北京
核心挑戰?
28nm以下制程中，單顆0.1μm（100nm）塵埃即可導致芯片斷路/短路，良率暴跌超50%。國際ISO 14644-1標準嚴控Class 1級潔凈室0.1μm粒子濃度（≤10個/m3），而激光粒子計數器是唯一符合ISO 21501-4的檢測工具。北京中邦興業，作為美國lighthouse廠家授權一級核心代理服務商，擁有0.1微米激光塵埃粒子計數器，可為泛半導體工廠提供設備樣機免費試用，上門演示實測。
【Lighthouse SOLAIR 1100LD】
01
?0.1μm粒子檢測的核心價值?
應用場景
作用機制
案例效果
?晶圓制造關鍵工藝?
光刻/刻蝕/沉積環節實時監控
某廠光刻車間良率提升12%
?高端封裝過程?
切割/鍵合/塑封環境保障
封裝可靠性提升15%+
?設備預測性維護?
粒子趨勢分析預判設備異常
減少停機時間40%
?數據價值延伸?
- 合規認證：自動生成ISO 14644-1/EU GMP審計報告（通過率100%）
- 智能管理：云端分析污染源，優化潔凈室能耗效率
02
?Lighthouse SOLAIR 1100LD技術突破性優勢?
?對比傳統設備?
參數
SOLAIR 1100LD
傳統HeNe計數器
?激光源?
激光二極管（終身免維護）
氦氖激光管（6個月更換）
?濃度上限?
提高10倍
易超限導致數據失效
?適用潔凈等級?
ISO Class 1-7
僅限Class 5以上
?重量?
11.7kg（行業最輕）
≥15kg
?核心性能?
1. 檢測能力：0.1μm靈敏度｜28.3 LPM流速｜8通道數據存儲
2. 環境擴展：同步監測溫/濕/壓差/風速四參數
3. 合規認證：ISO 21501-4校準｜21 CFR Part 11電子數據合規
4. 智能互聯：以太網/RS-485/USB｜LMS軟件管理3000+數據點
03
?行業痛點精準解決方案?
挑戰
SOLAIR 1100LD應對方案
數據準確性偏差
ISO 21501-4校準+閉環真空泵設計
HEPA檢漏效率低
ScanAir附件實現毫米級漏點定位
高濃度環境檢測失效
激光二極管支持Class 1級超低粒子檢測
多設備數據整合困難
單平臺管理所有傳感器數據
04
?操作優化指南?
- 采樣點規劃
- 公式：采樣點數 = √潔凈室面積(m2)
- 示例：100m2潔凈室 → 10個采樣點
- 維護周期
- 校準：12個月/次
- 激光器：終身免更換（傳統設備需半年更換）
- 數據安全
- AES-256加密傳輸 + 權限分級管理
?技術注釋?
壓縮氣體檢測需搭配專用擴散器，HEPA檢漏通過ScanAir附件實現移動掃描。設備超輕設計（23磅）支持產線快速部署，滿足7×24小時連續監控需求。
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