做 CMP 的人,沒有一個是容易的。
別人看到的是「拋光」,你經歷的是——
漿料飛濺、pad 老化、壓力飄、曲線抖、scratch 掉良率、老板催報表、線上小姐姐喊你快點、WAT 圖像陰魂不散。
別人以為 CMP 只是把 wafer “磨平”這么簡單,
只有我們自己知道:
CMP 拋平的不是 wafer,是脾氣、情緒和人生的棱角。
一、CMP 的世界,只有做過的人才懂
CMP 的難,不是某個參數玄學,
是它同時受太多因素的影響:
pad 的硬度會變
conditioner 會鈍
slurry 會降解
ring 會偏
platen 會磨
head 會松
ICP、RR、NU、scratch… 每一個都能要你命
CMP 就是“全世界都在想辦法讓你難搞”,你得用理性把它拉回正軌。
也正因為此——CMP PE 是前段工藝線里,最接近黑魔法的人。
二、PE 的本質不是調機,是“讓生產線相信你”
很多新人以為:PE 就是調 recipe、跑試片、寫報告。
其實只說對了一半。
真正的 CMP PE,是這樣的:
你調的不是機臺,是整個流程的穩定性;
你看的不是曲線,是 wafer 的命運;
你交付的不是報表,是別人敢放心量產的底氣。
在線上的小姐姐眼里,PE 是“出了問題要叫的人”;
在老板眼里,PE 是“穩定生產的保險絲”;
在 yield/PIE 眼里,PE 是“CMP 這段能不能放心的關鍵角色”。
說難聽點:你就是 CMP 套件里最貴、也最不能壞掉的那顆零件。
三、每天忙得要死,其實是在對未來投資
做 CMP PE,最常見的感受就是:
今天查 scratch 查到懷疑人生
明天 RR 飄到你以為機臺在跟你開玩笑
后天 pad condition 又不穩定
還要被問:“為什么你這批又偏了?”
你嘴上說“我也想知道為什么”,
但第二秒,你已經又沖到機臺前、翻 log、問 OP、找 yield。
你心里明白:這些看似無窮無盡的 troubleshooting,其實是在幫你搭建屬于自己的“經驗庫”。
有一天你會突然發現:
看一眼 wafer map,你就知道可能是哪個 head 的膜壓不均;
看一條 NU 的趨勢,你能猜到 pad 該換了;
看到 RR 抖,你能判斷是 slurry 還是 pressure tank 的鍋;
那一刻你會明白:CMP 是靠時間換經驗的工作,每一次狼狽的救火,都是你未來升職加薪的資本。
四、PE 和機臺是戀愛關系:你越懂它,它越聽你話
CMP 機臺就是這樣一個“又傲嬌又脆弱”的家伙:
你忽視它一天,它用 scratch 教訓你;
你忘了 pad 壽命管理,它用 NU 飄給你看;
你 slurry 管不好,它用 RR 下滑回擊你;
你漏看 log,它在 WAT 上給你放煙花。
但只要你愿意:
多看幾次趨勢
多跑幾次試片
多跟EE、OP溝通
多問機臺今天有沒有“小情緒”
你會發現——機臺其實很聽懂你的人,說白了,它只是不喜歡被忽略。
五、PE 不是技術工種,是一種“堅韌的性格”
我見過很多 CMP PE,他們的共同特點不是聰明,而是——扛得住、熬得住、站得住。
良率掉的時候不慌
客戶抱怨的時候不慫
線上爆的時候不跑
夜里被叫醒也能馬上進入作戰狀態
說 CMP PE 辛苦的,一點都不夸張。
但我更愿意說:CMP PE 是 fab 里最像“守門人”的角色。
你不站好這一班崗,后面幾十道工序都可能跟著“跳崖”。
這不是情懷,這是事實。
六、給所有剛入行 CMP PE 的建議
最后,給新人幾句肺腑之言:
1. 不要怕問
CMP 的坑太多,你不問,就會掉進去。
2. 不要怕跑機臺
你對現場熟悉得越早,成長越快。
3. 不要怕數據
RR/NU/ICP/摩擦力/扭矩/溫度……
你盯得多了,它們真的會“給你語言”。
4. 不要怕被罵
被罵說明你負責的那段有人重視。
不被罵……那才危險。
5. 不要怕累
CMP 本來就是靠經驗吃飯,
你現在累,是在給未來的自己打地基。
七、寫在結尾:CMP 人有一種特別的底色
CMP PE 的心聲,可以這樣概括:
“我知道我的工作沒人完全懂,但我清楚地知道它的重要。”
“我解決的問題不一定有人感激,但穩定背后都有我在撐著。”
“我不只是拋光 wafer,我是在替整個產品線掃掉風險。”
如果你正在這條路上累得夠嗆、被數據折磨得想摔鍵盤、被機臺搞到想辭職——
記住:
CMP 讓你變強,不是一天、兩天,而是在每一次你不想堅持、卻還是堅持的時候。
如果有一天你終于成長成那個別人都愿意請教的 “CMP 大佬”,
你會回頭發現:
你走過的每一批 wafer 都在幫你鋪路。
CMP 不容易。
PE 不容易。
但堅持下來的人,都會閃閃發光。
——寫給所有在拋光間里揮汗的你。
特別聲明:以上內容(如有圖片或視頻亦包括在內)為自媒體平臺“網易號”用戶上傳并發布,本平臺僅提供信息存儲服務。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.