ASML光刻機已使用300多個認證3D打印零件，半導體行業應用的關鍵分享

南極熊導讀：ASML光刻機中已經應用了數百個3D打印經過認證的零件。

南極熊獲悉，2025年11月17日，全球光刻機巨頭荷蘭ASML的Lead Arichitect - Dr. Radu Donose，在ASTM Formnext增材制造創新&標準峰會中發表題為“助力半導體行業大量增材零件生產的關鍵 - 標準化和供應商認證”的演講。

目前，在ASML光刻機生產中，已經有超過300個零部件是由增材制造工藝加工并通過認證使用，包括但不限于，LB-PBF工藝制造的鈦合金，316L不銹鋼零件；DED工藝制造的鈦合金零件；SLA工藝制造的樹脂零件；FFF工藝制造的PEEK和PC零件；SLS工藝制造的PA12零件等。

在光刻機中采用增材制造的四大原因：

1. 零件的設計創新和迭代效率

2. 復雜功能零部件的整合節省體積并提升功能性

3. 零件性能提升（動力學、熱傳導、流體優化等）

4. 降低成本（生產周期變短+更少的CO2排放）

在光刻機中采用增材制造工藝的四大要求：

1. 零件的干凈度 （殘留粉末和表面粗糙對零件質量產生影響）

2. 機械性能要大于等于傳統及加工零件質量

3.更低的零件孔隙率確保了良好的抗腐蝕性和性能表現

4. 更高的精準度

增材零件的認證

根據零部件的復雜程度，將不同增材零件分為三級。借助參考ISO/ASTM國際標準，對不同級別的零件提出不同的認證需求。

第一級零件（無復雜設計）：

滿足ISO/ASTM 52930:2023標準《增材制造 — 資格評定原則 — PBF-LB 設備的安裝、運行和性能確認（IQ/OQ/PQ）》

滿足ISO/ASTM 52901:2018標準《增材制造 — 通用原則 — 采購增材制造零件的要求》

第二級零件（有部分復雜設計）：

滿足所有第一級零件的需求

滿足ISO/ASTM 52907:2019標準《增材制造 — 原材料 — 金屬粉末表征方法》

滿足ISO/ASTM 52928:2024標準《金屬增材制造 — 原材料 — 粉末全生命周期管理》

滿足其他附加的ASML的內部標準

第三季零件（非常復雜設計）：

滿足所有第二級零件需求滿足ISO/ASTM 52904:2019標準《金屬增材制造 — 工藝特性與性能 — 滿足關鍵應用要求的金屬粉末床熔融工藝》

更多的風險分析

結論

增材制造已經在推動半導體行業的發展。借助增材制造工藝給行業帶來了更多的設計自由和零件性能提升。國際標準的采用和應用是提升增材工藝成熟度的關鍵所在，尤其是光刻機的產品生產中。基于國際標準進一步提升加強的內部需求可以達到更好的針對產品的品控。

彩蛋：分享結束后，日本光學集團代表與ASML專家進行了交流，尤其是對于在光刻機等產品中采用的相對昂貴的增材制造工藝技術，是否會對產品成本有影響。ASML專家回應到，因為ASML的光刻機是高端產品，利潤空間足夠并且增材零件帶來的性能提升有目共睹。但是日本廠商生產的低端相關設備，也許確實還不適合大量采用增材制造技術。

備注：演講內容來自ASTM Formnext標準創新峰會

2025年11月18日-22日，全球增材制造領域頂尖盛會——Formnext 2025在德國法蘭克福展覽中心隆重舉行，南極熊作為3D打印行業垂直媒體，在現場連續4天進行視頻直播，采訪和報道了大量展商，可以進入【南極熊3D打印】視頻號→【直播回放】觀看回放。