破局！廣工團隊攻克“卡脖子”技術，助力我國顯示產業(yè)高質量發(fā)展！

近日，廣東工業(yè)大學（以下簡稱“廣工”）廣工省部共建精密電子制造技術與裝備國家重點實驗室傳來突破性進展。陳新、陳云教授團隊聯(lián)合多家行業(yè)龍頭企業(yè)，在Mini/MicroLED顯示領域關鍵核心技術與裝備研發(fā)上取得重大突破。相關成果已實現(xiàn)產業(yè)化應用，為我國新型顯示產業(yè)高質量發(fā)展提供了強有力的科技支撐。

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突破“卡脖子”技術：

自主創(chuàng)新破解行業(yè)核心難題

Mini/MicroLED作為新一代顯示技術，兼具高亮度、高對比度、低功耗等優(yōu)勢，符合“雙碳”戰(zhàn)略導向，在消費電子、高端顯示等領域市場潛力巨大。然而，高效率、高良率的芯片巨量轉移及鍵合技術，長期以來是制約產業(yè)發(fā)展的國際技術競爭焦點與“卡脖子”瓶頸。

在國家重點研發(fā)計劃“智能機器人”專項支持下，團隊勇闖技術“無人區(qū)”，發(fā)明二維高頻協(xié)同飛行刺晶新原理，通過“飛行刺晶提速度、宏微復合保精度、定向補償增良率”的技術組合拳，構建起覆蓋轉移方法、鍵合工藝、核心部件、系統(tǒng)控制的全鏈條自主技術體系。針對更小尺寸的MicroLED轉移難題，團隊進一步突破高速精密對位、激光工藝協(xié)同、誤差補償?shù)汝P鍵技術，累計獲得20余項中美發(fā)明專利授權，形成了具有完全自主知識產權的技術壁壘。

雙龍門飛行刺晶巨量轉移裝備MX-MLPT-150A

MiniLED芯片飛行刺晶動作示意圖

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產學研深度融合：

核心裝備性能達國際領先水平

通過與泛半導體裝備頭部企業(yè)的深度產學研合作，科研成果迅速轉化為現(xiàn)實生產力。雙方聯(lián)合研發(fā)的飛行刺晶巨量轉移機器人，實現(xiàn)了性能指標的跨越式提升：相較于傳統(tǒng)固晶技術，單頭效率從2萬顆/小時（20KUPH）躍升至30萬顆/小時（300KUPH），提升15倍；定位精度從±15微米提升至±8微米；適配芯片尺寸從100μm×180μm縮小至50μm×100μm，芯片面積減小70%，顯著降低原材料消耗與制造成本。

MiniLED芯片刺晶轉移COB中轉制程樣品

MiniLED芯片COG刷錫直刺樣品

該裝備不僅在技術指標上達到國際領先水平，更實現(xiàn)了MiniLED巨量轉移生產線的批量出貨，徹底打破美西方高端裝備禁售封鎖，為我國顯示產業(yè)裝上“中國芯”。目前，相關裝備已在大屏顯示、會議一體機、家庭影院等商用與消費場景中規(guī)模化應用，推動我國高清顯示產業(yè)升級。

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前瞻布局未來：

構建顯示產業(yè)新質生產力

在突破MiniLED技術的同時，團隊瞄準MicroLED前沿領域，實現(xiàn)激光剝離、巨轉、鍵合、修復等核心設備國產化，全球首套G3.5代線激光鍵合設備已交付客戶并實現(xiàn)穩(wěn)定量產。更值得關注的是，團隊首創(chuàng)硅基MicroLED混合鍵合晶圓重構整體解決方案，覆蓋晶圓研拋、飛秒激光切割、等離子體加工、混合鍵合等全流程關鍵設備，將半導體集成技術與新型顯示創(chuàng)新融合，為超高清顯示大規(guī)模量產開辟了新路徑。

科技自立自強是國家發(fā)展的戰(zhàn)略支撐。團隊相關負責人表示，未來將繼續(xù)聚焦精密電子制造領域，深化產學研協(xié)同創(chuàng)新，全力突破更多“卡脖子”技術，為我國培育顯示產業(yè)新質生產力、加快構建新發(fā)展格局貢獻“廣東智慧”與“中國方案”，在推進中國式現(xiàn)代化建設中展現(xiàn)科技擔當。

從實驗室到生產線，中國智慧點亮超高清顯示未來，攻堅克難詮釋科技自立自強。

參考來源

廣東工業(yè)大學《廣工這項技術獲重大突破，助力我國顯示產業(yè)高質量發(fā)展！》

https://mp.weixin.qq.com/s/QRc1j7MllvcnlNvHZNjCMw

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