2004年，刻蝕機之父尹志堯，棄美回國遭起訴，今81歲終迎來新身份

20年前，中國刻蝕機之父尹志堯，辭去美國AMAT副總裁的職位，回到了中國，這個決定一度讓他成為前東家的“眼中釘”，為此還遭到了起訴，而如今，81歲的他因為新身份再度引發關注。

說起刻蝕機，中國已躋身國際領先水平，而在中國，稱得上刻蝕機龍頭企業的，無疑是中微，但讓中微有此成就的，則是中微董事長尹志堯。

他在1944年出生，在中國科學技術大學取得學位后，曾先后進入石油化工部、蘭州煉油廠以及中科院工作。

工作了11年尹志堯并沒有放棄學習，34歲時又考入北大化學系，經過兩年的學習，他又到美國加州大學攻讀博士，在1984年取得了物理化學博士學位。

學習好的尹志堯自然是美國各大企業招攬的對象，剛一畢業，他就被英特爾選中，之后又先后加入了泛林半導體和應用材料公司。

他不止手握86項美國專利，主導研發的彩虹號氧化物刻蝕機，讓泛林成了全球最大的刻蝕機制造商之一，后來更是推動了應用材料公司蝕刻機制造水平的整體提升。

說實話，這樣一個優秀人才，那個國家擁有就是賺到，應用材料公司為了留下他，一路將他扶持到了副總裁的職位，可尹志堯卻在2004年毅然決然的提交了辭職信。

說起他辭職原因，多少與他的家世有關，他曾外祖父是清末革命黨人，祖父是庚子賠款留學生，為了對抗日本經濟侵略，積極支持發展本土商業，父親則是留日回國報效的電化學專家。

有了長輩的言傳身教，他自小便有一顆愛國心，2004年，他在一次半導體設備展覽上，結識了時任上上海市經委副主任的江上舟。

了解到，國家需要提升高科技，而重中之重的芯片卻還捏在國外人手里，設備更是幾乎全靠外購，發展半導體事業可謂是迫在眉睫。

在江上舟動員下，他放棄了美國的百萬年薪和優渥生，主動游說麥仕義等15名好友，一起回國創辦了中微，當時，美國為了確保他沒有攜帶有關蝕刻機資料回國，還對他進行了搜查。

經過中微的不斷發展，他們公司生產的等離子刻蝕機成了“王牌”，就在他們要打進國際市場時，麻煩找上門了。

他的前兩位老東家泛林半導體和應用材料公司，分別以違反專利、泄露商業機密為由，狀告尹志堯以及中微，兩場官司，來得又急又狠，試圖阻止中微向海外擴張。

但尹志堯卻一點不慌，他們的基本指導思想就是學習、借鑒、不copy（復制），在研發過程中，不止運用了最新的科技，還確保每一步設計都是自主創新，這讓他們至今未嘗敗績。

尹志堯后來提起這些官司，語氣里也滿是驕傲，這兩場拉鋸戰不僅讓中微站穩了腳跟，還打破了“中國造不出高端刻蝕機”的偏見，更讓外國無法輕易的靠專利壁壘卡中國脖子。

隨著技術發展，2025年，中微最前沿的刻蝕機精準度已經突破到了0.1納米，有時甚至能到0.02納米的水平，遠遠領先于美國等科技強國。

技術突破帶來的，是市場的認可，2025年的前三季度，中微收入達80.63億元，同比增長百分之46.4，上市公司股東利潤有12.11億元，同比增長了百分之32.66。

根據中微未來5到10年的規劃，他們要將集成電路關鍵設備領域的覆蓋度提升到百分之六十，一舉成為國際一流的半導體設備公司。

公司發展的好，最開心的還不是尹志堯，他因為主要做的是學術研究，公司股份只有百分之0.7，因為受到的是社會主義教育，他將股份分給了員工，連司機、看門接待的人都持有公司的股份。

然而，就在公司高歌猛進之時，尹志堯個人卻做出一個令人意外的決定，2026年1月8號，中微突然發出公告，稱尹志堯打算減持股份。

據悉，從2026年1月30號到4月29號，他會通過集中競價的方式減持股份，預計不超過29萬股，大約占公司總股比例的千分之0.46。

截止到2026年1月9號收盤，中微每股報價為336.68元，也就是說尹志堯這次減持將套現約9464萬元，按理說，公司發展迅猛，增加持股比例，才能獲得更多分紅，他到底為何減持呢？

說起減股的原因，也是令人十分詫異，之前尹志堯在美國時，加入了美國國籍，如今81歲的他，已經重新恢復成了中國國籍，為此，他需要依法辦理相關稅務，這才打算減持股份。

其實，這一切早有端倪，2022年中微的年報中，曾標注尹志堯的是美國公民，到了2023年，年報不再提及尹志堯的國籍，在2024年，中微年報已經將尹志堯的國籍改為中國國籍。

為此，有人疑惑，尹志堯都81歲了，為何還要折騰國籍？了解尹志堯的人都知道，這不過是他“家國情懷”的延續，用他的話說：“華人畢竟是華人，他的根是一樣的！”

如今，81歲的尹志堯仍沒停下腳步，依舊忙著研發，對他而言，恢復中國籍或許并不是終點，而是以更純粹的身份，繼續陪著中國半導體走下去。

從60歲棄美回國，到81歲以中國籍身份推動行業進步，尹志堯的故事，從來不是“個人傳奇”那么簡單。

他帶著團隊打破國際壟斷，讓中國刻蝕機從無到有、從跟跑到并跑，他用了22年時間證明，中國半導體的突圍，靠的不是運氣，而是“啃硬骨頭”的韌勁。

如今，中微的刻蝕機精度能到0.1納米，而尹志堯那顆“科技報國”的心，比這精度更堅定，或許這就是中國半導體最寶貴的“底氣”。