中國(guó)造不出光刻機(jī)？中科大副院長(zhǎng)：美國(guó)造不出，中國(guó)永遠(yuǎn)都不可能

2024年9月那段時(shí)間，網(wǎng)上一段采訪直接炸了鍋，說這話的是中科大前副院長(zhǎng)朱士堯。一句“美國(guó)都單獨(dú)造不出頂級(jí)光刻機(jī)，中國(guó)永遠(yuǎn)也不可能”甩出來，網(wǎng)友直接吵翻了天。有人說老專家講真話戳破了泡沫，有人說這是潑冷水故意打擊士氣。

朱士堯本身就是實(shí)打?qū)嵉目蒲谐錾恚?944年生在上海嘉定，1963年考進(jìn)中科大原子核物理專業(yè)。他畢業(yè)之后直接留校搞研究，長(zhǎng)期深耕等離子體物理和受控核聚變領(lǐng)域。從業(yè)多年他發(fā)過不少核心論文，還出過三本專業(yè)著作，在業(yè)內(nèi)認(rèn)可度很高。

他還先后在海外頂尖科研機(jī)構(gòu)待過，去美國(guó)威斯康星大學(xué)做過三年訪問學(xué)者，又去荷蘭做過一年半訪問教授。1997年開始他擔(dān)任中科大研究生院副院長(zhǎng)，一當(dāng)就是七年，對(duì)國(guó)內(nèi)外科研產(chǎn)業(yè)的門門道道都摸得門清。

2005年剛退休他就被華為請(qǐng)去當(dāng)黨委副書記，干了整整十年，專門研究企業(yè)文化。等于從一線科研到高校管理再到頭部科技企業(yè)的運(yùn)作，他全走了一遍。說這話根本不是瞎站隊(duì)蹭熱度，是實(shí)打?qū)嵉目珙I(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)打底。

他說的其實(shí)是頂級(jí)EUV光刻機(jī)的產(chǎn)業(yè)現(xiàn)實(shí)，這玩意兒根本不是哪個(gè)國(guó)家能單槍匹馬搞定的。一臺(tái)EUV光刻機(jī)就重180多噸，里面光零件就超過十萬個(gè)，涉及光學(xué)、真空、精密機(jī)械好幾個(gè)大類的頂尖學(xué)科。得靠全球幾十個(gè)國(guó)家上千家公司湊供應(yīng)鏈才能攢出來，缺了任何一環(huán)都不行。

現(xiàn)在全球唯一能量產(chǎn)EUV的就是荷蘭的阿斯麥，可它自己也攢不出100%國(guó)產(chǎn)化的整機(jī)。核心光學(xué)鏡片要靠德國(guó)蔡司，激光光源最早是美國(guó)公司的技術(shù)，材料主要靠日本，高精度零件還有韓國(guó)、荷蘭本地的供應(yīng)商。它自己都公開說過，要搞完全自主的全自產(chǎn)整機(jī)根本辦不到。

阿斯麥能走到今天也不是一蹴而就的，1984年飛利浦和ASM合資成立，早期差點(diǎn)破產(chǎn)熬不下去。后來轉(zhuǎn)做掃描式光刻機(jī)，2000年后砸大錢搞EUV技術(shù)，2018年才開始給臺(tái)積電、三星、英特爾交付商用EUV。四十多年的專利和技術(shù)迭代，還有和供應(yīng)鏈、客戶綁定的生態(tài)，才堆起現(xiàn)在的高壁壘。

它每年的研發(fā)投入都高得嚇人，2025年研發(fā)投入超過47億歐元，還跟上下游的供應(yīng)商、客戶一起迭代技術(shù)?，F(xiàn)在的高NA EUV能減少多重曝光，降低缺陷還能縮短生產(chǎn)周期，實(shí)用性拉滿。2025年雖然因?yàn)槌隹诠苤浦袊?guó)區(qū)銷售額降了，但全球邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片的需求拉著EUV銷量還在漲。

阿斯麥2026年的營(yíng)收指標(biāo)是340到390億歐元，毛利率在51%到53%之間，還計(jì)劃裁1700人優(yōu)化結(jié)構(gòu)。現(xiàn)在它已經(jīng)是歐洲市值排在前列的科技公司，技術(shù)壁壘不是隨便哪個(gè)國(guó)家靠閉門造車就能追上的。全球供應(yīng)鏈的現(xiàn)實(shí)就是一環(huán)扣一環(huán)，誰也離不開誰。

