中國(guó)通信專家炮轟中科院士：他說(shuō)中國(guó)企業(yè)不懂光刻機(jī)原理，這是極度無(wú)知的說(shuō)法，很多機(jī)構(gòu)領(lǐng)導(dǎo)也是不懂裝懂

散英魂寄千萬(wàn)雄鷹翱翔神州，

盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。

01

前沿導(dǎo)讀

通信行業(yè)觀察者項(xiàng)立剛在其個(gè)人賬號(hào)中對(duì)中國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)進(jìn)行了點(diǎn)評(píng)，他在文中提到了當(dāng)年說(shuō)華為不懂光刻機(jī)技術(shù)的中科院院士何作庥，并且評(píng)價(jià)何作庥的言論是極度的無(wú)知，甚至還公開(kāi)指責(zé)某些高校專家、某科技日?qǐng)?bào)的領(lǐng)導(dǎo)，說(shuō)其只知道一味地扯光刻機(jī)需要世界各國(guó)下功夫，實(shí)際上根本不懂光刻機(jī)的生產(chǎn)制造。

參考資料： 中國(guó)的科技發(fā)展已是一通百通 https://user.guancha.cn/main/content?id=1542226

02

理論體系

早在2023年的時(shí)候，何作庥就針對(duì)芯片技術(shù)進(jìn)行了點(diǎn)評(píng)。其認(rèn)為制造芯片的設(shè)備與自己研究的氫彈技術(shù)在基本理論上面有很多共同點(diǎn)，只不過(guò)芯片產(chǎn)業(yè)所需的理論問(wèn)題更多。

荷蘭人搞明白了這些理論問(wèn)題，所以制造出來(lái)了光刻機(jī)。而被美國(guó)制裁的華為公司不一定懂光刻機(jī)設(shè)備，大概率是拿別人的設(shè)備直接用。說(shuō)具體一點(diǎn)，華為這種類型的企業(yè)并不懂得理論研究的重要性和重大意義。

針對(duì)何作庥院士曾經(jīng)的點(diǎn)評(píng)，中國(guó)通信產(chǎn)業(yè)觀察者項(xiàng)立剛在近期的個(gè)人平臺(tái)上面再次提及了該事情，并對(duì)何作庥院士的點(diǎn)評(píng)再次進(jìn)行了回懟，認(rèn)為其不是這個(gè)行業(yè)的從業(yè)者，對(duì)于芯片技術(shù)和制造設(shè)備了解不夠透徹，所發(fā)布的點(diǎn)評(píng)也是極度無(wú)知。

光刻機(jī)是美國(guó)針對(duì)中國(guó)企業(yè)重點(diǎn)限制的先進(jìn)制造設(shè)備，為了阻止中國(guó)企業(yè)獲得先進(jìn)的芯片，還下令不允許臺(tái)積電等第三方的晶圓工廠為大陸企業(yè)設(shè)計(jì)的芯片代工，以此來(lái)完全阻斷大陸地區(qū)的芯片技術(shù)發(fā)展。

在美國(guó)剛開(kāi)始卡中國(guó)脖子的時(shí)候，很多人并不會(huì)想到在未來(lái)幾年之后，中國(guó)不但制造出了先進(jìn)芯片，而且還逐步建立起完善的自主產(chǎn)業(yè)鏈。甚至是芯片的發(fā)明地美國(guó)，都不相信中國(guó)企業(yè)可以在被制裁的情況下發(fā)展先進(jìn)的制造技術(shù)。

盡管中國(guó)企業(yè)現(xiàn)階段的芯片依然需要靠ASML的光刻機(jī)進(jìn)行大規(guī)模制造，但中國(guó)的自主光刻機(jī)產(chǎn)品也在快速推進(jìn)中。

2024年，中國(guó)工信部發(fā)布了國(guó)產(chǎn)干式光刻機(jī)設(shè)備。該設(shè)備對(duì)比上海微電子之前的SSA600系列光刻機(jī)來(lái)說(shuō)，有著明顯的技術(shù)進(jìn)步。

在2025年深圳的灣芯展中，由上海微電子公司拆分出來(lái)的獨(dú)立公司芯上微裝在展會(huì)上發(fā)布了多款涉及化合物半導(dǎo)體以及后端封裝的光刻機(jī)設(shè)備。

