華虹宏力申請(qǐng)納米級(jí)加熱器結(jié)構(gòu)及其制作方法專利，極大地提高了系統(tǒng)的集成度

國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“納米級(jí)加熱器結(jié)構(gòu)及其制作方法”的專利，公開號(hào)CN121368044A，申請(qǐng)日期為2025年9月。

專利摘要顯示，本發(fā)明提供一種納米級(jí)加熱器結(jié)構(gòu)及其制作方法。該納米級(jí)加熱器結(jié)構(gòu)中，加熱絲設(shè)置為芯片金屬互連結(jié)構(gòu)中通孔層內(nèi)的導(dǎo)電塞，儲(chǔ)液槽為鄰近加熱絲設(shè)置的、并形成于該金屬互連結(jié)構(gòu)上方的介質(zhì)層內(nèi)的凹槽。其制作方法利用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體后道工藝，通過(guò)形成導(dǎo)電塞并刻蝕介質(zhì)層，將加熱器與儲(chǔ)液槽集成于同一芯片。本發(fā)明將加熱絲和儲(chǔ)液槽直接集成于芯片內(nèi)部，利用標(biāo)準(zhǔn)的后道互連工藝中的鎢塞作為加熱元件，無(wú)需昂貴的鉑等貴金屬材料，也無(wú)需額外的特殊濺射工藝和封裝工序，從而極大地提高了系統(tǒng)的集成度，并顯著降低了制造成本。

天眼查資料顯示，上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本2046092.7759萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析，上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司共對(duì)外投資了8家企業(yè)，參與招投標(biāo)項(xiàng)目930次，財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息39條，專利信息5000條，此外企業(yè)還擁有行政許可429個(gè)。

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本文源自：市場(chǎng)資訊

作者：情報(bào)員