倚光科技：微透鏡陣列加工的超精密創新

在現代光學與光電技術領域，微透鏡陣列作為實現光束調控、圖像傳感和光學集成的核心元件，正推動著激光加工、生物醫學成像、虛擬現實等前沿領域的革新。然而，微透鏡陣列的超精密加工長期受限于納米級結構精度、大面積均勻性和復雜陣列排布的挑戰。倚光科技憑借在超精密加工領域的深厚積淀，成功突破微透鏡陣列加工的技術瓶頸，實現從亞微米級結構到毫米級陣列的全尺度精準制造，為光學元件的微型化與集成化提供了關鍵支撐。

倚光科技加工微透鏡陣列圖

微透鏡陣列加工的技術挑戰與突破

微透鏡陣列的加工難點主要體現在三個維度：結構尺寸的微量化（單個透鏡直徑從 10μm 至 1mm）、面形精度的納米級要求（PV 值 < 0.1μm，Ra<5nm）以及陣列排布的一致性控制（位置誤差 < 1μm）。傳統加工方法如光刻 - 刻蝕工藝難以兼顧曲面精度與材料多樣性，而注塑成型則面臨模具磨損與小批量打樣成本高的問題。

倚光科技配備多臺國際領先的超精密加工設備，為微透鏡陣列加工奠定堅實基礎。NanoTech 650 FG 超精自由曲面加工機采用慢刀伺服（旋轉式）和柵格飛刀技術，具備卓越的復雜曲面加工能力，其編程分辨率達到線性 0.01 納米、角度 0.0000001 度，可精準加工微透鏡陣列的復雜曲面結構。東芝單點金剛石車床 ULC - 100D (S) 和 ULC - 100F (S) 同樣表現出色，ULC - 100D (S) 的 X 軸和 Z 軸分辨率達 0.000001mm，C 軸為 0.0000mm，鏡片模仁加工面形精度（Pv）可達 0.015um，表面粗糙度（Ra）低至 0.002um；ULC - 100F (S) 的 X 軸和 Z 軸分辨率高達 0.0000001mm，鏡片模仁加工 Pv 為 0.010um、Ra 為 0.001um，且具備最小 0.1 納米加工指令設定功能，為微透鏡陣列的高精度加工提供有力支持。

倚光科技設計加工的微透鏡陣列圖

多元材料加工能力與工藝創新

倚光科技憑借多元材料加工能力與工藝創新，構建起覆蓋光學塑料、光學玻璃、紅外晶體的全材料加工體系，并針對不同材料特性開發專屬工藝。在光學塑料領域，針對 PMMA/PC 材料，采用 “金剛石車削 - 熱壓復制” 工藝，先加工出表面粗糙度 Ra<2nm 的高精度模具，再通過熱壓成型實現百萬級量產。光學玻璃加工中，選用熔融石英等低膨脹玻璃，適用于紫外 - 可見波段光學系統，采用 “車削 - 磁流變拋光” 復合工藝，先通過單點車削成型微透鏡曲面（面形精度 PV=0.15μm），再利用磁流變液的剪切增稠特性進行納米級表面修正，使表面粗糙度 Ra<3nm，典型應用于半導體光刻機用微透鏡陣列，可實現 193nm 紫外光的均勻聚焦。紅外材料加工方面，對于鍺 / 硒化鋅陣列，針對 8-12μm 紅外波段，采用超聲振動輔助車削技術，在鍺材料上加工出直徑 200μm 的微透鏡陣列，透過率 > 90%，適用于紅外熱成像焦平面陣列；而硫系玻璃陣列則利用 As?Se?材料的高紅外透過性，通過低溫車削工藝抑制材料脆性斷裂。

倚光科技檢測設備

超精密檢測體系與質量控制

為確保微透鏡陣列的加工質量，倚光科技配置完善的檢測設備。松下超高精度三維測量儀 - UA3P - 300 和 - UA3P - 400T，X、V、Z 軸分辨率均為 0.000001mm，可對微透鏡陣列進行精確的輪廓面型檢測與尺寸檢測。Zygo 非接觸干涉儀以 Z 軸分辨率 0.00000001mm 的高精度，檢測微透鏡表面粗糙度，保障表面光潔度符合要求。全歐光學偏心測量設備可實現亞微米級的光學反射偏心檢測，確保微透鏡陣列的偏心精度，為光學系統的準確裝配提供保障。

倚光科技擁有一支實力強勁的專業團隊，團隊成員匯聚了來自新加坡南洋理工大學、法國斯特拉斯堡大學、中科院長春光機所、浙江大學等國內外頂尖院校與科研機構的人才。他們在光學設計、超精密加工、材料科學等領域具備深厚的理論知識與豐富的實踐經驗，能夠針對微透鏡陣列加工中的各類技術難題，研發創新工藝與解決方案。

倚光科技檢測設備三豐輪廓儀等

團隊在微透鏡陣列加工技術研發中，充分發揮專業優勢。基于對光學設計的深入理解，精準把握微透鏡陣列的光學性能需求；憑借對超精密加工設備的熟練操控與工藝優化能力，不斷提升微透鏡陣列的加工精度與效率。從加工工藝的研發到設備參數的優化，團隊成員緊密協作，為倚光科技在微透鏡陣列超精密加工領域的技術領先提供了堅實的人才支撐。

倚光科技通過先進設備與專業團隊的協同，在微透鏡陣列加工技術上實現突破。利用超精密單點金剛石車削技術，配合五軸聯動系統，實現微透鏡陣列的高精度成型。加工過程中，自主研發的智能刀具路徑規劃算法，根據微透鏡形狀自動生成最優切削軌跡，提高加工效率的同時，確保陣列的精度與一致性。