僅次于光刻機！首臺國產(chǎn)氫離子注入機問世，打破歐美50年封鎖

導(dǎo)讀：僅次于光刻機！首臺國產(chǎn)氫離子注入機問世，打破歐美50年封鎖

中國芯片領(lǐng)域的“自主拼圖”，終于趨近圓滿了嗎？近日，中國原子能科學研究院正式公布一則極具分量的消息：我國成功研制出首臺自主研發(fā)的串列型高能氫離子注入機“POWER - 750H”，其核心指標已與國際先進水平持平，這標志著該設(shè)備已達成全面自主生產(chǎn)。

這是在芯片制造領(lǐng)域繼刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備之后取得的又一重大突破。至此，除光刻機之外，芯片制造的“四大核心裝備”我們已集齊三項。可以說，能夠自主生產(chǎn)目前所有已知芯片的時代已然近在咫尺。

在過去的50年里，離子注入機市場一直被美歐牢牢掌控，對我國實施長達數(shù)十年的禁運政策。即便在2022年禁運有所松動后，也僅以高價向我國出口低端設(shè)備。如今，國產(chǎn)技術(shù)取得突破，直接打亂了國際芯片產(chǎn)業(yè)的格局。美國的行業(yè)報告更是直言不諱地指出“中國將重塑全球芯片設(shè)備供應(yīng)鏈”。

一、美歐的千層壟斷套路，我國50年的血淚史

離子注入機，若以更具象的表述，堪稱芯片的“基因編輯師”。其核心功能在于將離子注入硅片內(nèi)部，以此調(diào)整材料的局部導(dǎo)電性能，確保芯片內(nèi)部電路得以正常運轉(zhuǎn)。

然而，這款關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)壁壘極高。它不僅要確保離子束誤差被精準控制在納米級別，實現(xiàn)高能量穩(wěn)定性，還需有效應(yīng)對長時間工作所導(dǎo)致的設(shè)備損耗問題，在材料、精密制造等多個領(lǐng)域?qū)夹g(shù)的要求極為嚴苛。

由于具備上述特性，在過去相當長的時間里，該設(shè)備的制造與出口一直被美歐企業(yè)牢牢把持。上世紀50年代，美歐便率先開啟相關(guān)研究。憑借這一先發(fā)優(yōu)勢，自70年代起，以美國應(yīng)用材料、Axcelis等為代表的美歐企業(yè)持續(xù)壟斷相關(guān)市場。當時，聽聞我國計劃啟動自主研究，他們即刻下令對中國實施離子注入機禁運，美國企業(yè)甚至公然宣稱“要讓他們一臺也拿不到”。

2022年，美歐假意放寬禁令，向我國開放設(shè)備出口。實則是抓住我國急需設(shè)備開展研究的困境，以高出本土數(shù)倍的價格強行售賣，且僅提供過時機型，還附加苛刻的售后條款，延遲發(fā)貨更是屢見不鮮。數(shù)據(jù)顯示，2025年我國離子注入機進口額超過50億元，占全球進口量的42%，這無異于花費巨額資金購買“二手技術(shù)”，被美歐無情“吸血”，而我國為了獲取設(shè)備開展研究，只能暫時隱忍。所幸，這段艱難的歲月如今終于迎來了轉(zhuǎn)機。

二、50年的艱難突圍，從理論突破到反向出海

面對外部封鎖，科研人員從未消極以待、坐視不管。上世紀70年代，鄒世昌院士引領(lǐng)團隊率先開展科研攻關(guān)，以創(chuàng)新性思維利用低端設(shè)備達成了“低能離子束精準調(diào)控”，完成了原本需中高端設(shè)備方可開展的實驗，為后續(xù)相關(guān)研發(fā)奠定了堅實的理論根基。

在此基礎(chǔ)上，2009年，凱世通成功研制出首款低能國產(chǎn)機型并實現(xiàn)量產(chǎn)，有效滿足了中低端芯片制造的設(shè)備需求；2025年7月，華海清科在中高端設(shè)備領(lǐng)域取得突破；當下，“POWER - 750H”高能機型研制成功，其性能直接追平國際先進水平，標志著我國在離子注入機領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從跟跑國際到并駕齊驅(qū)的全面跨越。

而這種在突破困境中所展現(xiàn)的堅韌決心，于不同領(lǐng)域的研究者之間薪火相傳。以曾被美歐抬高價格的航空發(fā)動機為例，我國現(xiàn)已成功制造出完全自主設(shè)計與制造的“長江2000”。

技術(shù)突破亦促使市場格局發(fā)生反轉(zhuǎn)。在離子注入機領(lǐng)域，同樣是捷報頻傳。電科裝備的中低端機型已批量出口至亞洲、美洲國家，2025年出口量較上一年同比增長35%。隨著高能機型的問世，未來中國離子注入機有望在全球高端市場占據(jù)一席之地。

三、全面自主在即，最后一塊拼圖何時到來？

高能氫離子注入機所取得的突破，使得芯片核心設(shè)備的自主化進程僅剩下光刻機這最后一片“拼圖”，而攻克這一難關(guān)也已初現(xiàn)曙光。

2025年，28nm浸沒式光刻機順利完成工藝驗證，并交付至頭部晶圓廠進行進廠驗證；高端EUV光刻機預(yù)計將于2026年實現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，其實驗階段的穩(wěn)定性已與ASML同款機型不相上下。

顯而易見，從離子注入機到光刻機，科技企業(yè)正逐一攻克“卡脖子”難題。當芯片制造的四大核心裝備全部達成自主可控之時，全球芯片市場必將迎來國產(chǎn)芯片的嶄新時代。

而這份突破背后所彰顯的堅韌不拔與自強不息的精神，也必將激勵更多領(lǐng)域打破國外壟斷，踏上自主發(fā)展的光明坦途。