出貨成功！吉佳藍納米級全自動納米壓印設備順利交付！

來自無錫高新區的

吉佳藍中國總部項目

2臺納米壓印設備成功出貨！

近日，吉佳藍中國總部迎來了具有里程碑意義的時刻——首批次納米壓印設備（CITUS系列）已成功通過客戶工藝驗證，順利裝箱發貨。這標志著吉佳藍中國已完全具備高端半導體設備的量產及交付能力，從落戶到出貨跑出了令人矚目的“加速度”。

MGM吉佳藍

2025年3月，吉佳藍中國總部在無錫高新區新港集成電路裝備零部件產業園啟用，是基于擁有25年以上業績的韓國半導體設備企業GigaLane的技術實力成立的國產化設備制造企業。吉佳藍作為全國唯一一家同時擁有刻蝕以及納米壓印設備生產制造研發的公司，通過不斷創新，建立起壓印+刻蝕一條龍服務，為客戶營造無比便利的Demo環境，提供客戶壓印+刻蝕一站式全流程服務，得到業內一致好評。

此次成功出貨的MGM壓印設備是一個高精度工藝平臺。MGM提供滾壓RtoP以及真空面壓PtoP等多種工藝方案，壓印精度<20nm，殘余層控制<10nm，高準對精度工藝設備，量產性機臺同時提供軟膜加工以及壓印全自動一體化，月產能30pcs，滿足高工藝要求的同時符合客戶要求的高量產需求。

→ 勻膠模式：旋涂，噴墨，點涂

→ 兼容2~12inch晶圓&300mm*300mm方片

→ 對準精度±2um

→ 雙工藝模塊，“軟膜加工+壓印工藝”同步完成

→ 提供壓印代工服務

吉佳藍銷售總監王琦表示：“壓印設備的競爭力，不單單在于實現微細圖案的層面，更在于能否以足夠精密、穩定且具備高生產率的方式執行工藝。吉佳藍將以高精度轉印技術、工藝再現性、生產率，以及與壓印樹脂和模具用樹脂相銜接的綜合應對能力為基礎，進一步強化在下一代光學·半導體工藝市場中的競爭力?！?/p>

吉佳藍設備的競爭力并不僅限于精度，在實際產業現場，除了高分辨率之外，工藝速度、重復穩定性、維護運行效率等生產率方面的要求也同樣重要。吉佳藍的壓印設備基于均勻的加壓控制、穩定的工藝條件維持以及在重復工藝中的高再現性，在確?？蛻羲璧纳a率方面也展現出優勢。這不僅提升了在研發階段制作試產樣品的價值，也增強了其作為未來可應用于量產的工藝平臺的價值。

編輯 | 楊亦哲

來源 | MGM吉佳藍、集成電路公司

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