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      “從0到1 ”:中國集成電路的破曉時刻

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      導(dǎo)讀:


      1964年11月,一塊“比最小的西瓜子還小”的固體電路樣品,在半導(dǎo)體所制成,它集成了6只晶體管、7個電阻和6個電容,這就是我國的第一塊集成電路。和“兩彈一星”工程一樣,時隔40余年后,王守武、王守覺等人才被公眾所知。他們數(shù)十年來隱姓埋名,研制出我國硅平面晶體管和集成電路,使得國產(chǎn)電子計算機采用集成電路的時間,僅比國外晚了兩年,“落后就要挨打”的教訓(xùn)。讓一代又一代有志科學(xué)家,穿越戰(zhàn)火、隱姓埋名,他們用行動證明了一件事:只有自力更生才能發(fā)展自己、強大祖國。

      “科學(xué)技術(shù)落后,就要挨打”的道理

      中國科學(xué)家們體會更深——

      王守覺12歲那年,抗日戰(zhàn)爭全面爆發(fā)

      他親眼目睹日本飛機盤旋在頭頂掃射

      沒有飛機、高射炮極度短缺

      我方只能干著急

      “產(chǎn)業(yè)報國、自力更生”的抱負

      從此在他心中萌發(fā)

      1956年,新中國吹響“向科學(xué)進軍”的號角

      “使我國最急需的科學(xué)部門接近世界先進水平”

      發(fā)展半導(dǎo)體技術(shù)

      成為“四大緊急措施”之一

      而那時,我國的相關(guān)基礎(chǔ)幾乎為零

      承擔(dān)“四大緊急措施”具體任務(wù)的中國科學(xué)院

      率先建設(shè)相應(yīng)研究機構(gòu)

      半導(dǎo)體所的前身——半導(dǎo)體研究室

      在應(yīng)用物理研究所(后改為物理研究所)成立

      歸國6年的物理學(xué)博士、

      王守覺的哥哥王守武擔(dān)任室主任


      應(yīng)用物理所半導(dǎo)體研究室一角

      與王守武的選擇一樣

      黃昆、湯定元、洪朝生、謝希德、林蘭英……

      一大批海外科學(xué)家陸續(xù)回國

      他們帶來了我國半導(dǎo)體科技的“原始積累”

      奏響了中國集成電路事業(yè)自力更生的序曲

      同年,31歲的王守覺

      已是一位動手能力出色、視野開闊的工程師

      他也加入半導(dǎo)體研究室

      擔(dān)任半導(dǎo)體高頻晶體管課題組組長


      王守覺在調(diào)試設(shè)備。

      當(dāng)時,國家急需研制晶體管化電子計算機

      ——“109乙機”

      但已有的“鍺合金結(jié)晶體管”性能不足

      王守覺臨危受命

      不到半年時間

      我國第一只鍺合金擴散高頻晶體管

      就在王守覺團隊“出爐”

      為批量生產(chǎn)這類晶體管

      應(yīng)用物理所為此建起“109廠”

      技術(shù)工人少、生產(chǎn)設(shè)備缺乏

      王守覺手把手地教授工藝

      還研制出用于批量生產(chǎn)設(shè)備

      解了燃眉之急

      后來,“109乙機”通過國家鑒定

      成為我國首臺

      “全部采用國產(chǎn)元件的

      大型晶體管通用數(shù)字計算機”

      為我國國防事業(yè)提供了計算工具

      1960年初,國際形勢風(fēng)云突變

      “中蘇交惡”加上“西方禁運”

      我國科技、經(jīng)濟等陷入雙重封鎖和沖擊

      科技人員僅能從公開論文了解前沿進展

      這時,消息傳來

      美國制成“硅平面型晶體管”

      “要立即集中力量投入對硅平面工藝的探索!”

