如果說芯片是現(xiàn)代社會(huì)的 “心臟”,光刻膠就是給心臟 “雕刻紋路” 的關(guān)鍵涂料——沒有它,再先進(jìn)的光刻機(jī)也只能原地 “躺平”。
而目前全球90%的產(chǎn)能都被日本攥在手里,東京應(yīng)化、JSR 這四家巨頭幾乎壟斷了整個(gè)市場。小到手機(jī)芯片,大到航天軍工。只要日本一斷供,中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)就得面臨 “停工危機(jī)”。
那么,日本憑啥能壟斷幾十年?真要斷供,中國又該怎么破局?
![]()
日本幾十年的“布局”
上世紀(jì) 60 年代,全球半導(dǎo)體行業(yè)還沒摸清門道,多數(shù)國家壓根沒把光刻膠當(dāng)回事,日本東京應(yīng)化已經(jīng)搶先發(fā)力,1968 年就搞出了首款實(shí)用化光刻膠,早早邁出第一步。
到了70、80年代,日本政府直接牽頭搞“VLSI項(xiàng)目”,舉全國之力砸錢研發(fā),把光刻膠當(dāng)成國家戰(zhàn)略來抓,比其他國家早了幾十年起跑。
![]()
更狠的是日本的“生態(tài)綁定”操作,光刻膠不能單獨(dú)用,得和ASML光刻機(jī)、臺積電芯片產(chǎn)線精準(zhǔn)適配。
日本企業(yè)早早就和這些巨頭建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,JSR和ASML聯(lián)手開發(fā)的EUV防護(hù)膜透光率達(dá)92%,東京應(yīng)化跟著臺積電新工藝同步研發(fā)適配產(chǎn)品。
客戶買了設(shè)備就被“建議”搭配日本光刻膠,換供應(yīng)商得重新調(diào)試整條產(chǎn)線,耗時(shí)2-3年還可能停產(chǎn),沒人敢冒這風(fēng)險(xiǎn)。
![]()
到了2000年后,日本又搶先攻克EUV光刻膠技術(shù),JSR2011年就搞出15nm工藝用的產(chǎn)品。
如今全球 70% 的光刻膠專利在日本手里,EUV 領(lǐng)域更是超 90%,光東京應(yīng)化一家就握有 2000 多項(xiàng)相關(guān)專利,筑起密不透風(fēng)的專利墻。
![]()
2023 年,日本政府更直接,通過國家投資公司收購了全球市占率近 30% 的 JSR,相當(dāng)于把光刻膠做成了 “獨(dú)門生意”,全球芯片廠都得看他們臉色。
其他國家不是不想打破壟斷,實(shí)在是門檻高到讓人望而卻步。
![]()
別國為何無法生產(chǎn)
技術(shù)上的硬要求是首要難關(guān)。光刻膠是化學(xué)、物理、材料科學(xué)的跨界融合產(chǎn)物,研發(fā)和生產(chǎn)精度極端苛刻。
高端 EUV 光刻膠需在 13.5 納米極紫外光下精準(zhǔn)感光,還得承受刻蝕、清洗工序不變形,雜質(zhì)控制必須達(dá)到十億分之一以內(nèi) ——相當(dāng)于一萬噸水中僅含一克雜質(zhì)。
![]()
很多國家連 Class 1 級超潔凈生產(chǎn)車間都建不起來,這種車間每立方米空氣中灰塵顆粒不超過 1 顆。
而且從實(shí)驗(yàn)室樣品到量產(chǎn),至少要 10 年,得完成上萬次配方調(diào)整,持續(xù)砸錢試錯(cuò),少一步都不行。
![]()
市場特性進(jìn)一步堵死新玩家。全球光刻膠市場僅 50 億美元,占芯片產(chǎn)業(yè)比例不到 1%,屬于高門檻、低利潤領(lǐng)域。
芯片封裝、半導(dǎo)體設(shè)備制造等行業(yè)賺錢更快,企業(yè)更愿投入,沒人愿意花幾十年深耕這個(gè) “吃力不討好” 的賽道。
更有行業(yè)死循環(huán):新企業(yè)沒量產(chǎn)數(shù)據(jù)就沒客戶,沒客戶就沒法優(yōu)化技術(shù),只能停留在實(shí)驗(yàn)室。
![]()
客戶端的使用慣性更是難破壁壘,芯片廠長期用日本光刻膠,產(chǎn)線已完全適配,更換供應(yīng)商要 2-3 年驗(yàn)證,期間一旦出問題,產(chǎn)線停擺損失動(dòng)輒上億。
