光刻機(jī)巨頭開始慌了，中國造不成光刻機(jī)，但是要造一個(gè)光刻工廠！

荷蘭的ASML公司作為光刻機(jī)領(lǐng)域的領(lǐng)頭羊，2023年年初就感覺到壓力了。那時(shí)候，首席執(zhí)行官彼得·溫寧克在財(cái)報(bào)會上說，美國的出口管制可能會讓中國更快地搞出自己的技術(shù)。中國當(dāng)時(shí)占ASML銷售額的15%，后來一度漲到46%。

溫寧克的話不是隨便說的，因?yàn)橹袊撬麄兊拇罂蛻簦绹鴱?019年起就開始限制EUV設(shè)備的出口。結(jié)果，中國買家開始囤貨，短期內(nèi)訂單暴增，但這其實(shí)是提前透支市場。

2023年9月，溫寧克在行業(yè)論壇上又提到，中國有人才和資源，能找到替代方案。西方媒體當(dāng)時(shí)覺得這是商業(yè)說辭，但事實(shí)證明他沒說錯(cuò)。ASML擔(dān)心已賣出的數(shù)千臺設(shè)備維護(hù)業(yè)務(wù)被切斷，那可是穩(wěn)定的現(xiàn)金來源。

美國不斷加碼管制，2024年擴(kuò)展到更多DUV型號，荷蘭政府也撤銷部分許可證，中芯國際采購受影響。ASML的尷尬在于，一方面要遵守管制，一方面中國市場太重要。

2024年第一季度，中國銷售額占比飆到49%，連續(xù)三個(gè)季度成最大市場。新CEO克里斯托夫·富凱在華爾街日報(bào)采訪中說，限制越多，中國自力更生的動(dòng)力越大。這和溫寧克的觀點(diǎn)一脈相承。

富凱還強(qiáng)調(diào)，如果不能提供服務(wù)，就失去控制。2024年，中國占ASML總銷售的36%，約100億歐元，但美國施壓下，富凱表示2025年中國銷售會下降，盡管整體營收增長15%，毛利率52%。

2025年，ASML面臨更多審查。荷蘭媒體報(bào)道，至少一個(gè)客戶與中國軍方有聯(lián)系，2024年還賣了DUV機(jī)給深圳量子學(xué)院。富凱在11月采訪中說，荷蘭中國緊張關(guān)系短期沒影響業(yè)務(wù)，但長遠(yuǎn)看，中國芯片落后10到15年，卻在努力追趕。

ASML股價(jià)波動(dòng)，市值一度蒸發(fā)1300億美元，因?yàn)殛P(guān)稅和稀土限制。公司已儲備材料，但承認(rèn)供應(yīng)鏈有風(fēng)險(xiǎn)。富凱指出，歐洲需要中國成熟芯片供應(yīng)，以維持汽車行業(yè)鏈條。

中國這邊，從2017年起清華大學(xué)啟動(dòng)SSMB項(xiàng)目，目標(biāo)是EUV光源。唐傳祥教授和斯坦福趙午組織國際會議，聯(lián)合中美德專家。

團(tuán)隊(duì)去德國柏林PTB用MLS儲存環(huán)做了8次實(shí)驗(yàn)，2019年8月實(shí)現(xiàn)電子束微聚束結(jié)構(gòu)，用1064納米激光控制。這為光源穩(wěn)定打下基礎(chǔ)。2021年2月，成果發(fā)在自然雜志上，雜志說它結(jié)合了同步輻射和自由電子激光的特點(diǎn)。

2022年，SSMB-EUV光源功率破1千瓦，光學(xué)腔鎖定超4小時(shí)。這讓技術(shù)從概念走向現(xiàn)實(shí)。12月，雄安新區(qū)和清華簽協(xié)議，項(xiàng)目落地。2023年3月，副校長曾嶸考察選址，規(guī)劃大設(shè)施。

SSMB不是單機(jī)，而是用加速器集中產(chǎn)生EUV光，供應(yīng)多生產(chǎn)線。這模式適合中國的高鐵集成經(jīng)驗(yàn)，產(chǎn)業(yè)鏈上游統(tǒng)一光源，下游并行曝光，補(bǔ)光學(xué)元件和光刻膠短板。

2025年，中國投資370億歐元開發(fā)本土EUV。清華大學(xué)7月在聚碲氧烷基光刻膠上突破，提升分辨率，針對13.5納米波長。第三季度，雄安設(shè)施試產(chǎn)，目標(biāo)3納米制程，用粒子加速器技術(shù)。

上海微電子優(yōu)化28納米機(jī)，良率超80%。浙江電子束機(jī)商用，線寬8納米。杭州納米壓印設(shè)備精度高。這些多路并進(jìn)，自給率從12%升，減少外匯流出。

2025年下半年，中國用桌面大小EUV光源造14納米芯片，合肥公司改進(jìn)制造。SSMB項(xiàng)目繼續(xù)推進(jìn)，清華大學(xué)領(lǐng)導(dǎo)建設(shè)，預(yù)計(jì)2026年大規(guī)模制造。

唐傳祥表示，自主EUV路還長，但SSMB解決瓶頸。國家大基金三期投288億，支持材料如KrF光刻膠產(chǎn)能500噸。半導(dǎo)體市場規(guī)模80億，2026年預(yù)計(jì)152億。

ASML看到中國進(jìn)展，內(nèi)部討論增多。富凱承認(rèn)中國多路徑突圍，如納米壓印和電子束。2025年，中國銷售可能超25%，但先進(jìn)設(shè)備禁售。

ASML增加研發(fā)支出，推出新款，但壟斷地位動(dòng)搖。中國不復(fù)制ASML路線，轉(zhuǎn)建工廠，整合上游電子特氣到下游切割。全流程掌握，從材料到檢驗(yàn)，外匯少流出。

全球格局在變，中國設(shè)施輸出產(chǎn)品，強(qiáng)化韌性。ASML模式或難維持，2026年中國可能破ASML技術(shù)壁壘。富凱說，中國不會接受技術(shù)切斷，這是現(xiàn)實(shí)。封鎖反而加速創(chuàng)新，中國從德國獲樣品，提升光學(xué)。半導(dǎo)體史上，這算協(xié)同攻堅(jiān)，華為基地等催生突破。

中國半導(dǎo)體起步1956年，1958年拉硅單晶，1960年鍺晶體管。70年代產(chǎn)量低，80年代引進(jìn)外資，90年代落后十年。2000年后政策扶持，2010年需求旺，但優(yōu)先供其他客戶。

2020年管制升級，每年上百億美金進(jìn)口。國產(chǎn)28納米研發(fā)，2025年良率超八成，但跟5納米有差距。

產(chǎn)業(yè)鏈上游光刻膠，恒坤新材擴(kuò)產(chǎn)，2025年底500噸。掩膜版精密組件試產(chǎn)。光谷百億項(xiàng)目投運(yùn)，填通信激光空白。

A股江蘇企業(yè)多，投資布局增。全球封鎖下，機(jī)遇在，面板轉(zhuǎn)移惠光刻材料，銷售增長。自給率升，EUV試生產(chǎn)，架構(gòu)簡單。

這場較量，ASML從2023年警告到2025年焦慮，政治切斷商業(yè)紐帶，只會讓中國走韌性路。光刻工廠挑戰(zhàn)大，投資巨額，周期長，但制度優(yōu)勢發(fā)揮，集中突破關(guān)鍵，再集成整體。ASML平衡政治市場，中國埋下突破種子。結(jié)果需時(shí)間驗(yàn)證，但封鎖不是長計(jì)。