中科儀：真空技術(shù)賦能國家科技自立自強(qiáng)

中國上市公司網(wǎng)/文

當(dāng)前，中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司(簡稱"中科儀"，股票代碼830852)正處于北交所第二輪審核問詢階段，這一進(jìn)展標(biāo)志著公司在資本市場上的重要一步。作為中國科學(xué)院下屬的高新技術(shù)企業(yè)，中科儀深耕真空技術(shù)領(lǐng)域近70年，已發(fā)展成為國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備核心部件提供商及真空科學(xué)儀器設(shè)備供應(yīng)商。公司主營業(yè)務(wù)涵蓋干式真空泵和真空科學(xué)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及相關(guān)技術(shù)服務(wù)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓制造、光伏電池等泛半導(dǎo)體產(chǎn)品制造，以及國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施和科研領(lǐng)域，形成了"工業(yè)+科研"雙市場布局。在半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化替代加速的背景下，中科儀憑借技術(shù)突破與市場拓展，已成為支撐國家戰(zhàn)略的重要力量。公司本次IPO擬募資8.52億元，主要用于三個項(xiàng)目：干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目(2.31億元)、高端半導(dǎo)體設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)及研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目(4.74億元)和新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項(xiàng)目(1.21億元)。這些項(xiàng)目將進(jìn)一步提升公司在半導(dǎo)體設(shè)備核心部件領(lǐng)域的競爭力，擴(kuò)大市場份額。

一、戰(zhàn)略價(jià)值：綁定"國家戰(zhàn)略"與"產(chǎn)業(yè)賦能"高度

中科儀的戰(zhàn)略價(jià)值體現(xiàn)在其緊密圍繞國家戰(zhàn)略需求，推動半導(dǎo)體設(shè)備核心部件國產(chǎn)化替代，助力科技自立自強(qiáng)。公司通過技術(shù)創(chuàng)新打破歐美及日本企業(yè)的長期壟斷，填補(bǔ)了國內(nèi)在高端真空裝備領(lǐng)域的空白，有效保障了我國集成電路制造設(shè)備關(guān)鍵部件的自主可控和供應(yīng)鏈安全 。

在產(chǎn)業(yè)賦能方面，中科儀的產(chǎn)品已深度融入國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，支持中芯國際、長江存儲、華虹集團(tuán)、長鑫存儲、華潤微、上海積塔、廣州粵芯等國內(nèi)主流晶圓制造企業(yè)，以及北方華創(chuàng)、拓荊科技、客戶A等國內(nèi)領(lǐng)先半導(dǎo)體設(shè)備廠。公司干式真空泵累計(jì)出貨超4萬臺，其中在集成電路領(lǐng)域累計(jì)出貨超2.5萬臺，根據(jù)市場預(yù)計(jì)數(shù)據(jù)測算，2024年其在集成電路領(lǐng)域的國內(nèi)市占率約為12.72%，位居國產(chǎn)企業(yè)首位 。產(chǎn)品已通過臺積電、大連Intel、SK海力士的測試驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)小批量出貨，表明其技術(shù)已達(dá)到國際先進(jìn)水平。

中科儀的戰(zhàn)略價(jià)值還體現(xiàn)在其對產(chǎn)業(yè)鏈的帶動作用上。干式真空泵作為半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備的關(guān)鍵配套裝置，能夠?yàn)榧呻娐?、光伏、LED、平板顯示、鋰電池等行業(yè)生產(chǎn)提供所需的高潔凈度真空環(huán)境。公司產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)在12英寸集成電路制造工藝的成熟使用，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品較高程度的可靠性、穩(wěn)定性、一致性，為整個產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)定發(fā)展提供了重要支撐。

二、國家戰(zhàn)略契合度：產(chǎn)品支撐半導(dǎo)體、重大科技基礎(chǔ)設(shè)施等國家戰(zhàn)略領(lǐng)域，打破"卡脖子"技術(shù)壟斷

中科儀的產(chǎn)品線與國家戰(zhàn)略高度契合，特別是在半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化、重大科技基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)和新能源產(chǎn)業(yè)發(fā)展方面。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，中科儀是唯一在集成電路先進(jìn)制程實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用的國產(chǎn)企業(yè)，也是唯一在清潔、中等、苛刻工藝均實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用的國產(chǎn)企業(yè)。公司研發(fā)的干式真空泵產(chǎn)品滿足14nm先進(jìn)邏輯芯片以及128層及以上3D NAND等存儲器工藝的生產(chǎn)需要，已在中國各領(lǐng)先晶圓制造企業(yè)實(shí)現(xiàn)大批量應(yīng)用，解決了半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域的"卡脖子"問題。

