光刻機(jī)巨頭開始慌了，中國(guó)造不成光刻機(jī)，但是要造一個(gè)光刻工廠

作品聲明：內(nèi)容取材于網(wǎng)絡(luò)

前言

東京的財(cái)經(jīng)新聞編輯部里，日媒記者盯著剛出爐的行業(yè)數(shù)據(jù)敲擊鍵盤，標(biāo)題里“中國(guó)光刻機(jī)將成全球第三極”的字眼格外醒目。

另一邊，荷蘭海牙的政府辦公樓內(nèi)，一份針對(duì)ASML對(duì)華出口的新規(guī)正加急印制，字里行間都是對(duì)DUV光刻機(jī)的限制條款。

這兩件事前后相隔不過(guò)72小時(shí)，很難讓人不將其聯(lián)系起來(lái)。

有人說(shuō)這是荷蘭對(duì)中國(guó)技術(shù)突破的應(yīng)激反應(yīng)，也有人覺得是全球半導(dǎo)體格局洗牌的信號(hào)。

要弄明白這場(chǎng)暗戰(zhàn)的核心，得先看清中國(guó)光刻機(jī)究竟走到了哪一步，又為何能讓壟斷全球市場(chǎng)的荷蘭巨頭坐立難安。

光刻機(jī)背后的大國(guó)博弈

2025年的半導(dǎo)體市場(chǎng)，注定不平靜，荷蘭政府11月發(fā)布的通知像一顆深水炸彈：從2026年起，ASML向中國(guó)出口的DUV光刻機(jī)，不僅要把7納米的限制線收緊到14納米，審批周期還從30天延長(zhǎng)至90天。

消息一出，ASML的股價(jià)當(dāng)天就跌了8.2%，投資者用腳投票的背后，是中國(guó)市場(chǎng)的分量，2024年，中國(guó)為ASML貢獻(xiàn)了28%的營(yíng)收，其中DUV設(shè)備占比接近九成。

這場(chǎng)限制的背后，美國(guó)的影子清晰可見。

ASML的設(shè)備里，超過(guò)一半的零件來(lái)自美國(guó)供應(yīng)商，華盛頓一聲令下，荷蘭只能乖乖跟進(jìn)。

從2019年禁止EUV光刻機(jī)對(duì)華出口，到2025年把DUV也納入嚴(yán)格管制，美國(guó)的意圖很明確：卡住中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的“脖子”。

但中國(guó)的反擊來(lái)得又快又準(zhǔn)，就在荷蘭新規(guī)發(fā)布次日，中國(guó)宣布對(duì)稀土出口加強(qiáng)管制，只要光刻機(jī)中含0.1%的中國(guó)稀土，就必須獲得出口許可。

這招直接打在ASML的軟肋上，每臺(tái)光刻機(jī)要消耗10多公斤稀土，這些材料占電機(jī)成本的30%，連關(guān)鍵鏡頭的制造都離不開。

ASML的應(yīng)對(duì)透著慌亂，蘇州的服務(wù)中心突然擴(kuò)招技術(shù)員，用囤積的備件把設(shè)備維修周期從原來(lái)的45天壓縮到15天，還緊急推出合規(guī)版NX2000設(shè)備，試圖保住中國(guó)市場(chǎng)的7納米產(chǎn)能。

這種“一邊限制一邊維穩(wěn)”的矛盾姿態(tài)，恰恰暴露了荷蘭巨頭的忌憚。

很多人覺得，造不出EUV光刻機(jī)就不算真突破，這種想法其實(shí)走進(jìn)了誤區(qū)。

智能汽車的車載芯片、5G基站的信號(hào)芯片、家里的智能冰箱控制芯片，這些與日常生活息息相關(guān)的產(chǎn)品，根本用不上7納米以下的尖端制程，20納米左右的成熟芯片才是市場(chǎng)剛需。

中國(guó)沒有死磕EUV，而是把力氣用在了刀刃上。

中國(guó)光刻機(jī)的破局之路

上海微電子的車間里，28納米光刻機(jī)的良率已經(jīng)穩(wěn)定在91%，技術(shù)員輕點(diǎn)屏幕，硅片上的電路圖案清晰可見。

這款設(shè)備的價(jià)格只有ASML同類產(chǎn)品的三分之一，剛量產(chǎn)就接到了中芯國(guó)際的批量訂單。

更讓人振奮的是，11月底上海芯上微裝的首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)正式發(fā)運(yùn)，專為功率半導(dǎo)體量身定制，正面套刻精度達(dá)到80nm，完全滿足化合物半導(dǎo)體的工藝要求。

