青島思銳智能半導體先進裝備研發(fā)制造中心在青島自貿(mào)片區(qū)落成投產(chǎn)

6月27日，青島思銳智能半導體先進裝備研發(fā)制造中心落成投產(chǎn)活動在青島自貿(mào)片區(qū)舉行。作為2024年度和2025年度連續(xù)兩個年度的山東省重大項目及青島市重點項目，思銳智能半導體先進裝備研發(fā)制造中心由思銳智能與青島城投集團聯(lián)合打造。項目總占地約95畝，總建筑面積達8.6萬平方米，計劃投資超12億元，聚焦原子層沉積鍍膜（ALD）和離子注入機（IMP）兩大核心半導體前道設備的研發(fā)與量產(chǎn)。該中心的投產(chǎn)填補了青島市在半導體核心裝備領域的空白，標志著青島在半導體產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新和高端裝備制造領域邁出重要一步。

青島自貿(mào)片區(qū)管委副主任隋斌表示，思銳智能是目前國內(nèi)唯一一家同時提供離子注入機和原子層沉積設備并實現(xiàn)關鍵技術自主突破的高科技企業(yè)。項目從建設到投產(chǎn)僅用一年時間，展現(xiàn)了龍頭企業(yè)的責任與擔當，進一步完善了青島市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈布局，對產(chǎn)業(yè)升級具有重要的示范引領作用。希望思銳智能以此為契機，深化科技創(chuàng)新與人才培育，為青島半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入新動能。

青島思銳智能科技股份有限公司董事長聶翔表示，思銳智能半導體先進裝備研發(fā)制造中心不僅是一座年產(chǎn)百臺設備的生產(chǎn)基地，更是構(gòu)建"技術-制造-生態(tài)"閉環(huán)的關鍵節(jié)點。公司將依托該中心加速突破ALD、IMP等關鍵技術瓶頸，深化在集成電路、功率化合物等領域的布局。同時，思銳智能將持續(xù)加大研發(fā)投入，深化與政府、高校及海外機構(gòu)的合作，打造全球領先的研發(fā)驗證平臺和人才聚集區(qū)，助力中國半導體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控。

據(jù)悉，青島思銳智能科技股份有限公司由中國中車集團及旗下基金通過深度“產(chǎn)融結(jié)合”的方式聯(lián)合發(fā)起設立，注冊資本11億元。主要聚焦關鍵半導體前道工藝設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，解決集成電路裝備“卡脖子”問題，提供具有自主可控的核心關鍵技術的系統(tǒng)裝備產(chǎn)品和技術服務方案。主要業(yè)務包括原子層沉積（ALD）設備及離子注入（IMP）設備，廣泛應用于集成電路、以功率與化合物為代表的第三代半導體、新能源、光學、生物醫(yī)學等諸多高精尖領域。

2018年9月，思銳智能完成對ALD技術發(fā)源地—芬蘭倍耐克公司100%股權(quán)的收購工作。思銳智能及子公司BENEQ在全球擁有近480余項專利，在ALD和IMP技術及應用方面具備雄厚的技術積累，是中國國內(nèi)極少擁有全球客戶拓展能力的中高端半導體裝備生產(chǎn)制造商，業(yè)務范圍覆蓋全球40個國家及地區(qū)，累計超過500個全球客戶。

思銳智能項目的落地進一步增強了青島自貿(mào)片區(qū)在半導體高端裝備領域的競爭力，為青島打造“中國芯谷”注入新動能。未來，青島自貿(mào)片區(qū)將持續(xù)優(yōu)化營商環(huán)境，支持企業(yè)創(chuàng)新發(fā)展，推動集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)更高質(zhì)量、更高水平的發(fā)展。

青島市集成電路產(chǎn)業(yè)園自2022年11月揭牌成立以來，緊緊圍繞高端化、智能化、綠色化、集群化發(fā)展方向，堅持以科技創(chuàng)新為引領，培育發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)壯大、產(chǎn)值穩(wěn)步提升。青島城投集團發(fā)揮市直國企擔當，深度參與產(chǎn)業(yè)園發(fā)展，協(xié)同管委專班共同推動園區(qū)規(guī)劃前瞻性研究、專業(yè)載體投資開發(fā)、產(chǎn)業(yè)聯(lián)合招商、專項基金搭建等工作，促成以思銳智能為代表的關鍵鏈條企業(yè)落地投產(chǎn)。截至目前，產(chǎn)業(yè)園已累計集聚產(chǎn)業(yè)鏈上下游項目46個，總投資約1803億元，涵蓋設計、制造、封測、材料、設備等全產(chǎn)業(yè)領域，入圍“中國集成電路園區(qū)綜合實力TOP30”榜單第17位，帶動青島市躋身全球集成電路產(chǎn)業(yè)綜合競爭力百強城市第81位，展現(xiàn)出強勁的發(fā)展?jié)摿Α?/p>