圍繞著芯片制造最核心的那臺設備,也就是光刻機,美國跟中國之間的博弈已經持續了好幾輪,而最讓人覺得"陰損"的地方在于,美國這回連藏都懶得藏了,它就是明著告訴你:我等你手里那些光刻機一臺臺壞掉,看你拿什么來造高端芯片。
2022年的10月份,那個時候美國商務部推出了一版出口管制規則,主要瞄準的是14nm以下的邏輯芯片制造設備,128層以上的NAND閃存設備,還有18nm以下的DRAM內存設備。
然后到了2023年10月,美國對禁令做了一次大幅度升級,力度之大超出了很多人的判斷。這次更新特別針對光刻機的DCO限值做了更嚴格的設定,結果就是連NXT:1980Di這款ASML此前唯一還能對華出貨的浸潤式高端型號,也被徹底攔下來了。
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其實在禁令落地之前,國內的企業早就開始了搶購。根據當時的貿易數據,光2023年前三個季度,中國從ASML進口光刻機的總金額就突破了400億元人民幣,業內估算其中浸潤式光刻機的數量大概有100臺左右。加上以前幾年陸續買進來的存量,國內晶圓廠手里的DUV光刻機真的不算少。
直到美國商務部那位主管工業與安全事務的副部長艾倫·艾斯特韋斯接受采訪的時候,講了幾句話,才讓很多人猛然意識到事情沒那么簡單。他的原話大意是:管制同樣涉及這些產品的零部件和后續支持,這些機器遲早或多或少地都會出故障。
這才是美國這盤棋真正厲害的地方。它壓根不跟你爭今天誰手里的機器多,它賭的是一個"拖"字。隨著生產線日夜不停地運轉,這些設備會陸續開始出毛病,需要檢修的時候找不到原廠工程師,需要更換的關鍵部件拿不到貨,那這些機器就只能一臺一臺地趴窩,慢慢變成車間里最貴的廢鐵。
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不過,陽謀之所以叫陽謀而不叫必殺技,就是因為它能不能成功是有前提的。仔細想想美國這個策略要真正奏效,至少得滿足幾個條件:中國的工程師修不了這些設備,中國的供應鏈也造不出替代的備件,同時國產光刻機在短期內還突破不了。
從目前公開能看到的信息來講,國內在這幾個方向上確實都在發力。設備維保這一塊,部分晶圓代工廠這兩年一直在摸索獨立維修的路子,雖然像光源模組、高精度透鏡組這種核心部件的檢修難度很大,但至少在常規保養和一些易損件的更換上已經有了一定的積累,不再是完全兩眼一抹黑的狀態。
備件國產化這一塊,國內做精密光學和超精密加工的企業也在攻關,有些原來完全依賴進口的耗材和部件已經開始出現了國產替代的方案。雖然離完全覆蓋還有很遠的路要走,但方向是對的,速度也比很多人預想的要快。
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至于最根本的國產光刻機突破,這條路毫無疑問是最難的,但也是最徹底的解決辦法。上海微電子作為國內光刻機研發的主力,這些年在持續推進更高制程能力設備的開發。當然跟ASML幾十年的技術沉淀和整套全球化的供應鏈體系比起來,差距依然擺在那里,誰要是說國產EUV光刻機馬上就能出來那肯定是說大話了。
但中國在技術領域有一個特別明顯的規律,越是被卡脖子的東西越是能激發出驚人的攻關速度。北斗導航是這樣,空間站是這樣,大飛機也是這樣。今天芯片領域遭受的封鎖力度越大,反過來給國產替代注入的緊迫感和資源投入也就越強。
回過頭來看美國的這步棋,它卡的不是眼前而是未來,打的不是正面而是后勤補給線。但問題在于它給自己設定了一個隱含的時間窗口:必須在中國搞定自主維修和國產替代之前,讓足夠多的進口光刻機趴窩。
如果這個窗口期被中國的產業鏈追趕速度搶在前面關上了,那所有的等待都將落空。而這場圍繞光刻機的持久博弈到底誰能笑到最后,比的從來不是誰的禁令更狠,而是誰的技術進化更快、產業韌性更強。
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