ASML工程師：中國要復制一臺光刻機并不難，但他們選了另外一條路

在中國半導體日新月異，不斷突破的背景下，ASML工程師認為，只要有圖紙、有零件、有資金，中國復制 ASML 的光刻機并非天方夜譚。然而，與其“復制”舊技術，不如走出一條自主研發的新路這條道路，或許更值得期待。

PART.01

復制，并非完全不可能

為什么“復制 ASML”的想法看似可行-- 技術原理并非絕密，理論上有跡可循。

對很多業內觀察者來說，光刻機的基礎工作原理（光-掩模-成像-對準-曝光）并不是國家機密；只要掌握光學、機械、控制軟件等知識，理論上“照葫蘆畫瓢”是可能的。

有人指出，只要“有足夠技術人才參與到光刻機的開發當中”，確實有可能“重新打造一臺跟 ASML 類似的產品”。這種觀點也在某些公開討論中被提及。

在現實中已有嘗試：試圖拆解、逆向 ASML 設備。最近有媒體報道，一臺使用的 ASML DUV（深紫外）光刻機，因為被某實體拆解嘗試逆向工程，結果在重組過程中損壞系統，不得不請 ASML 派工程師來維修。 這一事件說明：已經有人對“通過拆解學習 ASML”的思路至少進行了嘗試。讓“復制 ASML”的思路，在外界看來，似乎并非完全不可能。

PART.02

我們選擇另外一條路

“復制”是一種治標不治本的方法。

拆過來再組裝，最多只能復刻“過去”的技術 —— 這種方式無法帶來真正的技術積累和長期競爭力。一旦國外（尤其是西方）加大出口管制、零部件封堵，復制得到的設備很可能會因基礎材料或核心組件斷供而無法維持。

近兩年，國內多家光刻機與半導體設備公司在低、中端光刻設備領域已有實質性進展。比起復制這種選擇具有明顯優點：

1.穩定可控：不依賴國外出口許可與零部件供應，降低被“卡脖子”的風險。

2.產業積累：通過自研、自制，逐步發展起完整供應鏈與技術能力，為將來更高級、復雜光刻設備的研發奠定基礎。

3.經濟與戰略平衡：對于大多數成熟工藝（如 28nm、40nm 甚至更大節點）來說，國產設備已經足夠；對于高端、特殊用途芯片，自主技術路徑也正在鋪開。

PART.03

復制 VS 自研

復制 + 拆裝（逆向）ASML

上手相對快速、不需要從零開始設計。但是難以實現整體工藝一致性；高精度、高良率、高穩定性難以保障；極易損壞設備。多數專業人士認為，這條路頂多作為短期“試探”，難以長期維持。

自主研發 + 本地化供應鏈 + 多圖案 + DUV + 替代方案

可控自主、供應鏈穩定、適配中國產業需求、有長期積累價值。雖然起步慢、技術門檻高、仍需克服材料、設計、工藝整合等難題，但更有潛力，已經有公司進入測試階段，有望逐步成為主流路線。

也許，就是因為“復制容易，創新難”，中國芯片產業才選擇了后者 —— 這條或許更漫長、更艱辛，但也更有價值、更具戰略意義的道路。

在全球科技博弈不斷升級的今天，誰掌握了先進芯片制造技術，就可能在未來科技競爭中占得先機。對中國而言，復制曾經的設備顯然不是長久之計；而自主研發、自建產業鏈、自主控制關鍵設備，才是破局之道。

未來，無論是中端芯片的大規模國產化，還是高端芯片設備的自主研發，只要貫徹“自研優先、穩步推進”的原則，中國都有可能走出一條不同于過去、不同于他國的半導體發展之路。

小小寰球，有幾個蒼蠅碰壁。嗡嗡叫，幾聲凄厲，幾聲抽泣。螞蟻緣槐夸大國，蚍蜉撼樹談何易。正西風落葉下長安，飛鳴鏑。

多少事，從來急；天地轉，光陰迫。一萬年太久，只爭朝夕。四海翻騰云水怒，五洲震蕩風雷激。要掃除一切害人蟲，全無敵。

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