首臺(tái)350nm步進(jìn)式光刻機(jī)發(fā)運(yùn)：中國(guó)的光刻機(jī)廠商，又多了一家

說起光刻機(jī)這玩意兒，大家第一反應(yīng)往往是那家荷蘭巨頭，壟斷了高端市場(chǎng)好多年，全球就它一家能搞定極紫外那種頂尖貨色。光刻機(jī)是芯片制造的命根子，沒有它，晶圓上就印不出那些精細(xì)電路，芯片產(chǎn)業(yè)繞不開這條坎兒。

現(xiàn)在國(guó)內(nèi)情況不一樣了，上海微電子這些年咬牙往上爬，總算在低端到中端有了點(diǎn)實(shí)打?qū)嵉倪M(jìn)展。最近又有新消息，上海芯上微裝科技股份有限公司這家公司，剛從上海微電子分拆出來沒多久，就把自家首臺(tái)350納米步進(jìn)式光刻機(jī)整出來了。

型號(hào)叫AST6200，11月25日完成出廠測(cè)試，直接發(fā)運(yùn)給客戶。這事兒一出，等于中國(guó)光刻機(jī)陣營(yíng)又壯實(shí)了一家，從原來的寥寥幾家，到現(xiàn)在多了一個(gè)專注化合物半導(dǎo)體的玩家。

別小看這臺(tái)機(jī)器，它不是沖著邏輯芯片的納米級(jí)死磕，而是瞄準(zhǔn)了碳化硅這種硬骨頭材料，幫著功率器件和射頻芯片省心省力。想想看，新能源車和5G基站這些熱門領(lǐng)域，正缺這種靠譜裝備，國(guó)產(chǎn)化一步步來，總比空喊口號(hào)強(qiáng)。

光刻機(jī)市場(chǎng)說白了，就那么幾家玩家在攪和，全球公認(rèn)的巨頭也就荷蘭的阿斯麥、日本的尼康和佳能，外加國(guó)內(nèi)的上海微電子。阿斯麥那是老大，2023年它賣出的光刻機(jī)就占了全球八成多，收入高達(dá)275億歐元，凈賺78億，毛利率51%。

它不光覆蓋全系列，從干式到浸沒式，再到獨(dú)門極紫外，全世界沒人能搶飯碗。尼康呢，勉強(qiáng)守著中端，浸沒式阿氟光刻機(jī)還能賣點(diǎn)，但出貨量少得可憐，2023年總共就45臺(tái)，營(yíng)收38億多美元。

佳能更側(cè)重低端，i線和氪氟機(jī)型銷量大，187臺(tái)出貨，但均價(jià)低，整體營(yíng)收289億，勉強(qiáng)跟尼康咬著。上海微電子是國(guó)內(nèi)獨(dú)苗，專注前道和封裝，90納米阿氟機(jī)已經(jīng)量產(chǎn)，28納米浸沒式也在路上，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額超八成，但全球看還只是小巫見大巫。

這格局不是天生的，早年日本雙雄尼康和佳能牛氣沖天，占了過半江山。80年代尼康的步進(jìn)機(jī)一出，市場(chǎng)就翻天了，佳能也跟上。但后來阿斯麥抓住浸沒式機(jī)會(huì)，1990年代末和臺(tái)積電合作，三年領(lǐng)先就把對(duì)手甩開。尼康和佳能錯(cuò)過窗口，技術(shù)卡在193納米瓶頸，份額一路滑坡。

現(xiàn)在阿斯麥的訂單堆到390億歐元，EUV單臺(tái)賣一億多美元，別人想追都追不上。國(guó)內(nèi)呢，上海微電子2002年起步，靠國(guó)家專項(xiàng)從零干起，2016年90納米機(jī)出貨，2020年封裝機(jī)全球市占35%。但卡脖子環(huán)節(jié)多，光源、物鏡、工件臺(tái)這些核心部件還得進(jìn)口，國(guó)產(chǎn)率剛過兩成半。

政策推著走，工信部首臺(tái)套支持，長(zhǎng)春光機(jī)所的EUV光源也搞出點(diǎn)眉目，但離量產(chǎn)還遠(yuǎn)。總的來說，這行門檻高，資本重，風(fēng)險(xiǎn)大，阿斯麥靠產(chǎn)業(yè)鏈抱團(tuán)，別人單打獨(dú)斗難翻身。

芯上微裝這家公司聽著新鮮，其實(shí)根子深。2025年2月8日正式注冊(cè)，注冊(cè)資本5843萬多，從上海微電子拆分獨(dú)立，帶走化合物半導(dǎo)體和封裝光刻的業(yè)務(wù)和技術(shù)團(tuán)隊(duì)，近80人核心骨干全打包走人。法定代表人何飛，當(dāng)了董事長(zhǎng)，他早年就在上海微電子干曝光系統(tǒng)，積累了精密控制經(jīng)驗(yàn)。

