2023年夏天,荷蘭那邊出了新規定,說從9月1日起,高端的光刻機不能賣給中國了,具體指的是ASML的NXT:2000i和更高級的型號都不行,但像1980Di、1970i這樣的中端設備,還有老款的干式DUV還能繼續賣,這些機器雖然做不了5nm芯片,處理45nm以上的制程沒問題,而且中國自己已經能造這類光刻機了,美國其實也知道,限制這些設備基本起不了作用。
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消息公布后,中國企業馬上行動起來,6月30日政策發布,9月1日正式實施,中間只有兩個月準備時間,大家忙著簽合同、催發貨,后來海關數據顯示,2023年中國大陸進口的光刻機數量超過2022年全年,ASML對中國的銷售額占比從14%上升到41%,
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中國成了它全球最大市場,到了8月底,華為突然推出Mate 60系列,其中搭載的芯片被外界推測是采用7納米工藝制造的,用的不是EUV設備,而是DUV配合多重曝光技術,這讓很多人意識到原來用DUV也能實現這樣的制程水平。
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很多人都覺得,沒有EUV機器就造不出先進芯片,美國人也這么想,他們認定多重圖案化技術成本太高良率又差,中國人肯定搞不定,可中國企業一邊買ASML的DUV光刻機,一邊下單美國應用材料的薄膜沉積設備和泛林公司的刻蝕機,整條生產線都是用美國設備搭起來的,
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有業內人士透露國內企業手里囤積了有800多臺光刻機,其中一半是國產機或DUV機型,結果到2023年底7納米芯片真的做出來了,還裝進手機里上市銷售,技術封鎖這堵墻就這么被繞過去了。
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到了2024年9月6日,荷蘭又出招了,這次更厲害,他們把1980i和1970i也給禁了,而且只針對那些有FinFET生產線的工廠,規定從發布當天就開始執行,沒給一點緩沖時間,很多訂單直接作廢,已經在路上運輸的設備被攔下來退了回去,
美國在背后推了一把,想徹底堵死最后一條路,好在中國早有準備,之前搶購的那些DUV設備經過不斷維護和改進工藝,已經可以獨立支持量產,國家給了補貼,本土團隊也有維修能力,讓這些老設備一直能正常運轉。
有意思的是,美國對技術的錯誤認知,美國原本想卡中國的脖子,結果卻幫中國把設備都配齊了,應用材料和科磊這些公司賺得特別多,訂單一個接一個,中國用他們的設備做出芯片后,又反過來逼他們繼續供貨,制裁越嚴格,買賣反而越紅火,
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荷蘭夾在中間最難受,政府要聽美國的,企業又想賺錢,兩邊拉扯不清,ASML的高層私下抱怨過好幾次,現在回頭看,2023年搶下的那些光刻機,就像一場無聲的預備戰,沒人喊口號,但每臺機器都在默默運轉。
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有些設備看著舊,可只要有人會用、敢改、愿意試,它就能干活,技術不是單靠買新機器堆出來的,有時候是靠一堆還能用的設備,一點一點磨出來,現在廠子里那些DUV,已經跑了三年多,零件換了幾輪,軟件打過補丁,連操作員都養成自己的習慣動作,它們沒名字,不顯眼,但確實撐起了一個新階段。
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2026年初,行業里傳出一個說法,中國晶圓廠的DUV產線平均利用率比某些用EUV的還高,這不是因為技術先進,而是因為沒有退路,必須高效運轉,只能把現有設備用到極致,
一臺光刻機每天運行22小時,工程師們輪流監控參數,連清洗液的配方都調整了十幾遍,這種土辦法反而練出了扎實的本事。
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