朱士堯也不是故意潑冷水唱衰國(guó)產(chǎn)，他說中國(guó)半導(dǎo)體起步晚，跟美國(guó)的基礎(chǔ)差距可能有50到100年，單靠自己悶頭搞難度太大。他就是想提醒大家別光喊空口號(hào)，得認(rèn)清楚全球供應(yīng)鏈的現(xiàn)實(shí)，別忽略產(chǎn)業(yè)發(fā)展的客觀規(guī)律。腳踏實(shí)地搞研發(fā)搞合作，比喊什么“彎道超車”靠譜多了。

這話吵得最兇的時(shí)候剛好是海外封鎖最嚴(yán)的階段，2022年10月美國(guó)商務(wù)部出了新規(guī)，擴(kuò)大了外國(guó)半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品的管制范圍。2023年底荷蘭又禁售先進(jìn)深紫外光刻機(jī)，國(guó)內(nèi)的產(chǎn)線和實(shí)驗(yàn)室都在加班加點(diǎn)優(yōu)化參數(shù)，囤貨的集裝箱都堆得滿滿當(dāng)當(dāng)。

但咱們也沒躺平等著卡脖子，上海微電子2002年就成立了，專門攻國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的研發(fā)。上世紀(jì)90年代咱們的光刻機(jī)還全靠進(jìn)口，2010年后國(guó)家加大了支持力度，北京、深圳也陸續(xù)建了相關(guān)的研究中心。一步步攢自己的技術(shù)家底，沒想著一口吃成胖子。

2016年上海微電子拿出了90納米級(jí)的設(shè)備，總算是邁出了自主生產(chǎn)的第一步。2024年工信部發(fā)布的目錄里，已經(jīng)列進(jìn)去了65納米分辨率的國(guó)產(chǎn)氟化氬光刻機(jī)?，F(xiàn)在這款設(shè)備主要用在汽車電子、消費(fèi)芯片這些成熟領(lǐng)域，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占率超過80%。

2025年的進(jìn)展更是肉眼可見，上海微電子的28納米浸沒式深紫外光刻機(jī)已經(jīng)交付給中芯國(guó)際。第一臺(tái)在2024年底到2025年初進(jìn)入驗(yàn)證階段，套刻精度達(dá)到1.9納米，良率慢慢爬到了90%。各項(xiàng)參數(shù)都達(dá)到了商用標(biāo)準(zhǔn)，夠得上國(guó)內(nèi)大部分產(chǎn)線的需求。

這臺(tái)設(shè)備的關(guān)鍵部件國(guó)產(chǎn)化率超過85%，光源用的是北京科益虹源的60瓦ArF準(zhǔn)分子激光，穩(wěn)定性達(dá)到99.99%。工件臺(tái)是北京華卓精科的，精度1.7納米，鏡頭和光學(xué)件由北京國(guó)望光學(xué)和國(guó)科精密供應(yīng)。北方華創(chuàng)這些企業(yè)也同步供貨，上海、北京、深圳的本土供應(yīng)鏈已經(jīng)慢慢連成片了。

現(xiàn)在28納米機(jī)型已經(jīng)在產(chǎn)線跑片，支持多重曝光能往7納米制程靠，雖然光源功率還比阿斯麥同代的產(chǎn)品低一些，但用在成熟制程上完全夠用。極紫外領(lǐng)域咱們還在做專利積累和原型驗(yàn)證，2026年有量產(chǎn)計(jì)劃，短期內(nèi)還是以深紫外的國(guó)產(chǎn)替代為主。一步步穩(wěn)扎穩(wěn)打，沒搞什么大躍進(jìn)。

現(xiàn)在咱們也不是完全硬扛著不買進(jìn)口設(shè)備，2025年全年中國(guó)從阿斯麥進(jìn)口的光刻機(jī)金額占它全球銷售額的33%，差不多80多億歐元，折人民幣六百多億。這筆進(jìn)口額占中國(guó)進(jìn)口光刻機(jī)總額的90%左右，剩下10%是日本尼康、佳能的設(shè)備。一邊買能用的成熟設(shè)備救急，一邊搞自己的技術(shù)替代，節(jié)奏踩得很穩(wěn)。

參考資料：

人民日?qǐng)?bào) 中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展年度報(bào)告

光明網(wǎng) 國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)進(jìn)展跟蹤報(bào)道

工信部 高端裝備制造業(yè)發(fā)展目錄