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      美論壇:沒有得到美國的允許,中國為何敢私自研發DUV光刻板?

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      最近美國論壇上吵翻了天。

      一群美國人滿臉疑惑,覺得中國太“大膽”,沒經過美國允許就敢私自研發DUV光刻板。

      他們壓根想不通,為啥中國不乖乖聽話,非要自己搞這種“高精尖”設備。



      其實這事兒說起來一點不復雜。

      不是中國故意對著干,而是現實逼得不得不干。

      更是中國作為主權國家的正當權利。



      美國瘋狂卡脖子

      DUV光刻板是制造芯片的關鍵部件。

      手機、電腦、汽車里的芯片,大多得靠它來生產。

      中國是全球最大的芯片消費國,對DUV相關設備的需求一直特別大。



      以前中國企業還能從荷蘭ASML公司進口DUV光刻機。

      巔峰時期中國市場占了ASML全球營收的40%,進口的DUV光刻機超120臺。

      可美國早就看不得中國順暢發展,一步步收緊封鎖。



      2022年美國出臺新規,把高端DUV光刻機納入出口管制,審批周期硬生生拉長到18個月。

      到了2023年,更是逼著荷蘭禁售大部分浸沒式DUV機型,還威脅制裁相關供應商。

      這還不算完,美國連設備維修備件都限制供應,導致國內部分晶圓廠的老設備壞了修不了,只能閑置。



      美國的心思很明顯,就是想通過封鎖讓中國芯片產業停擺。

      他們覺得只要鎖死高端設備,中國就沒法生產先進芯片,只能一直依賴進口。

      可他們忘了,中國從來不吃“威脅恐嚇”這一套,你越不讓我用,我越要自己造。



      不研發就被拿捏

      中國的制造業規模擺在這。

      從日常的手機電腦,到工業用的機床、汽車電子,每年需要海量芯片。

      2025年國內對DUV光刻機的需求量已經達到280臺。



      光汽車電子領域的芯片需求,每年就以23%的速度增長。

      如果不自主研發DUV光刻板,中國企業就只能被別人卡脖子。

      進口設備價格高不說,還隨時可能被斷供。



      一旦斷供,下游的電子、通信、汽車等眾多產業都會受影響。

      無數企業可能面臨停工,相關崗位也會受波及。

      這不是危言聳聽,而是實實在在的風險。



      更關鍵的是,別人的技術再好,也不會真心分享。

      西方一直覺得中國囤積的DUV光刻機頂多只能生產低端芯片,突破不了先進制程。

      可中國通過技術創新,用多重曝光技術實現了高端芯片生產。



      中芯國際依托儲備的DUV光刻機,采用N+2工藝已經實現7nm芯片穩定量產,良率超過80%。

      這說明DUV技術還有很大潛力。

      中國必須牢牢抓在自己手里。



      中國硬氣有底氣

      中國敢研發DUV光刻板,不是一時沖動。

      而是有實打實的底氣。

      國家早就把集成電路產業當成重點發展領域。



      出臺了專門政策支持關鍵核心技術研發,構建新型舉國體制攻關。

      國家集成電路產業投資基金三期還劃撥300億元專項支持。

      重點投向光源、光學系統等核心模塊。



      企業和科研機構更是全力沖刺。

      上海微電子推出的SSA800系列DUV光刻機,已經實現28nm制程的曝光能力,還通過了中芯國際的驗證。

      核心部件的突破更是讓人振奮。



      杭州雷聲激光的全固態深紫外激光器實現規模化穩定量產,核心性能達到國際領先水平。

      科益虹源的40W級ArF準分子激光光源量產,華卓精科的雙工件臺定位精度達到1.7nm。

      都打破了國外壟斷。



      科研力量和企業的協同作戰更是高效。

      中科院、清華大學等科研機構和企業合作,把光刻膠驗證周期從18個月壓縮到14個月。

      國內晶圓廠也紛紛掌握多曝光技術。



      不僅滿足了國內產業需求,還逐步打破西方壟斷。

      2025年DUV相關設備國產化率已經從2023年的不足5%提升至15%。

      上海微電子的600系列90nm光刻機,占據了國內80%的市場份額。



      中國研發DUV光刻板,從來不需要美國“允許”。

      每個主權國家都有權利發展自己的核心技術,保障本國產業安全。

      美國的封鎖不僅沒攔住中國,反而倒逼中國加快了自主研發的腳步。



      現在的中國,已經在DUV領域走出了自己的路。

      未來還會繼續穩步前進,打破更多技術壟斷。

      信源:



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