哪怕實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品達(dá)標(biāo),也難拿到實(shí)際產(chǎn)線測試機(jī)會(huì),技術(shù)跟不上迭代。
韓國當(dāng)年 80% 光刻膠依賴日本,2019 年斷供后,三星 3nm 芯片良率暴跌至 10%-20%,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)營收下滑 15%,慘痛教訓(xùn)讓各國不敢輕易嘗試。
![]()
中國硬核破局
面對日本的壟斷,中國沒坐以待斃,而是從國家到企業(yè)擰成一股繩,全方位突圍。
國家層面直接亮硬招,半導(dǎo)體 “02 專項(xiàng)” 將光刻膠列為重點(diǎn)攻堅(jiān)項(xiàng)目,砸下 20 多億元專項(xiàng)基金支持核心技術(shù)研發(fā)和生產(chǎn)線建設(shè),還為研發(fā)企業(yè)提供所得稅減免、設(shè)備購置補(bǔ)貼,讓企業(yè)敢投錢啃硬骨頭,沒后顧之憂。
![]()
企業(yè)端死磕技術(shù)不松勁,武漢太紫微光電的 T150 A 光刻膠已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),不僅通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證,配方還做到全自主設(shè)計(jì),給國內(nèi)光刻膠制造打開新局面;
南大光電建成國內(nèi)首條 EUV 光刻膠中試線,寧波基地產(chǎn)能滿負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn),預(yù)計(jì) 2026 年完成客戶導(dǎo)入;上海新陽的 KrF 光刻膠通過中芯國際認(rèn)證,2024 年銷量暴漲 180%,持續(xù)批量供貨。
![]()
如今國產(chǎn)光刻膠市場份額從 2020 年的 15% 漲到 2025 年的 32%,年底有望沖 40%,中低端芯片用膠基本能自給。
產(chǎn)學(xué)研聯(lián)手加速破局,北京大學(xué)和南大光電合作攻克 EUV 光刻膠核心技術(shù),清華大學(xué)研發(fā)的聚碲氧烷材料通過 3 納米線寬驗(yàn)證,為高端產(chǎn)品突破鋪路。
咱們還在補(bǔ)全產(chǎn)業(yè)鏈短板,從樹脂、光引發(fā)劑到超潔凈生產(chǎn)設(shè)備,全力推進(jìn)國產(chǎn)化,避免單一環(huán)節(jié)被卡脖子。
![]()
國內(nèi)晶圓廠也主動(dòng)力挺國貨,中芯國際、長江存儲(chǔ)專門開辟測試產(chǎn)線,哪怕國產(chǎn)膠初期良率比進(jìn)口貨低一點(diǎn),也愿意陪著企業(yè)調(diào)整優(yōu)化,用實(shí)際場景打磨產(chǎn)品。
國際合作也沒落下,中國企業(yè)和歐洲、韓國企業(yè)聯(lián)手,通過技術(shù)交流繞開部分日本專利壁壘,為國產(chǎn)替代爭取時(shí)間。
![]()
當(dāng)然,破局不是一蹴而就的,日本幾十年的技術(shù)積累,中國想全面超越還需要時(shí)間。
相信隨著政策支持、企業(yè)發(fā)力、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同,用不了幾年,中國就能在光刻膠領(lǐng)域撕開日本的壟斷缺口,徹底擺脫斷供焦慮。
畢竟,中國人最擅長的,就是把別人卡脖子的 “硬骨頭”,變成自己的 “敲門磚”!
特別聲明:以上內(nèi)容(如有圖片或視頻亦包括在內(nèi))為自媒體平臺“網(wǎng)易號”用戶上傳并發(fā)布,本平臺僅提供信息存儲(chǔ)服務(wù)。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.