半導(dǎo)體零部件“隱形冠軍”進(jìn)京：諾華資本加持，目標(biāo)產(chǎn)值直指5億

21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道記者 彭新

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈加速成長(zhǎng)。

近日，半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件企業(yè)上海車儀田科技有限公司（下稱“車儀田”）宣布在北京亦莊啟用新生產(chǎn)基地，新工廠坐落于星海產(chǎn)業(yè)園，占地近10000平方米，規(guī)劃建設(shè)16條加熱帶自動(dòng)化生產(chǎn)線，計(jì)劃產(chǎn)值目標(biāo)5億元。

作為半導(dǎo)體設(shè)備零部件供應(yīng)商，車儀田正通過(guò)產(chǎn)能擴(kuò)張與產(chǎn)業(yè)鏈整合，在半導(dǎo)體加熱與溫控部件領(lǐng)域加速推進(jìn)國(guó)產(chǎn)化，截至2025年底，車儀田年?duì)I收突破1億元，部分產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率超過(guò)20%。隨著北京亦莊工廠投產(chǎn)，公司創(chuàng)始人兼CEO張黎明稱，公司正從單一“技術(shù)引領(lǐng)”轉(zhuǎn)向“規(guī)模交付”階段。

“黑馬”車儀田

車儀田成立于2022年，產(chǎn)業(yè)背景深厚。據(jù)記者了解，其天使輪投資方諾華資本是由北方華創(chuàng)等發(fā)起的產(chǎn)業(yè)基金。此外，車儀田投資方還包括臨港數(shù)科、臨港科投、江豐同創(chuàng)普潤(rùn)基金、長(zhǎng)江國(guó)泓、江蘇神通等。

車儀田身處的半導(dǎo)體設(shè)備零部件賽道，下游為半導(dǎo)體設(shè)備、晶圓代工廠商。從市場(chǎng)層面來(lái)看，車儀田的發(fā)展，正值全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)處于地緣政治形勢(shì)變化下的重塑階段，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的“鏈主”企業(yè)，開(kāi)始培育并積極尋找本土零部件供應(yīng)商，以確保供應(yīng)鏈的安全。

據(jù)車儀田方面介紹，公司起步于等離子體光譜分析（OES）技術(shù)，率先推出填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白的終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)、氣體分析儀等解決方案，累計(jì)出貨突破5000臺(tái)，國(guó)內(nèi)市占率達(dá)到20%。

2024年，北京車儀田成立，開(kāi)拓半導(dǎo)體加熱帶業(yè)務(wù)。在半導(dǎo)體設(shè)備中，加熱帶（或加熱套）通常包覆在半導(dǎo)體設(shè)備管道或真空腔體外部，當(dāng)制程節(jié)點(diǎn)推進(jìn)至更先進(jìn)制程時(shí)，設(shè)備對(duì)環(huán)境潔凈度的要求極其苛刻，在高溫下，普通材料可能會(huì)因?yàn)闊峤到狻⒛Σ粱蚶匣a(chǎn)生微小的粉塵或顆粒，影響半導(dǎo)體生產(chǎn)良率。

據(jù)介紹，目前車儀田加熱帶產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)200攝氏度持續(xù)使用下零顆粒釋放，打破了海外品牌在細(xì)分領(lǐng)域的技術(shù)與市場(chǎng)壁壘，技術(shù)指標(biāo)已接近或在特定環(huán)境下超越海外同類產(chǎn)品。

記者在車儀田亦莊工廠產(chǎn)線現(xiàn)場(chǎng)看到，其半導(dǎo)體加熱帶采用流水線方式生產(chǎn)。據(jù)車儀田技術(shù)人員介紹，由于下游半導(dǎo)體部件多為非標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品，配套加熱帶在工藝和尺寸上差異較大，難以實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化生產(chǎn)，目前仍需要經(jīng)驗(yàn)豐富的工人參與制作。

2025年，車儀田收購(gòu)上海近碩，整合真空閥門業(yè)務(wù)。對(duì)此，張黎明告訴記者，此次并購(gòu)主要基于客戶對(duì)供應(yīng)鏈整合的迫切需求以及順應(yīng)行業(yè)發(fā)展趨勢(shì) 。

“半導(dǎo)體設(shè)備涉及上千個(gè)零部件，廠商傾向于減少供應(yīng)商數(shù)量，將訂單集中到少數(shù)幾家具備平臺(tái)化能力的供應(yīng)商手中，以降低維護(hù)成本并統(tǒng)一品質(zhì)管控，”張黎明說(shuō)，他進(jìn)一步稱，車儀田的整合策略主要圍繞在線測(cè)控類零部件展開(kāi)，這類產(chǎn)品通常集成了復(fù)雜軟件算法，正是公司的優(yōu)勢(shì)所在。他介紹，通過(guò)在品質(zhì)管控和技術(shù)儲(chǔ)備上的長(zhǎng)期深耕，車儀田已為外部整合奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，未來(lái)將繼續(xù)沿著這一思路不斷完善其產(chǎn)品生態(tài) 。

目前，車儀田已構(gòu)建起包括等離子體光譜分析、氣體/液體濃度分析、高精度溫度測(cè)量及控制、半導(dǎo)體用包覆式加熱裝置、真空閥組及閥門在內(nèi)的五大產(chǎn)品矩陣。其業(yè)務(wù)范圍覆蓋集成電路、光伏電池、先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域。

進(jìn)京建廠，優(yōu)勢(shì)何在？

亦莊是北方華創(chuàng)、中芯京城等半導(dǎo)體龍頭集聚地。車儀田將制造重心布局北京，與亦莊形成的半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)集群效應(yīng)密切相關(guān)。

張黎明在接受記者采訪中指出，亦莊區(qū)域內(nèi)集中了以北方華創(chuàng)等為龍頭的設(shè)備廠商以及中芯國(guó)際等晶圓廠，地理集中度高。車儀田在亦莊產(chǎn)線落地后，其維修與售后服務(wù)的響應(yīng)速度將顯著提升。

針對(duì)北京人力成本較高的挑戰(zhàn)，車儀田北京工廠通過(guò)引入半自動(dòng)化及全自動(dòng)化生產(chǎn)線，已將人效提升約1.5倍，并大幅強(qiáng)化了產(chǎn)品的品質(zhì)一致性 。

目前，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體零部件市場(chǎng)正從低端卷價(jià)格的“1.0時(shí)代”轉(zhuǎn)向承接高端業(yè)務(wù)、提供定制化服務(wù)的“2.0時(shí)代” 。

車儀田北京CEO倪志松認(rèn)為，產(chǎn)品研發(fā)向上提升必須圍繞客戶需求，將現(xiàn)場(chǎng)端實(shí)際要求轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品，這種深度服務(wù)能力被視為國(guó)產(chǎn)零部件企業(yè)與缺乏本地售后的海外巨頭競(jìng)爭(zhēng)的關(guān)鍵 。

此外，北京新工廠也將作為車儀田上海產(chǎn)品的“橋頭堡”，為后者提供有力支撐，無(wú)論是售前、售中還是售后，新工廠在北京將實(shí)現(xiàn)更快速響應(yīng)。