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作者| 侯旭
編輯| 汪戈伐
這兩天,新凱來(lái)站在半導(dǎo)體行業(yè)的了聚光燈下。
10月15日,深圳灣芯展開(kāi)幕首日,新凱來(lái)展臺(tái)被圍得水泄不通。觀眾席地而坐,緊盯大屏上循環(huán)播放的芯片制造科普視頻;在社交平臺(tái)上,“光刻機(jī)是否亮相”成為熱議話題。
不過(guò),盡管最終未見(jiàn)光刻機(jī)的蹤影,但新凱來(lái)子公司萬(wàn)里眼發(fā)布的90GHz超高速實(shí)時(shí)示波器,以及啟云方推出的兩款全自主EDA設(shè)計(jì)軟件,仍被官方稱為“意想不到的驚喜”。
新凱來(lái)雖未涉足光刻機(jī)整機(jī)研制,卻通過(guò)覆蓋前道工藝與量測(cè)設(shè)備的全鏈條產(chǎn)品矩陣,以及旗下子公司在EDA軟件與高端測(cè)試儀器領(lǐng)域的突破,展現(xiàn)出“集團(tuán)軍式”國(guó)產(chǎn)替代的模式。
或許,與其追逐光刻機(jī)的象征意義,更務(wù)實(shí)的還是關(guān)注在刻蝕、薄膜沉積、量檢測(cè)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的實(shí)質(zhì)性進(jìn)展——這可能才是國(guó)產(chǎn)替代更現(xiàn)實(shí)、更可持續(xù)的路徑。
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新凱來(lái)成立于2021年,由深圳市國(guó)資委全資控股,注冊(cè)資本15億元,其戰(zhàn)略定位并非聚焦于光刻機(jī)這一高曝光度設(shè)備,而是瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體制造中同樣關(guān)鍵但長(zhǎng)期被忽視的工藝與量測(cè)環(huán)節(jié)。
可以說(shuō),盡管未涉足光刻機(jī)研發(fā),但新凱來(lái)已悄然建立起覆蓋半導(dǎo)體制造前道核心工藝的設(shè)備體系。
在本次灣芯展上,新凱來(lái)以中國(guó)名山命名的設(shè)備系列——武夷山(刻蝕)、峨眉山(外延沉積)、阿里山(原子層沉積)、普陀山(物理氣相沉積)等,并非概念模型展示,而是已完成客戶驗(yàn)證、部分進(jìn)入量產(chǎn)階段的工程化產(chǎn)品。
其中,刻蝕是芯片制造中“圖形轉(zhuǎn)移”的關(guān)鍵步驟,技術(shù)門(mén)檻極高。新凱來(lái)的武夷山系列刻蝕設(shè)備采用電容耦合等離子體技術(shù),實(shí)現(xiàn)射頻全鏈路自主可控,能夠滿足三維復(fù)雜結(jié)構(gòu)的精細(xì)調(diào)控需求。
在薄膜沉積領(lǐng)域,阿里山ALD設(shè)備支持12英寸晶圓的高深寬比金屬柵極沉積,普陀山PVD設(shè)備則通過(guò)高離化等離子體技術(shù)提升金屬填孔質(zhì)量。
這些設(shè)備雖尚未全面對(duì)標(biāo)國(guó)際頂尖水平,但在28納米及以上成熟制程中已具備替代能力。
另外,公司在量檢測(cè)設(shè)備的突破尤為關(guān)鍵。據(jù)華金證券數(shù)據(jù),長(zhǎng)期以來(lái),該領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)化率不足5%,高度依賴美國(guó)科磊(KLA)等廠商。新凱來(lái)推出的岳麓山(光學(xué)檢測(cè))、赤壁山(X射線量測(cè))等系列產(chǎn)品,已在部分產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)交付。
新凱來(lái)量測(cè)裝備負(fù)責(zé)人曾表示,其核心零部件已全部實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化,每一項(xiàng)突破都曾被視為“難以逾越的高山”。
