本被荷蘭的ASML一家把持，他們從1984年起步，靠著精密光學(xué)和曝光技術(shù)，占據(jù)了九成份額。高端EUV光刻機(jī)更是他們的獨(dú)門絕活，能處理7納米以下的制程，價(jià)格一臺(tái)頂?shù)蒙蠋准茱w機(jī)。

其他國(guó)家想買，還得看出口管制，尤其是中國(guó)，從2019年起美國(guó)就開(kāi)始施壓，禁止ASML賣最先進(jìn)的EUV給中國(guó)企業(yè)。到了2025年，連相對(duì)落后的DUV光刻機(jī)出口也層層設(shè)卡，荷蘭政府部分撤銷許可證，影響中芯國(guó)際這樣的廠家采購(gòu)。

中國(guó)半導(dǎo)體起步不算早，上世紀(jì)五十年代才開(kāi)始摸索，1956年國(guó)家科技規(guī)劃就把這塊列為重點(diǎn)。1958年拉出第一根硅單晶，1960年搞出首批鍺晶體管，這些基礎(chǔ)活兒為后來(lái)電子產(chǎn)業(yè)鋪路。七十年代產(chǎn)量低，良率不高，八十年代引進(jìn)外資建廠，但核心設(shè)備一直靠進(jìn)口。

九十年代市場(chǎng)份額小，技術(shù)落后國(guó)際十年。進(jìn)入2000年后，政策扶持加大，企業(yè)投資建廠，產(chǎn)業(yè)鏈慢慢成型。2010年需求旺盛，但ASML優(yōu)先供其他客戶，中國(guó)只能買中端貨。2020年管制升級(jí)，外匯流出嚴(yán)重，每年上百億美金花在采購(gòu)上。

國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)路子走得曲折，上海微電子的設(shè)備能到90納米量產(chǎn)，28納米還在研發(fā)階段。2023年推出28納米機(jī)型，2025年優(yōu)化后良率超八成，但跟ASML的5納米比還有差距。國(guó)產(chǎn)化率低，僅12%，90%靠進(jìn)口。

產(chǎn)業(yè)鏈上游材料如光刻膠和光學(xué)玻璃，國(guó)內(nèi)企業(yè)像恒坤新材募資15億擴(kuò)產(chǎn)，KrF光刻膠覆蓋7納米，2025年底產(chǎn)能500噸。中下游封裝測(cè)試有進(jìn)展，但整體依賴外供。光刻膠市場(chǎng)2024年80億規(guī)模，2026年預(yù)計(jì)152億，政策大基金三期投288億支持材料領(lǐng)域。

美國(guó)目的明顯，想遏制中國(guó)半導(dǎo)體崛起，2024年新增實(shí)體清單，2025年DUV管制擴(kuò)展到NXT:1970i和1980i型號(hào)。中國(guó)企業(yè)囤積設(shè)備，2023年ASML向中國(guó)交付大量DUV，合規(guī)窗口期內(nèi)搶貨。

分析師擔(dān)心這些機(jī)器用于軍事技術(shù)，但中國(guó)強(qiáng)調(diào)自主研發(fā)，南京機(jī)構(gòu)專注光刻研究。德國(guó)提供部分合作，提升光學(xué)能力，但整體環(huán)境惡化，產(chǎn)業(yè)鏈脆弱。光刻機(jī)不光是機(jī)器，還牽扯光學(xué)薄膜、電子化學(xué)品，整個(gè)生態(tài)龐大，中國(guó)從這些入手補(bǔ)短板。

中國(guó)承認(rèn)短期造不出頂尖光刻機(jī)，尤其是EUV那種復(fù)雜的，但不死磕單臺(tái)設(shè)備，轉(zhuǎn)而建完整光刻工廠。這思路一出，2023年9月曝光，就讓ASML高層緊急開(kāi)會(huì)。不是復(fù)制機(jī)器，而是用同步輻射裝置（SSMB）當(dāng)中央光源，建一公里長(zhǎng)加速器，管多條生產(chǎn)線。

簡(jiǎn)單說(shuō)，像建印刷廠，不賣打印機(jī)，純基建模式。清華團(tuán)隊(duì)牽頭，2025年第三季度進(jìn)入試產(chǎn)，用粒子加速器產(chǎn)生EUV光，繞開(kāi)ASML壟斷的光源技術(shù)。

