CMP PE 工程師的工作心得：墊著硅屑往前走的人

做 CMP 的人，沒有一個是容易的。

別人看到的是「拋光」，你經歷的是——
漿料飛濺、pad 老化、壓力飄、曲線抖、scratch 掉良率、老板催報表、線上小姐姐喊你快點、WAT 圖像陰魂不散。

別人以為 CMP 只是把 wafer “磨平”這么簡單，
只有我們自己知道：
CMP 拋平的不是 wafer，是脾氣、情緒和人生的棱角。

一、CMP 的世界，只有做過的人才懂

CMP 的難，不是某個參數玄學，
是它同時受太多因素的影響：

• pad 的硬度會變

• conditioner 會鈍

• slurry 會降解

• ring 會偏

• platen 會磨

• head 會松

• ICP、RR、NU、scratch… 每一個都能要你命

CMP 就是“全世界都在想辦法讓你難搞”，你得用理性把它拉回正軌。

也正因為此——CMP PE 是前段工藝線里，最接近黑魔法的人。

二、PE 的本質不是調機，是“讓生產線相信你”

很多新人以為：PE 就是調 recipe、跑試片、寫報告。
其實只說對了一半。

真正的 CMP PE，是這樣的：

• 你調的不是機臺，是整個流程的穩定性；

• 你看的不是曲線，是 wafer 的命運；

• 你交付的不是報表，是別人敢放心量產的底氣。

在線上的小姐姐眼里，PE 是“出了問題要叫的人”；
在老板眼里，PE 是“穩定生產的保險絲”；
在 yield/PIE 眼里，PE 是“CMP 這段能不能放心的關鍵角色”。

說難聽點：你就是 CMP 套件里最貴、也最不能壞掉的那顆零件。

三、每天忙得要死，其實是在對未來投資

做 CMP PE，最常見的感受就是：

• 今天查 scratch 查到懷疑人生

• 明天 RR 飄到你以為機臺在跟你開玩笑

• 后天 pad condition 又不穩定

• 還要被問：“為什么你這批又偏了？”

你嘴上說“我也想知道為什么”，
但第二秒，你已經又沖到機臺前、翻 log、問 OP、找 yield。

你心里明白：這些看似無窮無盡的 troubleshooting，其實是在幫你搭建屬于自己的“經驗庫”。

有一天你會突然發現：

• 看一眼 wafer map，你就知道可能是哪個 head 的膜壓不均；

• 看一條 NU 的趨勢，你能猜到 pad 該換了；

• 看到 RR 抖，你能判斷是 slurry 還是 pressure tank 的鍋；

那一刻你會明白：CMP 是靠時間換經驗的工作，每一次狼狽的救火，都是你未來升職加薪的資本。

四、PE 和機臺是戀愛關系：你越懂它，它越聽你話

CMP 機臺就是這樣一個“又傲嬌又脆弱”的家伙：

• 你忽視它一天，它用 scratch 教訓你；

• 你忘了 pad 壽命管理，它用 NU 飄給你看；

• 你 slurry 管不好，它用 RR 下滑回擊你；

• 你漏看 log，它在 WAT 上給你放煙花。

但只要你愿意：

• 多看幾次趨勢

• 多跑幾次試片

• 多跟EE、OP溝通

• 多問機臺今天有沒有“小情緒”

你會發現——機臺其實很聽懂你的人，說白了，它只是不喜歡被忽略。

五、PE 不是技術工種，是一種“堅韌的性格”

我見過很多 CMP PE，他們的共同特點不是聰明，而是——扛得住、熬得住、站得住。

• 良率掉的時候不慌

• 客戶抱怨的時候不慫

• 線上爆的時候不跑

• 夜里被叫醒也能馬上進入作戰狀態

說 CMP PE 辛苦的，一點都不夸張。

但我更愿意說：CMP PE 是 fab 里最像“守門人”的角色。

你不站好這一班崗，后面幾十道工序都可能跟著“跳崖”。

這不是情懷，這是事實。

六、給所有剛入行 CMP PE 的建議

最后，給新人幾句肺腑之言：

1. 不要怕問

CMP 的坑太多，你不問，就會掉進去。

2. 不要怕跑機臺

你對現場熟悉得越早，成長越快。

3. 不要怕數據

RR/NU/ICP/摩擦力/扭矩/溫度……
你盯得多了，它們真的會“給你語言”。

4. 不要怕被罵

被罵說明你負責的那段有人重視。
不被罵……那才危險。

5. 不要怕累

CMP 本來就是靠經驗吃飯，
你現在累，是在給未來的自己打地基。

七、寫在結尾：CMP 人有一種特別的底色

CMP PE 的心聲，可以這樣概括：

“我知道我的工作沒人完全懂，但我清楚地知道它的重要。”

“我解決的問題不一定有人感激，但穩定背后都有我在撐著。”

“我不只是拋光 wafer，我是在替整個產品線掃掉風險。”

如果你正在這條路上累得夠嗆、被數據折磨得想摔鍵盤、被機臺搞到想辭職——
記住：

CMP 讓你變強，不是一天、兩天，而是在每一次你不想堅持、卻還是堅持的時候。

如果有一天你終于成長成那個別人都愿意請教的 “CMP 大佬”，
你會回頭發現：

你走過的每一批 wafer 都在幫你鋪路。

CMP 不容易。
PE 不容易。
但堅持下來的人，都會閃閃發光。

——寫給所有在拋光間里揮汗的你。