上海
財聯社1月8日訊（編輯 馬蘭）億萬富翁馬斯克似乎打算插手芯片制造業務，他在本周表示，芯片制造行業建造潔凈室的方式是錯誤的，一旦特斯拉建成自己的2納米制程晶圓廠，他將在廠里吃漢堡、抽雪茄。
馬斯克稱，他認為現代晶圓廠的潔凈室設計存在問題，晶圓應該始終處于密封狀態。但他的設想顯然與芯片行業的標準不同。
現代晶圓廠是大型的一體化工廠，其中包括了超潔凈的生產潔凈室，設有真空泵、氣體處理和排氣系統的子晶圓廠層，用于維護和公用設施的專用工具服務走廊，集中式化學品輸送和廢物管理基礎設施，以及辦公和控制區域。
而潔凈室與晶圓廠其他部分完全隔離，目的是保證該空間空氣中的顆粒數量不會影響到芯片的制造工藝。比如EUV和DUV光刻曝光，以及先進的柵極形成，都需要在ISO1級或2級標準的潔凈室中進行，否則超靈敏的EUV光刻鏡可能會受到影響，化學工藝也可能出現問題。
ISO1級代表著每立方米空氣中最多允許10個體積≥0.1微米的顆粒和2個更大的顆粒；ISO2級代表著每立方米空氣中最多允許100個≥0.1微米的顆粒和38個更大的顆粒。而ISO3級門檻更低，但仍常見于先進晶圓制造廠，且比生產成熟制程的晶圓廠環境要潔凈得多。
在這種高標準之下，即使是人類呼吸都可能改變空氣中的微粒含量，更不用提馬斯克所說的“吃漢堡和抽雪茄”。如果他真的在特斯拉的晶圓制造廠中作出上述行為，那么該工廠的良率與產量可能都將不保。
另一方面，馬斯克提到的特斯拉晶圓工廠也值得探究。
這位億萬富翁曾經提議特斯拉建立自己的芯片制造網絡，并滿足公司的定制芯片需求，隨后，特斯拉與三星就AI5和AI6芯片展開了廣泛的合作。而現在，他又透露，特斯拉計劃打造TeraFab工廠以生產2納米芯片。
盡管這一說法聽起來激動人心，但考慮到特斯拉在芯片制造領域毫無經驗，TeraFab更可能會是特斯拉與現有合作伙伴的一次進階合作。
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