潔凈廠房微振動控制技術要點與實施策略

微振控制是保障精密設備穩(wěn)定運行、提升產(chǎn)品生產(chǎn)精度與質量的核心技術環(huán)節(jié)。在高精度生產(chǎn)環(huán)境建設中，需從源頭開展系統(tǒng)化微振管控，形成從前期規(guī)劃、結構設計到設備隔振、驗收檢測的全流程解決方案。

潔凈廠房的微振控制工作需貫穿設計、施工、投產(chǎn)運行全過程，重點圍繞建筑結構、動力設備、精密儀器三大核心對象，開展專項隔振設計與振動測試驗證，構建完整的微振控制體系。

一、容許振動值控制要求

1.結合精密儀器與設備的自身運行特性，制定并落實綜合隔振方案，確保實際振動水平滿足規(guī)定的容許振動值指標。

2.精密設備與儀器的容許振動值，可采用振動加速度、振動速度、振動位移等物理量，在時域或頻域內(nèi)進行量化表達。

3.精密設備容許振動值優(yōu)先由設備制造商提供；若無法明確，可參照相關規(guī)范附錄或結合設備工作特性綜合確定。

二、微振動控制設計要點

1. 分階段振動測試與分析

微振控制設計需分階段實施測試與評估，主要包括：

場地原始環(huán)境振動測試與分析

廠房建筑結構振動特性測試與分析

精密設備安裝點位環(huán)境振動測試與分析

微振控制措施實施后最終效果測試與分析

2. 建筑結構設計要求

結構基礎應坐落在動力性能優(yōu)良的地基土體上，并具備足夠的結構剛度。

微振控制專用結構體系宜獨立設置，與主體建筑結構采取有效分隔措施。

梁、柱、墻體及基礎等關鍵結構構件截面應適當加強，滿足低振動控制要求。

3. 主動隔振措施

對高振動動力設備及配套管道，配置隔振臺座及剛度匹配的隔振器。

潔凈室區(qū)域內(nèi)的管道系統(tǒng)，采用隔振支架、柔性接頭等減振降噪構造。

4. 被動隔振措施

隔振平臺應具備足夠剛度，配套選用低剛度高效隔振裝置。

隔振系統(tǒng)各方向阻尼比不宜小于 0.15，并進行水平與傾斜校正。

隔振設施布置不得干擾潔凈室內(nèi)正常氣流組織與流型。

空氣彈簧類隔振器的供氣系統(tǒng)需經(jīng)過凈化處理，滿足潔凈室空氣潔凈度等級要求。