痛別！中科院院士吳德馨逝世

中國科學院微電子研究所3月24日發布訃告：中國共產黨黨員，中國科學院院士，我國杰出的微電子科學家，中國科學院微電子研究所研究員，原中國科學院微電子中心主任，第九屆、第十屆全國人民代表大會常務委員會委員吳德馨同志，因病醫治無效，于2026年3月23日13時15分在北京逝世，享年90歲。

據介紹，吳德馨同志1936年12月生于河北樂亭，1979年6月加入中國共產黨，1961年畢業于清華大學無線電電子工程系，成為清華大學第一批半導體專業畢業生。畢業后被分配至中國科學院半導體研究所工作，1986年調入中國科學院微電子中心（現中國科學院微電子研究所）工作至今，歷任助理研究員、研究員、中心副主任、主任，1991年當選為中國科學院院士（學部委員）。先后榮獲國家科技進步二等獎、北京市科學技術一等獎、中國科學院科技進步一等獎、何梁何利基金科學與技術進步獎等多個重要獎項。

吳德馨同志是我國半導體與集成電路研究的開拓者之一，為國家微電子事業發展做出了卓越貢獻。在半導體所工作期間，她作為課題負責人承擔了解放初期“12年科學規劃”中的“平面型高速開關晶體管的研究”，獨立自主地解決了提高開關速度的關鍵問題，開關速度達到當時國際同類產品水平。該技術在中國科學院109廠和上海器件五廠進行了推廣，打破了西方國家對我國的封鎖，為“兩彈一星”配套的“109丙”計算機提供了核心器件，產生了重大的經濟和社會效益，獲全國新產品一等獎。

1986年，吳德馨同志調入中國科學院微電子中心任副主任、研究員。作為主要負責人從事N溝MOS 4K、16K和64K動態隨機存儲器（DRAM）的工藝研究，首次在國內成功研制出4K、16K位DRAM。成功開發出雙層多晶硅和差值氧化工藝，打破了我國大規模集成電路成品率長期低下的局面，為我國集成電路的工業生產奠定了基礎。

1991年，吳德馨同志擔任中國科學院微電子中心主任。她大膽改革、努力創新，積極探索新的科研和開發領域，領導開發了0.8微米CMOS全套工藝，科研成果和產品開發等效益不斷增加，開創了微電子中心發展的新局面。

離開領導崗位的吳德馨并未放松科學研究，她領導科研人員成功研制0.1微米砷化鎵/鋁鎵砷異質結場效應晶體管，在國內首次成功研制出全功能砷化鎵/銦鎵磷HBT 10Gbps光纖通信光發射驅動電路。

任全國人大常委會委員期間，吳德馨同志認真履行職能，積極建言獻策，多次向中央領導匯報微電子技術的發展趨勢并提出建議，多次參加國家和中國科學院發展規劃的制定，多次主持執筆兩院院士對國家集成電路發展咨詢報告的撰寫等工作，有力推動了我國半導體事業的發展。

吳德馨同志將六十余載光陰全部奉獻給祖國的半導體與微電子事業，用一生詮釋了愛國奉獻、嚴謹求實的科學家精神。她的逝世是我國微電子學界和科技事業的重大損失。

現代快報/現代+綜合 中國科學院微電子研究所