近日,清溢光電(688138.SH)在業績說明會上表示,公司佛山生產基地總投資35億元,其中高精度平板顯示掩膜版基地投資20億元,高端半導體掩膜版基地投資15億元。
半導體芯片掩膜版技術方面,公司已成功實現150nm工藝節點掩膜版的小規模量產,正在推進130nm-65nm的PSM和OPC工藝的掩膜版開發和28nm半導體芯片所需的掩膜版工藝開發規劃。公司半導體掩膜版業務的代表性客戶包括比亞迪半導體、芯聯集成等,根據客戶保密協議,部分客戶的信息不便透露。目前,半導體掩膜版的國產化率在10%左右,國產替代空間巨大。
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