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近日,半導(dǎo)體量測設(shè)備企業(yè)上海匠嶺科技有限公司向上海某龍頭晶圓廠成功交付了復(fù)購的TFT70 SuperHiK??高端薄膜量測設(shè)備。值得關(guān)注的是,這是該客戶在已有合作基礎(chǔ)上的再次采購,這一動作,不僅是一次成功的商業(yè)交付,更是對匠嶺科技持續(xù)深耕高端量測領(lǐng)域、以技術(shù)硬實力滿足頂尖客戶需求的有力證明!
此次交付的一大亮點便是AiMET人工智能量測系統(tǒng)的驚艷亮相。
匠嶺科技經(jīng)過長期的研發(fā)和積累,深度融合人工智能技術(shù)打造了AiMET(AI-Enhanced Metrology)量測系統(tǒng),這標(biāo)志著AI智能量測技術(shù)在半導(dǎo)體前道制造環(huán)節(jié)實現(xiàn)了深度應(yīng)用與關(guān)鍵突破。
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TFT70作為匠嶺科技在售TFT系列的旗艦機型,采用業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的SuperHiK??量測技術(shù),專門針對柵極超高k材料層(納米超薄單層膜)、金屬互連層(強相關(guān)性疊層納米超薄膜)和超薄介質(zhì)層等最具挑戰(zhàn)的關(guān)鍵膜層提供精準(zhǔn)量測,并成功解決了一系列國際性技術(shù)難題。
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截至目前,TFT70已批量交付多家邏輯和存儲客戶,并獲得復(fù)購和量產(chǎn)線批量交付,為半導(dǎo)體前道產(chǎn)業(yè)鏈筑起了供應(yīng)安全新屏障。
它主要應(yīng)用于高端邏輯和存儲芯片制造的前道工藝控制,對多種關(guān)鍵膜層進(jìn)行精確監(jiān)控:
柵極超高k材料層:影響晶體管性能和功耗;
金屬互連層:監(jiān)控多層金屬布線的厚度均勻性和效能一致性;
介質(zhì)層:影響絕緣性能和信號完整性。
而此次交付設(shè)備中搭載的AiMET智能量測系統(tǒng),采用物理化自監(jiān)督自適應(yīng)規(guī)模神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)架構(gòu),結(jié)合高可靠性并行計算,實現(xiàn)了從數(shù)據(jù)采集到分析的全鏈路AI賦能:
集成數(shù)據(jù)預(yù)處理、降維、分類與預(yù)測等機器學(xué)習(xí)技術(shù);
自主研發(fā)的AI算法加速推理,單片晶圓分析速度提升20倍以上;
一鍵生成最優(yōu)化量測方案:由AI智能創(chuàng)建復(fù)雜膜層結(jié)構(gòu)的量測Recipe,數(shù)倍提升工程效率與量測效能;
多膜層模型智能構(gòu)建:實現(xiàn)多種復(fù)雜膜層材料、多膜層系數(shù)的AI智能構(gòu)建;
精度提升:AI智能進(jìn)化算法顯著提高復(fù)雜膜厚量測的精準(zhǔn)度;
統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn):消除操作性差異,實現(xiàn)模型構(gòu)建和材料系統(tǒng)系數(shù)的一致性。
AiMET智能量測系統(tǒng)是匠嶺科技與客戶聯(lián)合攻關(guān)的定制化平臺,已在《第八屆國際先進(jìn)光刻技術(shù)研討會(IWAPS 2025)》上進(jìn)行技術(shù)報告,這標(biāo)志著本土企業(yè)在高端量測AI領(lǐng)域的關(guān)鍵性技術(shù)突破。
匠嶺科技通過與客戶深度定制化開發(fā)AI應(yīng)用,推動了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的智能化發(fā)展,為本土晶圓廠提供了自主可控、穩(wěn)健的高端量測國產(chǎn)替代方案。
據(jù)了解,為顯著提升整體產(chǎn)能,更好服務(wù)域內(nèi)客戶,以及支撐高速增長的業(yè)績,匠嶺科技位于浙江桐鄉(xiāng)的全新生產(chǎn)基地已在本月15日順利建成投產(chǎn)。該生產(chǎn)基地總面積達(dá)5000平方米,其中3000平方米為高等級無塵生產(chǎn)線與零部件倉儲中心。這一規(guī)模可觀的新基地落成,使匠嶺科技對全域客戶的交付能力實現(xiàn)數(shù)倍提升,成為公司規(guī)模化經(jīng)營發(fā)展歷程中的又一重要里程碑!
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該基地的建設(shè)是匠嶺科技“上海研發(fā)—長三角制造—全球服務(wù)”戰(zhàn)略布局的關(guān)鍵落子。依托上海臨港總部與張江研發(fā)中心,匠嶺科技能夠快速實現(xiàn)“研發(fā) - 工程化 - 量產(chǎn)”的轉(zhuǎn)化流程。
在半導(dǎo)體工藝不斷邁向更精微化的大背景下,匠嶺科技以“AI-Enhanced Metrology”為技術(shù)戰(zhàn)略布局,通過扎實的技術(shù)積累和緊密的客戶合作,正不斷夯實其在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的中堅力量,為產(chǎn)業(yè)鏈的安全與升級持續(xù)貢獻(xiàn)著“智慧”與“實力”,加速產(chǎn)業(yè)發(fā)展演進(jìn)升級!
關(guān)于匠嶺:上海匠嶺科技成立于2018年,全球總部位于上海臨港,長期持續(xù)在“高壁壘”量檢測領(lǐng)域技術(shù)攻關(guān),致力打造國際化平臺型半導(dǎo)體量測設(shè)備公司,向全球提供高端工藝監(jiān)控解決方案。上海匠嶺科技已平臺化布局半導(dǎo)體前道、先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體、新型顯示四大戰(zhàn)略領(lǐng)域,公司八大產(chǎn)品線及數(shù)十款機型已在各領(lǐng)域頭部企業(yè)的量產(chǎn)線中表現(xiàn)出卓越性能,屢次贏得各領(lǐng)域客戶的表彰和嘉獎,并持續(xù)為客戶提供高價值、創(chuàng)新型的解決方案。
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