并且其工作人員對(duì)媒體記者表示，芯上微裝依托上海微電子公司的資源，已經(jīng)將自主制造的后端光刻機(jī)應(yīng)用到許多企業(yè)的生產(chǎn)線中，公司未來(lái)將會(huì)持續(xù)在前端的光刻機(jī)上進(jìn)行技術(shù)攻堅(jiān)，最終實(shí)現(xiàn)商業(yè)化發(fā)展的目標(biāo)。

光刻機(jī)本質(zhì)上屬于商業(yè)設(shè)備，最終的目的是投入到生產(chǎn)線中制造芯片，創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)價(jià)值。

制造芯片并不是有了光刻機(jī)就行，還需要聯(lián)合芯片設(shè)計(jì)廠商、材料廠商、晶圓工廠彼此之間進(jìn)行配合，持續(xù)進(jìn)行產(chǎn)品的技術(shù)優(yōu)化，讓光刻機(jī)制造出來(lái)的芯片可以被放置在消費(fèi)電子產(chǎn)品當(dāng)中正常運(yùn)行。

從產(chǎn)業(yè)發(fā)展的角度來(lái)看，光刻機(jī)和芯片產(chǎn)業(yè)并不是專注于理論研究的工作，需要聯(lián)合整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)行發(fā)展。

03

制造產(chǎn)業(yè)鏈

根據(jù)我國(guó)工信部電子信息司所發(fā)布的工作動(dòng)態(tài)顯示：

為推動(dòng)十五五期間中國(guó)電子信息制造業(yè)的發(fā)展，電子信息司已派調(diào)研組趕赴華為公司。華為的多條產(chǎn)品線與電子信息制造業(yè)的發(fā)展密切相關(guān)，調(diào)研組將會(huì)與華為公司的多條產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人進(jìn)行深度溝通，進(jìn)行十五五規(guī)劃的建議匯總。

參考資料： 工業(yè)和信息化部電子信息司赴華為開(kāi)展“十五五”電子信息制造業(yè)發(fā)展規(guī)劃調(diào)研 https://www.miit.gov.cn/jgsj/dzs/gzdt/art/2025/art_7fb7ff90f0ff4dddb29be11a6b579010.html

先進(jìn)光刻機(jī)的核心設(shè)備就是光學(xué)系統(tǒng)，涵蓋了光源、激光發(fā)射器以及反射鏡頭組。其中最難的地方，就是鏡頭組件。ASML的光刻機(jī)鏡頭由德國(guó)蔡司半導(dǎo)體部門獨(dú)家供應(yīng)，全球僅此一家供應(yīng)商。

蔡司可以成為光刻機(jī)鏡頭的供應(yīng)商，一方面是因?yàn)椴趟臼莻€(gè)傳統(tǒng)做光學(xué)鏡組的公司，積累了大量技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。另一方面就是ASML在許多年前就通過(guò)股權(quán)出售的方法吸引蔡司入股，將產(chǎn)業(yè)鏈深度綁定。

由蔡司制造的光刻機(jī)鏡頭，與產(chǎn)業(yè)鏈經(jīng)過(guò)了數(shù)十年的技術(shù)磨合才達(dá)到了量產(chǎn)商用的水平。

在此之前，蔡司的主業(yè)還是以制造顯微鏡鏡頭、相機(jī)鏡頭、視力用品為主。也正是因?yàn)椴趟居羞@些領(lǐng)域的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，才在后來(lái)有機(jī)會(huì)開(kāi)發(fā)出光刻機(jī)的鏡頭組件。

而中國(guó)的光學(xué)鏡頭供應(yīng)商，也有舜宇光學(xué)、歐菲光等領(lǐng)軍企業(yè)。這些企業(yè)制造的光學(xué)鏡頭也被應(yīng)用在了工業(yè)顯微鏡、消費(fèi)電子產(chǎn)品、醫(yī)療設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域，并且也與本土的半導(dǎo)體企業(yè)達(dá)成了技術(shù)合作，共同推動(dòng)國(guó)產(chǎn)制造設(shè)備的發(fā)展。

未來(lái)的中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)，將會(huì)以大型芯片公司和大型晶圓廠為核心，在此之上進(jìn)行國(guó)產(chǎn)制造流程的貫通，逐步解決被美國(guó)卡脖子嚴(yán)重的設(shè)備技術(shù)環(huán)節(jié)。

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