在成熟制程站穩(wěn)腳跟的同時(shí)，中國(guó)也在悄悄布局高端領(lǐng)域。

清華團(tuán)隊(duì)牽頭的光刻工廠項(xiàng)目已經(jīng)進(jìn)入試產(chǎn)期，這個(gè)不走尋常路的項(xiàng)目沒有復(fù)制ASML的設(shè)備模式，而是用同步輻射裝置當(dāng)中央光源，搭配一公里長(zhǎng)的加速器支撐多條生產(chǎn)線，繞開了EUV的技術(shù)壟斷。

2025年8月，工廠已經(jīng)實(shí)現(xiàn)3納米制程的試產(chǎn)出貨，這種“建工廠而非造單機(jī)”的思路，讓ASML高層緊急召開了三次戰(zhàn)略會(huì)議。

產(chǎn)業(yè)鏈的補(bǔ)全讓突破更有底氣。

恒坤新材募資15億擴(kuò)建的光刻膠生產(chǎn)線，2025年底就能投產(chǎn)，其研發(fā)的KrF光刻膠已經(jīng)能覆蓋7納米制程。

國(guó)家大基金三期3440億元的資金中，有288億專門投向光刻材料領(lǐng)域，江豐電子、南大光電等企業(yè)在靶材、電子特氣等環(huán)節(jié)的突破，正在打通國(guó)產(chǎn)替代的最后一公里。

現(xiàn)在的中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，已經(jīng)不是單點(diǎn)突破，而是全鏈條協(xié)同發(fā)力。

這些成果不是突然爆發(fā)的，上世紀(jì)五十年代，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)剛起步，1958年拉出第一根硅單晶，1960年造出首批鍺晶體管，一步步打下基礎(chǔ)。

九十年代技術(shù)落后國(guó)際十年，2000年后政策扶持加碼，直到2020年管制升級(jí)倒逼自主創(chuàng)新，才有了今天的厚積薄發(fā)。

外媒說(shuō)中國(guó)在成熟芯片市場(chǎng)占比近三分之一，這背后是幾十年的堅(jiān)持與沉淀。

日媒的關(guān)注、荷蘭的限制，本質(zhì)上都是對(duì)中國(guó)技術(shù)進(jìn)步的認(rèn)可。

ASML的CEO在內(nèi)部會(huì)議上承認(rèn)，中國(guó)芯片技術(shù)雖然還落后西方15年，但發(fā)展速度遠(yuǎn)超預(yù)期。

當(dāng)浙江團(tuán)隊(duì)的電子束光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)8納米線寬，當(dāng)北方華創(chuàng)的刻蝕機(jī)進(jìn)入5納米產(chǎn)線，當(dāng)中國(guó)的光刻膠、冷卻部件不再依賴進(jìn)口，所謂的技術(shù)封鎖已經(jīng)變成了自主創(chuàng)新的催化劑。

歷史總是驚人地相似。當(dāng)年西方國(guó)家封鎖“兩彈一星”技術(shù)，我們自己造出了原子彈、發(fā)射了人造衛(wèi)星。

后來(lái)限制北斗導(dǎo)航的芯片，我們建成了全球組網(wǎng)的導(dǎo)航系統(tǒng)。半導(dǎo)體領(lǐng)域的封鎖，不過(guò)是又一次歷史考驗(yàn)。

結(jié)語(yǔ)

荷蘭的新規(guī)或許能延緩一時(shí)，但擋不住中國(guó)產(chǎn)業(yè)升級(jí)的浪潮。

當(dāng)3440億的大基金為研發(fā)輸血，當(dāng)無(wú)數(shù)工程師在車間和實(shí)驗(yàn)室里日夜攻關(guān)，當(dāng)市場(chǎng)需求為技術(shù)突破提供方向，自主可控的半導(dǎo)體生態(tài)就一定能建成。

日媒的評(píng)價(jià)也好，荷蘭的通知也罷，都只是這場(chǎng)產(chǎn)業(yè)變革中的注腳。

中國(guó)發(fā)展從來(lái)不是說(shuō)擋就能擋住的，這既是歷史的結(jié)論，更是未來(lái)的底氣。