賀榮明，上海微電子創(chuàng)始人之一，也來當(dāng)董事，股東里張江浩成持14.2%，泰力產(chǎn)業(yè)16.33%，這些都是上海微電子的老股東，間接連著脈絡(luò)。公司落戶張江，專注后道封裝和化合物半導(dǎo)體，不跟前道邏輯芯片硬碰，定位準(zhǔn)，起步快。

拆分的原因簡(jiǎn)單，上海微電子想專心前道高端，28納米浸沒機(jī)和EUV攻關(guān)，資源得集中。芯上微裝接手市場(chǎng)化快的部分，先進(jìn)封裝光刻機(jī)就是拳頭貨，全球市占35%，國(guó)內(nèi)90%。

今年8月，它剛交付第500臺(tái)步進(jìn)機(jī)給盛合晶微，那家是AI芯片封測(cè)大戶。團(tuán)隊(duì)里光學(xué)、機(jī)械、軟件專家一應(yīng)俱全，專利堆了不少，投影物鏡和曝光系統(tǒng)自主率高。

成立半年不到，就在灣區(qū)半導(dǎo)體展露面，宣傳化合物光刻和激光退火設(shè)備，客戶反饋好。說到底，這拆分是戰(zhàn)略調(diào)整，上海微電子瘦身提速，芯上微裝借勢(shì)起飛，產(chǎn)業(yè)鏈分工更細(xì)，效率高了。

AST6200這臺(tái)350納米步進(jìn)光刻機(jī)，不是追風(fēng)的貨色，而是實(shí)打?qū)嵉墓ぞ呷恕?1月25日出廠，調(diào)試驗(yàn)收全過關(guān)，發(fā)往客戶現(xiàn)場(chǎng)，專為功率、射頻、光電子和微型發(fā)光二極管場(chǎng)景定制。

分辨率350納米，正面套刻80納米，背面500納米，支持6到12英寸晶圓，兼容多材質(zhì)基底，像碳化硅這種硬家伙，厚度大、耐高溫，傳統(tǒng)硅機(jī)抓不住，它用鈦合金夾具和納米級(jí)工件臺(tái)穩(wěn)住。

光源是國(guó)產(chǎn)248納米深紫外燈，鏡頭組毛坯進(jìn)口，但鍍膜裝調(diào)全本土，軟件100%自主，從驅(qū)動(dòng)到工藝管理，遠(yuǎn)程運(yùn)維一鍵搞定。

為啥選350納米？不是落后，而是合適。碳化硅芯片用在5G基站、新能源車逆變器、激光雷達(dá)這些，工藝窗口寬，不死磕線寬微縮，更看重穩(wěn)定性和成本。

市場(chǎng)預(yù)測(cè)，到2030年化合物半導(dǎo)體規(guī)模250億美元，增速翻倍，但高端機(jī)被壟斷，國(guó)產(chǎn)缺口大。AST6200高產(chǎn)率設(shè)計(jì)，曝光均勻，溫漂小，幫客戶降本增效。

相比阿斯麥的EUV王牌，它不玩高端秀肌肉，避開授權(quán)難題，直奔細(xì)分痛點(diǎn)。團(tuán)隊(duì)迭代算法，處理翹曲和厚膠，工藝擴(kuò)展性強(qiáng)，生命周期長(zhǎng)。發(fā)運(yùn)只是開頭，公司說要和上下游搭伙，落地更多場(chǎng)景。

首臺(tái)AST6200發(fā)運(yùn)后，芯上微裝沒閑著，訂單已簽8臺(tái)，6臺(tái)碳化硅，2臺(tái)改氮化鎵射頻。12月就量產(chǎn)出片，融入客戶產(chǎn)線，幫著功率器件良率穩(wěn)住。上海微電子那邊，28納米浸沒機(jī)內(nèi)部測(cè)試中，前道突破在望。

整個(gè)國(guó)產(chǎn)光刻圈子，上海微電子領(lǐng)頭，芯上微裝補(bǔ)位，新凱來等跟進(jìn)，產(chǎn)業(yè)鏈從低端往中端爬。阿斯麥雖穩(wěn)，但中國(guó)市場(chǎng)36%份額，它也得看臉色，出口管制下，國(guó)產(chǎn)空間大開。

長(zhǎng)遠(yuǎn)看，這行靠積累，芯上微裝小而專，風(fēng)險(xiǎn)低，客戶黏性高。車規(guī)級(jí)訂單來了，預(yù)算跟上，下一代機(jī)提升曝光尺寸，并行度翻倍。

光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化不是一夜爆富，得一步步啃，350納米這步，踩得實(shí)，下一步看28納米和化合物擴(kuò)展。總之，多一家玩家，產(chǎn)業(yè)鏈就多條腿，穩(wěn)當(dāng)。