佛山工廠破解美國30年技術封鎖，連臺積電排隊合作

電子特氣在芯片制造里扮演關鍵角色，用于光刻、刻蝕、沉積和清洗等環節。純度要求達到5N到7N級別，雜質稍多就會造成晶圓報廢。

過去三十年，美國空氣產品公司、法國液化空氣集團、日本大陽日酸等企業占據主導地位。它們提供高純產品，但定價較高，還設置專利鋼瓶接口和限制條款。

國內芯片廠購買時常常面臨高價和供應限制，部分企業嘗試自主研發后供應中斷，生產線受到影響。這種局面從上世紀90年代延續下來，形成實際依賴。

1948年12月石平湘出生。1993年，他放棄政府部門工作，創立廣東華南特種氣體研究所，作為華特氣體前身。1999年2月，佛山市華特氣體有限公司正式注冊成立，石平湘擔任主要負責人。

企業初期做普通工業氣體供應鋼廠和陶瓷廠，后來轉向電子特氣領域。2000年后逐步開發高純產品，2005年高純二氧化碳進入日本TDK東莞工廠，2007年一氧化氮產品進入三星供應鏈。

華特氣體重點攻克光刻混合氣體，包含氖、氪、氙等組分。2019至2020年間，公司光刻氣通過荷蘭ASML公司認證，成為國內唯一、全球少數通過認證的企業。后來又通過Gigaphoton認證，是國內唯一同時獲得兩家光刻機廠商認證的公司。

產品隨后進入臺積電、英特爾、SK海力士等供應鏈，同時服務中芯國際、長江存儲、華虹宏力等國內廠商。光刻氣在國內市場份額達到60%左右，多個產品實現進口替代。

蘇州金宏氣體專注于超純氨研發，用于面板和LED制造。企業通過多年技術積累，把純度提升到7N級別，成本降低，國內面板廠采用后進口份額減少。南大光電在砷烷、磷烷等氫化物氣體領域取得進展，這些氣體用于摻雜工藝，毒性較高，純度和安全控制要求嚴格。

公司掌握自主生產技術，進入三星、海力士供應鏈。其他企業如雅克科技、中船特氣在含氟氣體方面也有突破，形成產業集群。2022年烏克蘭局勢影響氖氣供應，中國鋼鐵企業通過空分裝置提取氖、氪、氙，穩定國內供應并出口，緩解全球價格波動。

華特氣體等企業突破后，國內8寸及以上集成電路廠商使用國產品種覆蓋率大幅提升。臺積電等國際廠商為分散風險、降低成本，增加對中國特氣采購，簽訂長期協議。六氟化鎢等氣體價格從較高水平回落，國外供應商定價影響力減弱。

2023年華特氣體海外光刻氣銷售實現突破。中國半導體產業獲得更穩定的材料支持，避免單一依賴。

全球晶圓廠采購選擇增加，成本曲線更合理。

芯片制造里氣體供應曾經長期受限，佛山這家工廠的技術突破讓臺積電等企業轉向采購。未來隨著更多制程需求滿足，國產化會繼續推進，產業自主能力進一步加強。

參考資料

超凈高純電子特氣．中國百科．2023-08-15

李盛姬,黃雪靜,齊海等.含氟電子氣體研究進展J.低溫與特氣,2013,31(1):1-5.．萬方 引用日期2017-12-13

高純硅烷大規模生產技術獲得突破．上海交通大學．2014-12-18