中國造不出光刻機？中科大副院長：美國造不出，中國永遠都不可能

2026年4月，某高階設備生產線上，國產EUV原型機正式投用試跑。這臺機器每轉動一個刻度，就能打破一項工藝封鎖，每小時可穩定影印超過250塊晶圓。它的成功試跑，標志著全球光刻領域舊有的單一秩序被徹底打破，中國在高端光刻設備領域實現了關鍵突破。

前幾年，網上流傳一個特別扎心的觀點，出自中科大一位前副院長之口。他說了句啥呢？“美國都造不出光刻機，中國永遠都不可能造出來。”

這話當時一出，基本上等于給很多熱血網友潑了一盆冷水。很多人心里都在打鼓：難道咱們真被“判了死刑”嗎？

這事兒到底是技術真不行，還是這位專家說話太絕對了？今天咱就把這事兒掰開揉碎了聊一聊，看看這幾年到底發生了什么變化。

先說清楚，這位副院長當年為什么會說出這么“絕對”的話。你要回到當時的語境里，他說的其實不是沒有道理。

很多人對光刻機有個誤解，覺得它像一臺打印機，圖紙放進去，“唰”的一下芯片就出來了。大錯特錯。這東西的復雜程度，已經超出了普通工業產品的范疇。

一臺頂級光刻機重達一百八十噸，需要波音747這種級別的貨機來分體運輸，里面集成了十萬多個零部件，來自全球五千多家供應商。

換句話說，荷蘭的ASML雖然牛，但它其實是個頂級“包工頭”。它的機器里，那套能把光線精度控制到頭發絲幾千分之一的鏡頭，得靠德國蔡司花幾十年磨出來；那個提供光源的系統，核心技術在美國手里；那些特殊的化學材料，日本和韓國做得最好。

這就引出了一個很殘酷的現實：即便是科技最牛的美國，如果把它關起門來自己搞，它同樣造不出這種頂級光刻機。因為它也需要德國鏡頭、需要瑞典的軸承。

在這種背景下，朱院長當時的結論就很清晰了：在一個全球化深度耦合的產業里，沒有一個國家能脫離供應鏈單獨造出這個東西。

既然美國都搞不定全產業鏈，那咱們當時技術底子薄、起步晚，想憑一己之力“逆天改命”，在當時的條件下看，確實像天方夜譚。

這種論調在當時其實很有市場，因為那種技術代差帶來的絕望感是實實在在的。咱們得承認，在很長一段時間里，國內的科研人員甚至連高精度的鏡頭鍍膜材料都搞不定，實驗室里的設備和人家工廠里的量產設備差著好幾代。

到了2022年左右，情況就更難了，美國開始搞封鎖，不僅不賣最先進的極紫外光刻機給你，連稍微高端點的深紫外光刻機也要禁運。

那時候很多人覺得，完了，這不僅是“卡脖子”，這是直接把咱們的呼吸機給拔了。但也正是這種封鎖，把咱們最后一點“買辦”的幻想給打掉了。

既然你不賣，那咱們就只能自己從零開始硬啃。這就好比當年造原子彈，蘇聯專家撤走了，咱們反倒炸響了。雖然光刻機比原子彈涉及的產業鏈更廣，但這股子勁兒是相通的。

時間來到2024年和2025年，事情開始有了微妙的變化。最直接的證據就是，國家工信部在2024年9月發布了一個重大技術裝備推廣目錄，里面清清楚楚地列著一種叫“氟化氬光刻機”的設備。

這名字聽著拗口，但懂行的人一看參數就明白了，它的分辨率達到了65納米，套刻精度在8納米左右。懂行的朋友可能知道，這和ASML在2015年左右出貨的某款中端設備水平差不多。

如果你只看這個數字，可能會覺得泄氣，折騰了這么久，才到人家十年前的水平？但賬不能這么算。

更重要的是，中國在2025年還憋了一個“大招”。上海微電子在2025年底交付了首臺28納米節點的深紫外光刻機。注意，這里說的是交付，是實實在在能用的機器。

28納米這個節點特別關鍵，因為全球百分之七十以上的芯片，比如車規級的MCU、物聯網芯片、各種電源管理芯片，都是這個制程。這意味著咱們在最主流的工業市場上，終于不用再看別人臉色了。

而且，不光是成熟制程，高端光刻機領域咱們也沒落下。高端光刻機的核心是極紫外光源，相當于光刻機的“心臟”，長期被國外壟斷。

但2025年，合肥發布了國內首臺極紫外波段物質吸收譜臺式化儀器，這標志著咱們在極紫外光源技術上終于實現了關鍵突破。

更勁爆的是，根據《路透社》的調查，在深圳一個由中央科技委監管的安全設施內，中國的工程師已經成功啟動了一臺極紫外光刻原型機。

這臺機器被外界稱為中國芯片版的“曼哈頓計劃”，由華為作為核心系統整合商，集中了國家力量來攻關。

雖然這臺機器目前還沒造出能上市銷售的芯片，但它的存在本身就說明，美國精心構筑的技術壁壘正在被逐步瓦解。據業內人士預計，國產EUV的量產時間點可能落在2028年到2030年之間。

當然，咱也得實事求是，雖然進步巨大，但差距依然存在。就在咱們原型機啟動的同時，ASML在2026年初已經全面進入了High-NA高數值孔徑的量產時代，能造1.4納米的芯片了。

他們那售價高達3.5億歐元一臺的機器，現在正被英特爾、三星、臺積電瘋搶。從65納米到1.4納米，這中間大概還有十年左右的研發代差。

而且，咱們現在雖然突破了光源和樣機，但在高精度光學鏡頭、系統集成穩定性和良率控制上，跟德國蔡司、荷蘭ASML這種百年老店比起來，還得繼續埋頭苦干。

但最重要的是，現在的心態跟幾年前已經完全不一樣了。以前是“望塵莫及”，現在好歹是“望其項背”了。

以前說造不出來，是因為在全球化的溫床上，誰都不想投入巨資去從零研發；現在之所以能一步步突破，是因為被逼到了絕路上，反而激發了全產業鏈的斗志。

現在的路子走得很對，不盲目去追那最后1%的頂尖技術，而是先把那99%的中端市場吃透，把產業鏈的每一環都打磨成熟。

雖然前路依然充滿荊棘，但在2026年的今天，已經有底氣說一句：中國不僅需要光刻機，中國也正在造出屬于自己的光刻機。

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