北京
記者12月9日了解到，今年1到11月，市場(chǎng)監(jiān)管總局新批準(zhǔn)發(fā)布85項(xiàng)服務(wù)“雙碳”工作和精密制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展的國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，為提高碳測(cè)量數(shù)據(jù)和精密制造測(cè)量數(shù)據(jù)精準(zhǔn)性提供有力支撐。
在服務(wù)“雙碳”工作方面，批準(zhǔn)發(fā)布空氣中二氧化碳?xì)怏w、乙烯中一氧化碳和二氧化碳混合氣體等72項(xiàng)碳計(jì)量國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。碳計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)用來校準(zhǔn)常用的碳檢測(cè)設(shè)備，如紅外氣體分析儀等，確保儀器測(cè)量精度，也可用來標(biāo)定現(xiàn)場(chǎng)碳監(jiān)測(cè)設(shè)備。新批準(zhǔn)發(fā)布的72項(xiàng)碳計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，79.2％由企業(yè)研制生產(chǎn)。
在服務(wù)精密制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展方面，批準(zhǔn)發(fā)布高純氮、高純氧等13項(xiàng)電子氣體國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。
●在半導(dǎo)體器件制造過程中，高純度電子氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可用于清洗、刻蝕、沉積等多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，確保晶圓的純凈度和性能。
●在集成電路生產(chǎn)過程中，高純度電子氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)在光刻、離子注入、氧化等工藝中發(fā)揮著重要作用，保障集成電路的穩(wěn)定性和可靠性。
新批準(zhǔn)發(fā)布的13項(xiàng)電子氣體國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)中，93％的研制單位位于華東、華北地區(qū)，呈現(xiàn)出與產(chǎn)業(yè)集群協(xié)同發(fā)展的新趨勢(shì)。
來源：央視財(cái)經(jīng)
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