佛山工廠破解美國30年技術封鎖，臺積電排隊合作

大家知道中國是怎么反向卡脖子的嗎？很多人提到造芯片，滿腦子都是光刻機，覺得那才是最高端的存在。其實在芯片制造流程中，有一種看不見摸不著的東西，地位絕不輸給光刻機，它就是被稱為 “電子工業血液” 的電子特種氣體。

沒有它，光刻機不過是一堆廢鐵，而這管 “血液”，中國被國外巨頭卡了整整 30 年脖子，如今卻被廣東佛山一家工廠成功破解，連臺積電這樣的頂級企業都主動上門排隊采購。

電子特氣的特殊之處，在于其近乎苛刻的純度要求。它不是民用級別的普通氣體，而是給芯片 “洗澡”、給晶圓 “做手術” 的關鍵材料，純度需達到 99.9999% 以上，部分高端品種甚至要求 99.99999%。

打個比方，若將符合標準的電子特氣裝進標準游泳池，其中混入的雜質不能超過一粒灰塵的重量，一旦超標，納米級的芯片電路就會短路，整批晶圓報廢，損失動輒數百萬美元。

這種極致要求，讓提純技術成為行業 “核武器”。美國空氣產品、法國液化空氣、日本大陽日酸等國外巨頭攥緊技術核心，再用密密麻麻的專利織成壁壘，在中國市場躺賺了幾十年。

他們的特氣售價堪比黃金，一瓶的利潤能抵普通工業氣體一車的收益，更通過特制鋼瓶接口搞技術捆綁 —— 買了他們的氣，就再也無法更換別家供應商，設備接口根本不兼容。

更令人憋屈的是霸王條款：中國芯片廠不僅要付天價，還得承諾 “不準用于軍工領域、不準自主研發相關技術”，有廠家因偷偷研發就被斷供三個月，險些倒閉。

電子特氣的難題遠不止提純。原料環節，光刻氣所需的氪、氖、氙等稀有氣體在空氣中含量極低，提取難度極大，2022 年烏克蘭危機前，全球 70% 的氖氣由烏克蘭供應，危機爆發后價格暴漲幾十倍，讓中國芯片廠深刻體會到供應鏈單一的致命風險。

儲存運輸更是挑戰，普通鋼瓶內壁會污染高純度氣體，必須經過鏡面拋光處理，再用高純度氣體反復沖洗，運輸中溫度、震動都需嚴格控制，砷烷、磷烷等劇毒特氣一旦泄漏，吸入一口就可能致命。

最讓中國企業絕望的是客戶認證，芯片廠生產線投資巨大，對供應商極其保守，國外巨頭壟斷認證渠道，中國企業連送樣測試的機會都沒有。

2010 年之前，中國電子特氣國產化率幾乎為零，高端領域完全空白，每年要花幾百億進口，相當于給國外巨頭交巨額 “技術稅”。

《“十四五” 新材料產業發展規劃》數據顯示，2020 年中國電子特氣國產化率僅 20%，高端產品更是不足 10%。

打破這一僵局的，是來自廣東佛山的華特氣體，一家從煉鋼供氣起步的民營企業。

1993 年成立的華特氣體，最初靠給鋼廠、陶瓷廠供應普通工業氣體謀生，利潤薄如刀片且回款困難。一次偶然的機會，創始人發現電子特氣的利潤空間，一瓶能抵工業氣體一車，盡管門檻極高，仍下定決心闖入這個被國外壟斷的領域。

最難啃的骨頭是光刻氣，這種混合了多種稀有氣體的特殊氣體，是光刻機產生深紫外光的核心原料，配方被美日企業列為頂級機密，比例偏差一絲就會導致光源熄滅。

華特氣體的工程師們在實驗室里泡了整整五年，沒有任何參考資料，全靠自己摸索調整氣體比例。

實驗室里儀器密布，工程師每天工作十幾個小時，餓了吃泡面，累了趴在桌上打盹，曾為測試新提純工藝連續奮戰 72 小時，終于將純度做到 99.9999% 的 6N 級別。但合格產品只是第一步，要進入臺積電、阿斯麥的供應鏈，必須通過全球最嚴苛的認證。

接下來的三年里，華特氣體先后送樣上百次，每次測試都針對性整改：發現穩定性不足就優化提純工藝，增加實時監測環節；鋼瓶接口輕微泄漏就重新設計模具，反復打磨精度。為集中資源攻堅，企業甚至賣掉部分工業氣體業務，投入巨額研發資金。

2019 年，華特氣體的光刻氣終于通過阿斯麥認證，成為中國首家進入其供應鏈的企業，緊接著又拿下臺積電認證，當印有 “華特氣體” 字樣的鋼瓶首次接入臺積電生產線時，中國電子特氣的歷史被徹底改寫。

如今，華特氣體已在三氟化氮、六氟化鎢等關鍵領域實現突破，純度達到 7N 級別，超過國外同類產品標準。其產品出口 50 多個國家和地區，國內 8 寸及以上集成電路廠商覆蓋率超 90%，2025 年新總部動工，總投資超 1 億元，將建成國內頂尖特氣研發基地。

佛山政府專門規劃電子信息產業園，提供土地與政策扶持，讓這家傳統工業土壤里成長起來的企業，成為全球電子特氣領域的 “隱形冠軍”。

華特氣體的突破并非個例。蘇州金宏氣體主攻的 7N 級超純氨，成本比進口產品低 30%，占據國內高端 LED 屏幕生產主要市場，迫使國外巨頭逐步退出；南大光電攻克砷烷、磷烷等劇毒特氣技術，擁有完全自主知識產權，產品進入三星、海力士供應鏈。

這些企業形成產業集群，推動中國電子特氣國產化率快速提升，2025 年整體達到 35%，中低端產品超 80%，盡管高端領域仍僅 15%，但較 2020 年已實現質的飛躍。

國產化的崛起直接沖擊了國外巨頭的暴利。以六氟化鎢為例，進口價從每公斤幾千美元跌至幾百美元，而 2022 年氖氣危機中，中國憑借鋼鐵廠空分設備副產品的提取優勢，不僅穩住國內供應，更向全球出口平抑價格，第一次掌握了定價權。

全球晶圓產能持續擴張，2025 年中國 12 英寸等效晶圓產能達 200 萬片 / 月，每片需消耗 0.5 立方米電子特氣，帶動市場規模增至 320 億元，復合增長率超 12%。

臺積電、三星、英特爾等頂級廠商紛紛主動上門，因為中國特氣不僅性價比高，更能提供穩定供應鏈。以前中國企業求著進入供應鏈，如今國外大廠為拿訂單主動降低門檻，接受長期供應協議。中國電子特氣產業正從 “賣產品” 向 “賣服務” 轉型，為半導體產業提供穩定 “血液”。

這場長達 30 年的攻堅戰，見證了中國企業從無到有、從依賴進口到反向輸出的逆襲。正如《“十四五” 新材料產業發展規劃》所擘畫的，到 2025 年高端電子特氣國產化率將提升至 30%，這場打破壟斷的戰役，才剛剛拉開序幕。