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      Fab廠PIE工程師常用術語

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      半導體不容易,PIE 更不容易。但堅持的人,都很了不起。

      1. WAT(Wafer Acceptance Test)

      大白話:晶圓流完前段工藝后的“體檢報告”,看身體(電性)好不好。WAT 不好,其它都白干。

      2. CP(Chip Probe)

      大白話:晶圓切片前的“摸底考試”,看每顆芯片能不能上大學。CP 掉得狠,PIE 心會痛。

      3. CPK(Process Capability Index)

      大白話:制程穩不穩、漂不漂的評分,越大越穩,越小越鬧心。CPK 是良率的底氣,也是 PIE 的膽氣。

      4. DOE(Design of Experiment)

      大白話:有計劃、有組織的實驗方案,不是亂試,是搞清楚“啥影響了啥”。會做 DOE 的 PIE,救火時能靠腦子,不靠跪著祈禱。

      5. Lot(批次)

      大白話:你的“孩子”。每批都代表你的臉面。Lot 是 PIE 的孩子,掉良率比掉錢包還心疼。

      6. Flow(制程流程)

      大白話:產品怎么在 fab 里“走一圈”的路線圖。Flow 不熟,PIE 就像蒙著眼開車。

      7. DRC(Design Rule Check)

      大白話:檢查客戶畫的圖有沒有超出工廠能力。設計畫錯一根線,PIE 得哭到第二天。

      8. SPC(Statistical Process Control)

      大白話:用統計圖盯著制程,防止機臺偷偷“發瘋”。SPC 是制程的脾氣表,曲線抖一下,PIE 就睡不著。

      9. OOC(Out of Control)

      大白話:制程數據跑偏,失控了,要馬上救。OOC 一響,PIE 心慌。

      10. OOS(Out of Spec)

      大白話:直接超規,已經不是偏了,是犯法了。OOC 是警告,OOS 是判刑。

      11. RCA(Root Cause Analysis)

      大白話:找事情真正的元兇,不找對,問題永遠反復整你。RCA 找不對,下次異常會“加倍奉還”。

      12. PC(Process Change)

      大白話:任何 recipe、設備、材料的變更,都叫 PC,需要評估風險。PC 沒評估好,良率會讓你明白什么叫代價。

      13. Qual(Qualification)

      大白話:認證新產品、新材料、新制程能不能穩定量產。Qual 是能力,過不了就是笑話。

      14. Scrap

      大白話:報廢,真的什么都救不回來了。Scrap 一多,PIE 的 KPI 也“廢了”。

      15. Inline

      大白話:線上制程中的中間量測,不是最終電性,但能幫你提前發現問題。Inline 是風向標,懶得看的人遲早被風暴刮走。

      16. PR(Photoresist)光刻膠

      大白話:光刻時用的膠,太薄、太厚、沒涂勻,都會鬧事。光刻膠不聽話,后面都得跟著挨打。

      17. Overlay

      大白話:層與層之間有沒有對準,不準就等著變廢片。Overlay 差一點,晶圓哭一片。

      18. Defect(缺陷)

      大白話:wafer 上各種污染、刮傷、顆粒的統稱。Defect 是所有良率事故的開場白。

      19. PFA(Physical Failure Analysis)

      大白話:把芯片拆開、剖開、挖開,看它哪里壞了。PFA 是解剖臺,真兇藏在顯微鏡下。

      20. Tape-out / NPI(新產品導入)

      大白話:新產品的第一次流片,也是PIE的“大考”。Tape-out 做得好,以后是穩扎穩打;Tape-out 做糟了,后面天天救火。

      最后送給所有 PIE 工程師一句話:

      “我們盯的是數據,扛的是壓力,守的是產品的命。 別人看不見我們的辛苦,但良率永遠不會騙我們。”

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