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      光刻機巨頭開始慌了,中國造不成光刻機,但是要造一個光刻工廠!

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      這幾年ASML日子越來越不好過了。2023年初,美國一輪接一輪推出口管制,荷蘭政府跟著收緊對華銷售政策,ASML前老板彼得·溫寧克在財報會上就直說,這種管制反而會逼著中國自己搞出東西來。



      這兩年ASML的日子,說好也好,說糟也糟。

      外面看著風光,賬面數據亮得刺眼,仿佛中國市場變成了他們的第二臺“印鈔機”。

      可這份成績單再亮麗,也擋不住現實。

      美國從2019年就開始把脖子卡得越來越緊,目標直指先進光刻設備,后來干脆把荷蘭拖進陣線,一層層加碼限制。



      按常理講,ASML應該在中國的業務大幅縮水,可事實卻反著來。

      2023年中國給它貢獻了近一半的營收,占比從15%狂飆到46%,到了2024年甚至依舊維持高位。

      從外面看像是買瘋了,可背后的邏輯很簡單:買得越狠,說明窗口越快關。

      中國這邊心里門兒清,只要限制沒完全落地,能買一點是一點,特別是DUV浸潤式光刻機,那可是能頂住我們整個成熟工藝帶的東西。



      先進制程雖然短期摸不到,但成熟制程如今才是汽車、光伏、電力設備、機器人這些行業的主力芯片。

      能囤一臺,是一臺;能付錢,就下手。

      這種“趁封鎖徹底落下前猛搶”的態勢,把ASML推到了虛高的繁榮里。

      但ASML高層一點都不輕松,前CEO溫寧克在任上就說過,政治力量伸得太長,會逼中國這位大客戶自己造競爭對手。



      新CEO富凱上臺后面對的局面更尷尬,數據好到嚇人,但他清楚這都是“透支未來”的業務。

      因為隨著美國不斷升級限制,荷蘭政府從2023年起把NXT:2000i以上的型號劃入許可證范圍,2024年又把2050i、2100i這些主力型號禁了。

      到了2025年,本來以為能幸存的1970i、1980i也要被嚴查。

      ASML內部預測中國業務會迅速掉回20%,甚至有可能再往下探。



      更麻煩的是“服務和維修”這一條命脈,中國已經裝機幾千臺,一旦服務也受限,那這些幾千萬一臺的設備未來連換個密封件都成問題,那不僅是買不到新機的問題,而是徹底被趕出一個國家的供應鏈。

      ASML當然不愿意走到那一步,但美方壓力又逼他們得時刻劃紅線,這也是他們現在最怕觸碰的雷。



      這么看,ASML的繁榮不是興旺,是透支。不是成長,是倒計時。

      短期賬面漂亮,但長期的危險正在往它腳下堆。

      越是賣得多,越說明在替別人補缺口,越是限制多,越讓中國堅定“自己干”的決心。



      既然買的路遲早被堵死,中國工程師們自然不會傻站著等裁決。

      EUV光刻機沒法買,逆向又像拆核潛艇一樣復雜,那怎么辦?

      方法不是沒有,把難點換個角度思考,反而走出了條別人沒想過的路子。

      ASML的核心護城河不是整機本身,而是EUV光源。



      一個小小機箱里塞進幾十千瓦的等離子體光源,那是三十多年技術積累的結果,全世界只有ASML、蔡司、一批頂級材料公司拼起來才做得到。

      想要靠國內產業鏈短時間復制這種“小型化光源”,那難度堪比登天。

      于是我們的工程師干脆繞過去,你小型化難,那我就不小型化。我不在一臺機器里塞光源,我給你建一座“光源工廠”。



      這就是清華主導的SSMB(穩態微聚束)路線:把EUV光源做成像發電站一樣的大型基礎設施,用一條長達一公里的粒子加速環來產光,功率能做到千瓦級,比ASML最先進的EUV機還強四倍以上。