在重大科技基礎(chǔ)設(shè)施領(lǐng)域，中科儀深度參與了包括北京正負(fù)電子對撞機(jī)、上海光源、北京高能同步輻射光源等在內(nèi)的11項(xiàng)國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施的關(guān)鍵真空部件研制工作，是光束線、波蕩器、前端區(qū)等核心部件的最主要研制單位。公司前身成功研制了國產(chǎn)分子束外延設(shè)備(MBE)，打破了國外長期禁運(yùn)，為我國基礎(chǔ)科學(xué)研究提供了關(guān)鍵支撐。

在新能源領(lǐng)域，中科儀的干式真空泵產(chǎn)品用于薄膜太陽能電池的PVD(物理氣相沉積)或PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)工藝，這些工藝均需要在真空環(huán)境下進(jìn)行。根據(jù)《十四五新能源規(guī)劃》要求，我國正加強(qiáng)光伏智慧制造與設(shè)備國產(chǎn)化，開展關(guān)鍵集中攻關(guān)，突破高質(zhì)量制造設(shè)備用分子泵、真空閥門、電源、真空計(jì)等真空設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)件、性能檢測設(shè)備等制造技術(shù)。中科儀的產(chǎn)品符合國家新能源發(fā)展戰(zhàn)略，為光伏產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控提供了重要保障。

中科儀的這些貢獻(xiàn)獲得了國家級高新技術(shù)企業(yè)、專精特新"小巨人"企業(yè)等權(quán)威認(rèn)證，彰顯了其在國家戰(zhàn)略領(lǐng)域的重要地位。2024年，中科儀實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入10.82億元，同比增長27.06%，展現(xiàn)出強(qiáng)勁的發(fā)展勢頭。

三、長期成長基石：依托中科院技術(shù)傳承，近70年真空技術(shù)積累，構(gòu)建高壁壘供應(yīng)商體系

中科儀的長期成長基石建立在其深厚的技術(shù)積累和獨(dú)特的供應(yīng)商體系之上。

公司前身是中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心，成立于1958年，是中國科學(xué)院第二家整體轉(zhuǎn)制的科研事業(yè)單位。這種轉(zhuǎn)制背景使中科儀能夠充分利用中科院的科研資源和技術(shù)積累，形成了獨(dú)特的技術(shù)壁壘。截至2024年末，公司擁有發(fā)明專利99項(xiàng)，負(fù)責(zé)或作為主要參與方起草了13項(xiàng)真空技術(shù)相關(guān)的國家、行業(yè)及團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn);公司及下屬子公司擁有的注冊商標(biāo)12項(xiàng)，獲評國家級企業(yè)技術(shù)中心，承擔(dān)真空技術(shù)裝備國家工程實(shí)驗(yàn)室等科研平臺建設(shè)。

在供應(yīng)商體系方面，中科儀已建立了覆蓋全國的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，在上海和武漢分別設(shè)立了子公司——上海上凱儀和武漢上凱儀，專注于干式真空泵的維修與保養(yǎng)業(yè)務(wù)。這兩家子公司已被臺積電、中芯國際、長江存儲、大連英特爾等知名集成電路制造企業(yè)納入合格供應(yīng)商體系，體現(xiàn)了公司在國際供應(yīng)鏈中的重要地位。

此外，中科儀還通過中科院沈陽國家技術(shù)轉(zhuǎn)移中心與高校、科研機(jī)構(gòu)建立了緊密合作，形成了"價(jià)值共同創(chuàng)造體系"，促進(jìn)了科技成果的轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化。這種產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新模式為中科儀提供了持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新能力和市場競爭力。

中科儀作為中國科學(xué)院下屬的高新技術(shù)企業(yè)，經(jīng)過近70年的發(fā)展，已形成了以真空技術(shù)為核心的戰(zhàn)略優(yōu)勢。公司通過技術(shù)創(chuàng)新打破歐美及日本企業(yè)的長期壟斷，支撐了半導(dǎo)體、重大科技基礎(chǔ)設(shè)施和新能源等國家戰(zhàn)略領(lǐng)域的發(fā)展。在"工業(yè)+科研"雙市場布局下，公司形成了獨(dú)特的競爭優(yōu)勢和高壁壘供應(yīng)商體系。