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散英魂寄千萬雄鷹翱翔神州,
盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。
01
前沿導讀
據上海微電子公司的負責人賀榮明先生,在先進事跡的報告會中表示:
當我提出我們中國人要做自己光刻機的時候,那種外國專家的眼神除了敬仰,多多少少帶有對我們科技人員的不屑和蔑視。甚至有一名歐洲的高級專家,非常嚴肅地拋給我一句話,中國人要做光刻機,就是給你們全套圖紙,你們也做不出來。
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世界工業看歐洲,歐洲工業看德國。德國孕育了梅賽德斯奔馳、巴伐利亞發動機制造廠以及奧迪這三大頂級的豪華汽車品牌,并且還同時擁有被譽為“上帝左手”和“上帝之眼”的西門子和蔡司。
連工業實力如此強大的德國都沒有制造出光刻機,中國企業到底哪來的勇氣去研發光刻機?
02
設備發展
賀榮明先生在談及我國光刻機業務時,用“不堪回首”四個字來概括曾經國產光刻機的技術研發時期。
2002年,上海微電子公司剛剛成立的時候,我們沒有充足的人才團隊,沒有完善的技術積累,也沒有配套的產業供應鏈。
賀榮明先生帶領著自家的技術團隊去找歐美國家商談合作,但是歐美企業對于中國人造光刻機這件事持懷疑態度,并且其認為光刻機設備是高精度設備,產業技術一直被美國、荷蘭、日本這三個國家把控,中國想要在這三個國家的競爭當中成為第四股力量,無異于是說笑話。
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賀榮明先生在大會中表示,在受到歐美企業的冷眼之后,自己和團隊的自尊心受到了極大損傷,同時整個研發團隊也非常不服氣。在回國之后的很長一段時間內,技術團隊都是帶著一種賭氣的心思在發展產業技術,這也為后續中國光刻機的成功點燃了火種。
2007年,上海微電子公司成功將光刻機的第一束光源曝光了出來。
2009年,首臺國產光刻機的樣機制造完成,實現了國產設備的制造大躍遷。
上海微電子公司開發的第一款國產曝光機是SSB200系列,其主要應用于AMOLED和LCD顯示屏的制造。隨后又開發出了SSB300系列的步進式光刻機設備,應用于2-6英寸基底的光刻領域,可以滿足Mini LED、MEMS傳感器等產品的制造。
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真正讓國產光刻機打出名氣的產品,是第三代的SSB500系列光刻機。
該系列產品應用于先進的芯片封裝領域,可滿足于Flip Chip、Fan-In、Fan-Out WLP/PLP、2.5D、3D等多種封裝形式。
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賀榮明先生也在大會上面,重點強調了在先進封裝領域的國產光刻機。
賀先生表示:
當我們在先進封裝領域,設計了第一臺國產光刻機,戰勝競爭對手,并且被IC行業的臺灣客戶所接受的時候,臺灣客戶滿懷真誠的對我說:‘真沒想到我們中國人也能做出光刻機,我作為中國人感到很自豪!’
03
自主技術
根據中國青年網轉載《解放日報》的專訪內容表示:
賀榮明先生在接受記者采訪時,直言不諱的說到:“歷史賦予了我們這批人研發中國光刻機的任務,我們也就不該再想別的了。有段時間,我看著工程師辭職去金融企業,心里面真是著急,我們國家怎么能離開高端制造業?”
如今的上海微電子公司,員工多達上千人,超40%的員工具有碩士及以上學歷,其平均年齡只有34歲。其中既有一批國際視野的工程師團隊,也有一批技能嫻熟的工匠團隊。
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賀榮明先生對此表示稱,我們有責任讓年輕一代超越我們,接替我們繼續為國家的高端制造業拼搏前進。
參考資料: 十幾年就做一件事:"智"造中國自己的光刻機_中國青年網 http://news.youth.cn/jsxw/201706/t20170628_10183028.htm
根據北京電子學會發布的專欄報告指出:
光刻機算得上是人類在工業設備領域的集大成者,其制造難度高、所需供應鏈體系龐大,只有少數幾家公司能夠掌握制造技術。
DUV浸潤式光刻機的售價大約是7000萬美元,EUV的售價是DUV的兩倍,上升到了1.5億美元。而最新的High-NA EUV光刻機,其售價又是上一代EUV光刻機的兩倍,超過了3.4億美元。
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參考資料: 公眾號:北京電子學會
國際層面不斷推出新產品來延續摩爾定律,而中國的浸潤式DUV和EUV光刻機還未正式對外公布,現階段的光刻機依然還是制約中國芯片發展的核心難題。
ASML能成為光刻機產業的最大贏家,其核心原因有兩點。
一是ASML處于中立位置,服務于全球客戶,可以獲得包括美國在內的全球科技力量。二是ASML吸納了全球各行各業的頂尖人才,ASML的研發人員數量占總員工數的40%左右,并且許多技術都會外包給其他合作商,既深化了產業合作,又提升了研發效率。
中國企業在被美國封鎖產業鏈的情況下,依然開發出來了最新一代的干式光刻機,將設備分辨率提升到了65nm,推動中國光刻機產業再次實現技術躍遷。
其開發自主光刻機的核心動力,就是來自于海外國家的科技壓制。想要不被欺負打壓,唯一的途徑就是掌握自主可控的科技實力。
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