相信很多人都聽過“光刻機是工業皇冠上的明珠”這句話,這些年被西方媒體吹得神乎其神,仿佛誰攥住它,誰就拿捏了全球半導體的命門。
但2025年,項立剛一句“這顆明珠很快要變成玻璃珠了”,直接在圈內炸了鍋,圈外人也跟著湊起了熱鬧,心里都打了個問號:這話是真的嗎?中國真的在光刻機上追上了?真的行了?
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其實答案很簡單,不是一步登天,卻是實打實的突破。去年新凱來一口氣拿出31款半導體設備,從刻蝕到光學檢測,幾乎覆蓋了芯片制造的所有核心環節。更有意思的是,這些設備都用武夷山、峨眉山這些中國名山命名,那份底氣,明眼人一看就懂。
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而且項立剛說過一句特別實在的話,產業發展從來不是靠捷徑,靠的是無數普通人踏踏實實干,一點一點熬出來的。這話放在中國光刻機身上,再貼切不過。咱們能走到今天,全靠一個“熬”字,而這個“熬”,離不開美國這些年的層層封堵。
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說起來都是淚,早在2018年,美國就給荷蘭施壓,不讓ASML給中國賣最先進的EUV光刻機。結果就是,中芯國際都付了錢,最后一臺機器也沒拿到,竹籃打水一場空。這還不算完,從2019年開始,美國的限制一輪比一輪嚴,從EUV延伸到DUV,從高端型號卡到中高端,到2025年,荷蘭更是直接把DUV的出口限制從7納米提到14納米,擺明了想把我們卡死。
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可他們忘了,中國人最不怕的就是被逼到絕境。其實咱們搞光刻機的歷史,比很多人想的久多了。上世紀70年代,在西方封鎖的大背景下,咱們的團隊從零起步,硬是造出了一臺光刻機。可惜后來產業化沒跟上,差距越拉越大,到21世紀初,幾乎又要從頭再來。直到2021年,事情才有了轉折,短短三年時間,我們就從零攢起了基本能力,慢慢開始面向市場。
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2025年,好消息更是扎堆來。上海微電子交付了首臺28納米浸沒式光刻機,從之前的90納米躍升到28納米,這一步走得特別扎實。EUV方向上,哈工大研發出13.5納米極紫外光技術,中科院上海光機所用固體激光器搞出了LPP-EUV光源,達到了國際領先水平。
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反觀ASML,日子就沒那么好過了,2025年中國市場占了它33%的銷售額,是最大的單一市場,但它自己預測,2026年這個占比會降到20%,封鎖的反噬,慢慢顯現出來了。
當然,咱們也得清醒,國產光刻機離世界頂尖還有差距。比如套刻精度,上海微電子能做到8納米,而ASML已經到了亞納米級別,關鍵部件還有部分依賴進口,EUV從樣機到量產,還有很多難關要過。
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項立剛的話或許有些樂觀,但不可否認的是,中國正在用實力,把光刻機從神壇拉回賽場。等國產設備大規模進場,到時候,價格、供應鏈、話語權,都會徹底不一樣。
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