工廠方案核心是產(chǎn)業(yè)鏈整合，上游光源統(tǒng)一供應(yīng)，下游多線并行曝光。光源系統(tǒng)決定性能，縮小波長(zhǎng)提升分辨率，光學(xué)元件精密加工。材料環(huán)節(jié)，光刻膠涂布均勻，影響圖案清晰。設(shè)備包括雙工件臺(tái)，移動(dòng)硅片穩(wěn)定。

中國(guó)工廠補(bǔ)齊薄弱點(diǎn)，上游采購(gòu)電子特氣，下游芯片切割。2025年上海公司推出28納米機(jī)，工廠試產(chǎn)3納米，采用激光誘導(dǎo)放電，顛覆舊方案。

ASML看到這計(jì)劃，市場(chǎng)份額波動(dòng)，2025年上半年中國(guó)營(yíng)收占比超25%，但先進(jìn)設(shè)備受限。中國(guó)不擔(dān)心盈利，定制生產(chǎn)，外匯少流出。巨頭原本得意，以為管制能卡住中國(guó)，但工廠模式威脅長(zhǎng)遠(yuǎn)壟斷。

2025年ASML全年?duì)I收增長(zhǎng)15%，毛利率52%，內(nèi)部討論中國(guó)動(dòng)態(tài)。股價(jià)起伏，高管承認(rèn)中國(guó)芯片落后西方15年，但自主路徑多線突圍，如納米壓印和電子束光刻。浙江團(tuán)隊(duì)首臺(tái)商用電子束機(jī)，線寬8納米。

信件內(nèi)容曝光，用食物比喻：主機(jī)像底，零件像料，光源像熱。每道工序一層一層加，精確控制。工廠目標(biāo)掌握全流程，從材料到檢驗(yàn)。ASML不擔(dān)心短期，但長(zhǎng)遠(yuǎn)市場(chǎng)獨(dú)占鰲頭難保。中國(guó)從德國(guó)獲樣品，加速進(jìn)程。2025年8月，出貨里程碑，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)。巨頭調(diào)整策略，增加研發(fā)支出，推出新款，但慌張情緒明顯。

中國(guó)半導(dǎo)體投資持續(xù)，2025年光刻膠國(guó)產(chǎn)化循環(huán)形成，政策技術(shù)需求正向。光谷百億項(xiàng)目沖刺投運(yùn)，填補(bǔ)通信激光材料空白。產(chǎn)業(yè)鏈全景，上游材料供應(yīng)，下游功率器件應(yīng)用。A股江蘇企業(yè)最多，投資布局增加。全球格局演變，中國(guó)突破90納米量產(chǎn)，28納米測(cè)試。自給率提升，巨頭加強(qiáng)合作限制。

其他路線如杭州納米壓印設(shè)備，精度高。電子束并行，2025年進(jìn)展顯著。市場(chǎng)準(zhǔn)入受限，但國(guó)產(chǎn)替代推進(jìn)。產(chǎn)業(yè)鏈投資升溫，重點(diǎn)拆解分析。巨頭減輕關(guān)稅影響，公布訂單。中國(guó)夢(mèng)圓，工廠輸出產(chǎn)品。挑戰(zhàn)空前，但薄弱漸強(qiáng)，獨(dú)立化可期。

全球封鎖背景下，機(jī)遇并存。光刻材料受益面板轉(zhuǎn)移，銷售增長(zhǎng)。掩膜版精密組件替代廣闊，公司研發(fā)試產(chǎn)。政策支持保障發(fā)展。挑戰(zhàn)如技術(shù)差距大，市場(chǎng)依賴進(jìn)口，任重道遠(yuǎn)。但繁榮在即，2025市場(chǎng)規(guī)模億元級(jí)。預(yù)測(cè)2032全球更大。中國(guó)份額升，EUV機(jī)器試生產(chǎn)，更簡(jiǎn)單架構(gòu)。

產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動(dòng)發(fā)力，不光主梁，配件跟上。設(shè)備上海微電子600系列，中芯批量。光刻工廠落地，先進(jìn)芯片生產(chǎn)變“建電站”。ASML模式日子或終結(jié)。2025系列動(dòng)作，半導(dǎo)體史上協(xié)同攻堅(jiān)。華為基地等，催生突破。