      王守覺果斷舍棄已取得進展的“硅臺面工藝”

      帶領(lǐng)團隊轉(zhuǎn)攻硅平面工藝

      向高性能、小型化的硅器件發(fā)起沖鋒

      彼時,“兩彈一星”工程所需的計算機

      也正在尋找高性能半導(dǎo)體元器件

      王守覺“揭榜掛帥”

      與相關(guān)部門立下“軍令狀”

      勢要啃下這塊“硬骨頭”

      研制硅平面型晶體管

      成了半導(dǎo)體所“一號任務(wù)”

      研究力量得到補強后

      王守覺等人制定“橫縱結(jié)合”方案

      橫向小組主攻工藝問題

      縱向小組主攻器件設(shè)計

      縱橫交叉、密切配合、團結(jié)奮戰(zhàn)

      組織形式頗見成效

      王守武也經(jīng)常深入研究一線

      遇到技術(shù)難關(guān)時

      大家常會看到“大王小王齊上陣”的場面

      這一幕也成為半導(dǎo)體所的“經(jīng)典記憶”


      王守武(左)和王守覺(右),攝于1991年

      清華大學(xué)第一批半導(dǎo)體專業(yè)的高材生吳德馨

      畢業(yè)后跟隨王守覺從事高速開關(guān)晶體管研制

      她回憶當(dāng)年:

      “我們一無資料,二無圖紙

      實驗設(shè)備也是一窮二白

      國家物質(zhì)供應(yīng)極度匱乏

      但人們的精神卻非常充實”

      參加光刻膠研究的姜文莆回憶說:

      國外早有光刻膠技術(shù),但根本不公開

      團隊?wèi){借國外文獻的蛛絲馬跡

      硬是給試了出來

      有了光刻膠,還要研制光刻機

      王守覺等人因陋就簡

      巧妙地用兩臺顯微鏡和一個紫外曝光燈

      搭建了一臺“土光刻機”

      1963年底

      首批“超小型硅平面高速開關(guān)管”

      和“高頻晶體管”樣管研制成功

      體積只有火柴頭大小

      加以改進后“小如芝麻”

      俗稱“芝麻管”

      自此,中國有了自己的硅平面工藝晶體管


      半導(dǎo)體室早期研制的硅平面晶體管(芝麻管,左一),右一為普通電子管

      硅平面晶體管的成功

      振奮了國內(nèi)產(chǎn)業(yè)界

      硅產(chǎn)業(yè)如雨后春筍般涌現(xiàn)出來

      材料和設(shè)備制造業(yè)隨之興起

      還記得那份“軍令狀”嗎?

      1964年4月

      半導(dǎo)體所5款硅平面器件順利通過驗收

      三年后

      109廠完成了“109丙機”

      所有硅晶體管的生產(chǎn)任務(wù)

      后者正是“兩彈一星”任務(wù)“功勛計算機”


      1967年“109丙機”研制成功。

      時任中國科學(xué)院黨組書記張勁夫

      寫下《請歷史記住他們》的文章:

      “第二代計算機出來了,晶體管的,

      科學(xué)院半導(dǎo)體所搞的,

      每秒數(shù)十萬次,為氫彈的研制作了貢獻”


      《科學(xué)時報》頭版刊登《請歷史記住他們》,王守覺照片在列

      硅平面晶體管技術(shù)突破后

      集成電路只差“臨門一腳”

      美國人捷足先登

      國內(nèi)也很快掀起研究熱潮

      1964年11月

      一塊“比最小的西瓜子還小”的固體電路樣品

      在半導(dǎo)體所制成

      它集成了6只晶體管、7個電阻和6個電容

      這就是我國的第一塊集成電路

      和“兩彈一星”工程一樣

      時隔40余年后

      王守武、王守覺等人才被公眾所知

      他們數(shù)十年來隱姓埋名

      研制出我國硅平面晶體管和集成電路

      使得國產(chǎn)電子計算機采用集成電路的時間

      僅比國外晚了兩年

      “落后就要挨打”的教訓(xùn)

      讓一代又一代有志科學(xué)家

      穿越戰(zhàn)火、隱姓埋名

      他們用行動證明了一件事:

      只有自力更生才能發(fā)展自己、強大祖國

      文章來源:中科院之聲綜合中國科學(xué)報

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