臺州新智造，填補國內技術空白

日前，在位于臺州光電產業創新中心（以下簡稱“光電中心”）的光電技術高端應用研發基地，多項“卡脖子”項目正在這里研發。不久前，光電中心研制的“高端制程掩模基板拋光專用設備”，被國內一家龍頭企業相中，成功簽下首批量產化合同。這款關鍵裝備不僅填補了國內技術空白，還展現了“光電裝備概念驗證中心”的建設成效。

這款產品有多重要？掩模版是半導體制造的核心基礎材料，其襯底的拋光設備因技術門檻極高、工藝復雜，長期以來幾乎被國外企業壟斷，導致國內高端制程掩模版上游產業鏈關鍵環節存在“斷層”，嚴重制約產業自主可控與安全發展。突破這一瓶頸，不僅關乎單一裝備的國產化，更關系到國家在高端光掩模領域的戰略布局與產業安全。

而光電中心研發的這臺設備，在實現技術突圍的同時，還通過了嚴苛檢驗——5個批次的聯合試驗，合格率達到100%。這是光電中心自開展光電裝備研發和制造以來，第一款成功實現從研發到市場轉化的產品，也是第一款投入市場的“椒江智造”光電裝備，進一步夯實了臺州光電產業邁向高端化發展的行業地位。

這一突破的背后，離不開椒江打造的光電裝備概念驗證中心。很多實驗室里的科研成果，往往因為技術不成熟、市場不認可，難以變成實實在在的產品。這個中心就像技術成果的“護航員”，提前排查風險，打通產業化路徑。

2024年3月，光電裝備概念驗證中心啟動了這一項目的驗證工作，從技術可行性、知識產權等維度全面評估，把潛在問題提前解決；同年7月，1000萬元研發基金快速到位，工程團隊全程跟進優化。科研人員接連攻克三大技術難題，拿下20多項專利，構建起完整的技術保護體系。這種“風險前置防控+路徑精準指引”的“超前驗證”服務模式，為實驗室技術快速走向市場提供了新路徑。

光電裝備概念驗證中心由臺州光電產業創新中心牽頭，聯合臺州市產品質量安全檢測研究院、臺州中科神光科技有限公司共建，構建了覆蓋“原理驗證-產品與場景驗證-技術可行性分析-商業評估-資本對接-產業孵化”的全流程服務體系，有效打通了從基礎研發到產業化的關鍵路徑，還在2025年7月入選浙江省首批建設布局清單。

作者：趙陽

編輯：符薇薇

一審：張婷

二審：泮永翔

三審：黃元杰