      清華2017年提出原理,2021年與德國團隊用實驗數據登上《Nature》,2022年進入工程化預研,2023年起國家層面推進選址,雄安等地開始評估建設可行性。



      業內普遍把它稱為“改變規則”的路線,不是在和ASML比機器性能,而是跳出它定義的領域,搞成基礎設施級工業工程。

      “光刻工廠”的意義不僅是另條技術路徑,更像是把芯片產業的高度從“精密設備”拉到“中國最擅長的重工業”。

      如果光源能像電一樣按需輸送,一座工廠能同時喂幾十臺光刻工作站,那么我們就能在EUV缺席的情況下跑出自己的高端光刻體系。



      這種路線的價值,在于不用糾纏于那些被西方死死保護著的微觀領域,而是把問題放到宏觀工程里解決。

      而“宏觀工程”三個字,本身就是中國在全球最擅長、最穩定的底層能力。

      不過,光刻工廠的故事是中長期打法,短期的飯還得吃。

      傳統DUV不能斷,材料、光源、控制系統缺了都不行。



      所以產業鏈另一頭在快速補洞,SMEE的28nm機已經到了試產前夕,國產光刻膠在向高端爬,KrF覆蓋7nm工藝,清華的新型EUV光刻膠突破靈敏度瓶頸,恒坤、南大光電這些企業加速擴線。

      整體看就是一句話:能補什么補什么,能做一塊是一塊。



      現在整個局面很明確,西方在賭封鎖,中國在賭突破。

      這不是一家公司、一套設備的競爭,而是一條超級產業鏈的兵對兵、將對將。

      封鎖越狠,中國越是把資源往里壓。

      大基金三期一次性砸了288億給材料端,各省加大投入,蘇州、上海、無錫、合肥、杭州等地,大大小小兩千多家企業在拼命補位。



      國內現在的打法就是“全鏈條一起拉”,缺哪塊補哪塊,不給對方留下空

      除了主流路線,也有人在走偏鋒突破。

      電子束直寫設備在浙江那邊已經能做8nm級別的小批量研發芯片,雖然不能上大規模量產,但在科研、專用芯片領域已經是一條支線。

      杭州一些裝備企業搞的納米壓印,也有突破窗口。

      你做不出EUV,我就做能滿足部分需求的平行路線,只要能撕開一道口子,就是勝利。



      這給西方造成了很大的心理壓力,富凱嘴上說“中國落后10到15年”,可他也知道,芯片產業不是只看2nm、3nm這么簡單。

      汽車、電力、工業控制、風電、光伏、新能源車這些行業需要的不是2nm,而是28nm、45nm、65nm這些成熟工藝。

      中國要的不是一顆最強的芯片,而是穩定、完整、能撐起制造業底盤的全體系。



      成熟制程越穩定,產業越穩;產業越穩,美國制裁效果越弱。

      ASML最怕的不是“少賣幾臺機器”,而是中國把缺口補上之后,整個產業鏈形成自主循環。

      它也怕“光刻工廠”跑通,把ASML幾十年的專利體系一腳踢開。

      它更怕SMEE的28nm機量產后,中國開始自己往20nm、14nm方向迭代。

      它最怕的,是中國從設備、材料、工藝、光源一路打通,形成自己的規則。



      芯片之爭,說到底不是設備之爭,而是產業能力之爭。

      美國賭我們扛不住封鎖,我們賭自己能靠全社會的力量把產業鏈拼出來。

      看著現在這種多路并進、科研團隊和企業一起往前沖的勁頭,未來格局會怎么變已經越來越明朗。只要這條鏈條一旦咬合成功,全球半導體的秩序就會跟著改變。



      畢竟,從修飛機到造高鐵,從火箭到電動車,從水電站到超大工程,中國最擅長的一直是“把不可能變成工程”。

      而當芯片制造被推回工程領域時,這場比賽誰更有優勢,就已經不難判斷了。



      阿斯麥CEO:遏制中國可能產生意想不到的后果——環球時報



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