江蘇
在半導體智能制造中，每一片晶圓的流轉都是精度與效率的雙重考驗。
作為工業具身智能領導者，優艾智合首創新一代半導體具身智能移動操作機器人ATS6F，突破性實現晶圓轉運跨潔凈度運行，為半導體行業效率升級注入全新動能。
行業首創 跨潔凈度運行
作為行業首創的新一代產品，ATS6F機器人專為半導體晶圓轉運設計，可完成長距離、運輸要求高的作業任務。
針對晶圓環境潔凈度要求，ATS6F機器人搭載全新艙內潔凈系統、自動密封設計，搭配FFU高效過濾裝置，實現行業領先的潔凈控制能力，能夠在萬級車間內保障物料百級的潔凈度，避免污染風險，保障晶圓良率。
ATS6F機器人支持跨潔凈環境運行，最高滿足ISO CLASS 5環境需求，可高效通過跨車間、電梯、長連廊、風淋室等多種復雜場景；振動值控制在≤0.5g，兼具高效、小巧、高通過性等特點，解決跨區域作業痛點。尤其在連廊運輸環節，展現出極強的實用性與經濟性。
全程可追溯 物料智能管控
ATS6F機器人搭載全新倉位信息化管理系統，可實時查看物料生產信息，現物料從入庫、轉運到上下料的全程可視化管控，解決半導體生產中“數據孤島”問題，保障物料運輸全流程過程中的安全和可追溯。
ATS6F機器人支持全無人/人機協作上下料，與OW系列機器人組合可實現自動load unload功能；可選不同載具儲位，滿足多元物料轉運需求。
持續引領行業技術發展，優艾智合聚焦半導體制造，實現多項技術突破，并打破國外壟斷，成功進入頭部半導體廠商制造體系。
從前端原材料處理、核心制程操作到后端封裝測試、倉儲物流等關鍵節點持續拓展，優艾智合以全鏈條覆蓋，形成對單一行業的深度滲透與全流程賦能，實現規模化落地。
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