總而言之,新凱來(lái)這種“多點(diǎn)布局、協(xié)同驗(yàn)證”的策略,正是應(yīng)對(duì)海外風(fēng)險(xiǎn)的有效手段。事實(shí)上,單一設(shè)備性能達(dá)標(biāo)并不足以替代整條產(chǎn)線,唯有多個(gè)環(huán)節(jié)設(shè)備同步國(guó)產(chǎn)化,才能實(shí)現(xiàn)工藝匹配與良率穩(wěn)定。
可以說(shuō),新凱來(lái)通過(guò)覆蓋擴(kuò)散、刻蝕、沉積、檢測(cè)四大環(huán)節(jié),初步構(gòu)建了局部產(chǎn)線的國(guó)產(chǎn)閉環(huán)能力,為下游晶圓廠提供了可落地的替代方案。
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新凱來(lái)的戰(zhàn)略縱深不僅體現(xiàn)在硬件設(shè)備,更延伸至軟件與測(cè)試儀器。其子公司啟云方發(fā)布的兩款EDA設(shè)計(jì)軟件,宣稱性能較國(guó)際標(biāo)桿提升30%,可縮短硬件開(kāi)發(fā)周期40%。
盡管EDA市場(chǎng)仍由Cadence、Synopsys等三巨頭主導(dǎo)(國(guó)元證券數(shù)據(jù)顯示,2024年國(guó)產(chǎn)化率僅18.52%),但啟云方聚焦高端PCB與系統(tǒng)級(jí)設(shè)計(jì),已在2萬(wàn)名工程師中落地應(yīng)用,填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)工業(yè)軟件在復(fù)雜電路協(xié)同設(shè)計(jì)領(lǐng)域的空白。
另一子公司萬(wàn)里眼則攻克了高端示波器“卡脖子”難題。其90GHz超高速實(shí)時(shí)示波器,帶寬突破《瓦森納協(xié)議》60GHz禁運(yùn)線,性能較國(guó)產(chǎn)原有水平提升500%,據(jù)央視新聞報(bào)道,已在全球同類產(chǎn)品中位列第二。
天風(fēng)證券研報(bào)顯示,2020至2024年,中國(guó)高端示波器進(jìn)口占比長(zhǎng)期高于85%,而萬(wàn)里眼的產(chǎn)品已在華為、上海交大等機(jī)構(gòu)測(cè)試應(yīng)用,標(biāo)志著電子測(cè)量?jī)x器國(guó)產(chǎn)化邁出關(guān)鍵一步。
可以發(fā)現(xiàn),新凱來(lái)這種“母公司主攻設(shè)備、子公司補(bǔ)強(qiáng)軟硬兩端”的模式,形成了覆蓋設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試的半導(dǎo)體生態(tài)圈。
同時(shí),新凱來(lái)深度嵌入大灣區(qū)產(chǎn)業(yè)網(wǎng)絡(luò):深圳市政府設(shè)立50億元集成電路產(chǎn)業(yè)基金,重點(diǎn)支持其所在的關(guān)鍵環(huán)節(jié);深圳市發(fā)改委數(shù)據(jù)顯示,2024年深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)2564億元(同比增長(zhǎng)26.8%),2025年上半年再增16.9%。
隨著潤(rùn)鵬半導(dǎo)體12英寸產(chǎn)線投產(chǎn),本地晶圓制造能力提升,有望為新凱來(lái)設(shè)備提供首批驗(yàn)證場(chǎng)景,推動(dòng)“設(shè)計(jì)—制造—設(shè)備”本地閉環(huán)加速形成。
顯然,國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)的真正突破,不在口頭話術(shù)中的“彎道超車”,而在對(duì)技術(shù)規(guī)律的尊重與對(duì)產(chǎn)業(yè)生態(tài)的深耕。新凱來(lái)雖無(wú)光刻機(jī),卻以系統(tǒng)性布局正在證明:務(wù)實(shí)推進(jìn)成熟制程設(shè)備國(guó)產(chǎn)化,同樣是支撐中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)自主可控的堅(jiān)實(shí)路徑。
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