國產光刻機再迎利好，首臺電子束光刻機面世，受益公司有這11家

邏輯：據財聯社8月14日新聞，中國第一臺商業化的電子束光刻機“羲之”已進入應用測試階段，光刻機的精度能夠媲美國外主流設備。這標志著，中國的量子芯片研發從此有了“中國刻刀”。

據報道，該電子束光刻機相比較傳統光刻機，不需要掩膜版。可通過高能電子束直接在硅基上寫電路，精度達到0.6納米，線寬8納米。而且該電子束光刻機專攻量子芯片、新型半導體研發的核心環節。

電子束光刻機的面世意義重大，因為國外長期對我國實行半導體設備出口管制，中國的科學家很難買到電子束光刻機。如今中國成功研發了電子束光刻機，不僅填補了國內技術的空白，而且由于性價比高，吸引了很多國內科研機構合作。據《ZAKER》8月16日報道，目前已有復旦大學、華為海思等 12 家科研機構搶先簽約，拿下電子束光刻機訂單。

受此消息影響，近期相關公司紛紛走強。

下面是電子束光刻機11家核心概念公司名單，建議點贊收藏：

第11家，博眾精工，公司是國內智能化生產解決方案領域行業領軍企業之一。電子束光刻機需要高穩定度直流高壓電源，公司能夠提供相應的電源解決方案，填補了國內技術空白。公司屬于產業鏈上游

第10家，東方中科，公司是中科院旗下，國內領先的電子測試測量領域綜合服務商。公司有電子束偏轉器控制方案，可應用于電子束光刻、電子掃描顯微鏡等場景。公司屬于產業鏈上游

第9家，思泰克，公司參股華睿芯材3.75%的股份，華睿芯材擁有電子束光刻膠和高速 3D 打印光刻膠等系列產品，公司屬于產業鏈上游

第8家，華懋科技，公司是汽車安全氣囊布龍頭企業。公司參股徐州博康，徐州博康已有電子束光刻膠產品，該產品能夠標準化和定制化，目前已有數十家企業和高校是公司的電子束光刻膠客戶。公司屬于產業鏈上游

第7家，波長光電，公司是國內精密光學元件、組件的主要供應商，主營激光光學、紅外光學產品。公司在今年5月和浙江大學合作，共同研發高端光學器件。公司在研項目包括電子束光刻(EBL)等核心工藝

第6家，路維光電，公司是國內先進封裝掩膜版龍頭，是多個領先封測廠的頭部供應商。公司已經針對應用于電子束光刻的掩膜版技術開展了研究

第5家，芯碁微裝，公司是國內直寫光刻設備領軍企業，在微納直寫光刻領域構建了“光、機、電、軟、算”全棧技術體系。公司的直寫光刻機與電子束光刻是競爭關系。

第4家，蘇大維格，公司是國內少數既從事裝備制造又從事產品生產的微納光學制造企業之一。公司自研的微納光學關鍵制造設備--激光直寫光刻機和納米壓印光刻機，與電子束光刻是競爭關系。

第3家，英諾激光，公司在激光微加工領域擁有顯著的市場地位，尤其在DPSS固體激光器、超短脈沖激光器等方面具備全球領先的技術能力。公司與浙江大學共建聯合研發中心，共同促進激光技術的發展。

第2家，龍圖光罩，公司是國內屈指可數的第三方半導體掩模版廠商，工藝水平、出貨量及市占率居國內企業前列。公司的珠海募投項目中，目前已初步完成第三代光罩產品的工藝調試和樣品試制，并自主研發掌握了電子束光刻技術及PSM相移掩模版等相關技術。

第1家，冠石科技，公司主營半導體顯示器件及特種膠粘材料，應用于液晶電視、智能手機等領域。公司已有成熟的光掩膜版生產制造解決方案，涉及電子束光刻曝寫

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