四川
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：貴公司已澄清暫無(wú)產(chǎn)品直接用于光刻膠。那么請(qǐng)問(wèn)，貴公司的電子特氣產(chǎn)品（如高純四氟化碳、六氟化硫、六氟化鎢等）是否服務(wù)于光刻膠的上下游產(chǎn)業(yè)鏈（如晶圓制造、刻蝕、清洗環(huán)節(jié)）？在成為中國(guó)領(lǐng)先的綜合性電子材料供應(yīng)商的戰(zhàn)略下，貴公司是否有計(jì)劃將自身的氟化工技術(shù)優(yōu)勢(shì)，延伸至與光刻膠配套的相關(guān)含氟化學(xué)品領(lǐng)域？
昊華科技（600378.SH）2月9日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司電子特氣產(chǎn)品包括電子級(jí)三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化鎢、硒化氫、硫化氫、溴化氫、三氟化硼等，主要應(yīng)用于集成電路制造的清洗、刻蝕、離子注入、化學(xué)氣相沉積等制程工藝。公司電解制氟核心技術(shù)可延伸開發(fā)高純氟氣混配氣體產(chǎn)品，相關(guān)產(chǎn)品處研發(fā)階段。
（記者 王曉波）
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